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기판부; 및진동 패턴을 가지며 진동하도록 상기 기판부의 상부에 적층 형성되는 유리질 탄소 소재의 전극부;를 포함하여,상기 기판부와 상기 진동 패턴을 갖는 전극부가 진동하는 경우, 상기 유리질 탄소 소재의 탄소 클러스터의 접촉 면적 변화에 따른 저항변화를 통해 상기 전극부의 상기 진동 패턴 사이에서 자기 용량(self capacitance)이 유도되어 무선으로 진동을 감지할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 무선 진동 센서
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제1항에 있어서, 상기 유리질 탄소 소재는,폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리아미드(polyamide) 또는 폴리염화비닐(polyvinyl chloride)로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나의 수지 필름인 상기 전극 모재 상에 레이저를 조사하여 탄화를 수행하여 형성되는 것을 특징으로 하는 무선 진동 센서
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제1항에 있어서,제1항에 있어서, 상기 기판부는,PI(polyimide), PET(polyethylene terephthalate), PDMS(polydimethylsulfone), 실리콘 고무(silicone rubber), PEN (Polyethylene Naphthalate), PP(polypropylene), PES(polyethersulfone) 및 PVC(polyvinylchloride)로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 이상으로 가요성을 가지도록 구성되는 것을 특징으로 하는 무선 진동 센서
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제1항에 있어서, 상기 전극부는,상기 진동 패턴을 가지도록 형성되는 상기 유리질 탄소 소재의 나선 전극으로 형성되는 전극 패턴; 및상기 전극 패턴 중 진동 패턴의 관통된 사이 영역에 대응하는 영역이 관통되어 상기 진동 패턴을 가지는 상기 전극 패턴을 지지하는 폴리머층;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 무선 진동 센서
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제4항에 있어서, 상기 전극 패턴은,상기 진동 패턴을 형성하는 상기 나선 전극이 형성하는 나선 영역 중 일정 영역의 간격이 확장되어 일정 길이 나선형으로 연장되고, 나선형으로 연속되는 하나 이상의 나선 확장부;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 무선 진동 센서
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제4항에 있어서, 상기 폴리머층은,PDMS(polydimethylsulfone), 폴리 플루오렌(polyfluorene), 폴리 페닐렌(polyphenylene), 폴리 피렌(polypyrene), 폴리 아즐렌(polyazulene), 폴리 나프탈렌(polynaphthalene), 폴리 아세틸렌(polyacetylene), 폴리 페닐렌비닐렌(Poly(p-phenylene vinylene)), 폴리 피롤(polypyrrole), 폴리 카르바졸(polycarbazole), 폴리 인돌(polyindole), 폴리 아제핀(polyazepine), 폴리 아닐린(polyaniline), 폴리 티오펜(polythiophene), 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜(poly(3,4-ethylenedioxythiophene), 폴리 페닐렌설파이드(poly(p-phenylenesulfide)) 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 무선 진동 센서
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방향수소족을 포함하는 열가소성 수지 필름인 전극 모재에 레이저를 조사하여 레이저 유도 탄화에 의해 형성된 유리질 탄소 소재의 전극층을 형성하는 전극층 형성 단계;전도성 폴리머와 기판부를 상기 전극층의 상부에 순차적으로 증착시킨 후 상기 전극 모재를 분리하여 상기 전극층을 상기 전도성 폴리머에 전사하는 전극층 전사 단계; 및상기 전극층, 상기 전극층이 전사된 상기 전극 모재, 상기 전도성 폴리머 및 상기 기판부를 관통시켜 진동 패턴을 형성하여 진동 패턴을 가지는 기판과 전도성 폴리머 층 및 상기 나선 전극이 적층된 진동 센서를 형성하는 진동 패턴 형성 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 무선 진동 센서 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 전극층 형성 단계에서 형성된 상기 유리질 탄소는, 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리아미드(polyamide) 또는 폴리염화비닐(polyvinyl chloride)로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나의 수지 필름인 상기 전극 모재 상에 레이저를 조사하여 탄화를 수행하여 형성되는 것을 특징으로 하는 무선 진동 센서 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 전극층 형성 단계에서 상기 유리질 탄소를 형성하기 위한 상기 레이저는, 1000nm 내지 1100nm의 파장을 갖는 적외선 레이저인 것을 특징으로 하는 무선 진동 센서 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 전극층 형성 단계에서 상기 유리질 탄소를 형성하기 위한 상기 레이저는, 출력이 10W 내지 25W인 것을 특징으로 하는 무선 진동 센서 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 전극층 형성 단계에서 상기 유리질 탄소를 형성하기 위한 상기 레이저는, 180mm/s 내지 500mm/s 내의 범위의 속도로 이동하며 상기 열가소성 수지 필름 상에 탄화를 수행하는 것을 특징으로 하는 무선 진동 센서 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 전극층 전사 단계에서 상기 폴리머층은, PDMS(polydimethylsulfone), 폴리 플루오렌(polyfluorene), 폴리 페닐렌(polyphenylene), 폴리 피렌(polypyrene), 폴리 아즐렌(polyazulene), 폴리 나프탈렌(polynaphthalene), 폴리 아세틸렌(polyacetylene), 폴리 페닐렌비닐렌(Poly(p-phenylene vinylene)), 폴리 피롤(polypyrrole), 폴리 카르바졸(polycarbazole), 폴리 인돌(polyindole), 폴리 아제핀(polyazepine), 폴리 아닐린(polyaniline), 폴리 티오펜(polythiophene), 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜(poly(3,4-ethylenedioxythiophene), 폴리 페닐렌설파이드(poly(p-phenylenesulfide)) 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 무선 진동 센서 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 진동 패턴 형성 단계는, 레이저 처리, 화학적 식각, 물리적 식각, 리소그래피(lithography) 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것에 의해 상기 진동 패턴을 형성하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 무선 진동 센서 제조 방법
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