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가변 크기를 갖는 나노 포어 구조를 이용한 스위칭 소자, 그를 포함하는 스위칭 장치 및 그의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2014037231
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 나노 포어 구조를 이용한 스위칭 소자, 그를 포함하는 스위칭 장치 및 그의 제조 방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 나노 포어 구조를 이용한 스위칭 소자는, 제1 영역 및 제2 영역을 포함하는 챔버; 제1 영역에 위치하는 제1 전극; 제1 전극에 대향하여 제2 영역에 위치하는 제2 전극; 및 제1 전극 및 제2 전극의 사이에 위치하고, 도전층, 상기 도전층을 관통하는 나노 포어 및 도전층의 표면에 부착되어 나노 포어 내에 위치하는 유기 화합물을 포함하는 나노 포어 막;을 포함하고, 유기 화합물은 도전층에 인가되는 전압에 따라 나노 포어의 채널 크기를 변화시키는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 51/05 (2006.01.01) H01L 51/00 (2006.01.01)
CPC H01L 51/0558(2013.01) H01L 51/0558(2013.01)
출원번호/일자 1020100060663 (2010.06.25)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1174482-0000 (2012.08.09)
공개번호/일자 10-2012-0000342 (2012.01.02) 문서열기
공고번호/일자 (20120816) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.25)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김기범 대한민국 서울특별시 강남구
2 김현미 대한민국 서울특별시 관악구
3 이민현 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 서울특별시 관악구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2010-0411020-70
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5195109-43
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.12.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0755372-85
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.02.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0138943-83
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2012-0138942-37
6 등록결정서
Decision to grant		 2012.07.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0424137-22
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-5007213-54
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 영역 및 제2 영역을 포함하는 챔버;상기 제1 영역에 위치하는 제1 전극;상기 제1 전극에 대향하여 상기 제2 영역에 위치하는 제2 전극; 및상기 제1 전극 및 상기 제2 전극의 사이에 위치하고, 도전층, 상기 도전층의 상측 및 하측에 적층된 절연층들, 상기 도전층 및 상기 절연층들을 관통하며 상기 도전층 및 상기 절연층들을 노출시키는 나노 포어, 및 상기 도전층의 표면에 부착되어 나노 포어 내에 위치하는 유기 화합물을 포함하는 나노 포어 막;을 포함하고,상기 유기 화합물은 상기 도전층에 인가되는 전압에 따라 상기 나노 포어의 채널 크기를 변화시키는 것을 특징으로 하는 나노 포어 구조를 이용한 스위칭 소자
2 2
삭제
3 3
제1 항에 있어서, 상기 도전층은 금(Au)을 포함하고, 상기 유기 화합물은 티올기(thiol)가 결합된 단일 가닥 DNA(ssDNA)를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 포어 구조를 이용한 스위칭 소자
4 4
제1 항에 있어서, 상기 유기 화합물은 압전 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 포어 구조를 이용한 스위칭 소자
5 5
제1 항에 있어서, 상기 스위칭 소자는 상기 도전층, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극에 인가되는 전압에 의하여 이온 전계 트랜지스터로 동작하는 것을 특징으로 하는 나노 포어 구조를 이용한 스위칭 소자
6 6
제1 항에 있어서, 상기 나노 포어는 상하측의 지름이 동일한 원기둥 형상이거나 또는 상하측의 지름이 상이한 원뿔대 형상인 것을 특징으로 하는 나노 포어 구조를 이용한 스위칭 소자
7 7
제1 항, 제3 항 내지 제6 항 중 어느 한 항의 스위칭 소자; 및상기 스위칭 소자의 상기 도전층, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극에 전기적으로 연결되어, 전기적 신호를 주고받는 전기 신호부;를 포함하는 나노 포어 구조를 이용한 스위칭 장치
8 8
나노 포어를 포함하는 나노 포어 막을 형성하는 단계; 및상기 나노 포어가 형성된 상기 나노 포어 막의 양측에 전극이 내장된 챔버를 배치하는 단계;를 포함하고,상기 나노 포어막을 형성하는 단계는,기판 상에 절연층, 도전층 및 절연층을 순차적으로 적층하여 적층막을 형성하는 단계;상기 적층막이 노출되도록 상기 기판의 중앙부를 제거하는 단계;상기 적층막을 제거하여 상기 적층막을 관통하는 나노 포어를 형성하는 단계; 및상기 나노 포어 내에 위치하도록 상기 도전층에 유기 화합물을 부착하는 단계;를 포함하는 나노 포어 구조를 이용한 스위칭 소자 제조 방법
9 9
제8 항에 있어서, 상기 유기 화합물을 부착하는 단계는, 상기 나노 포어 둘레의 상기 도전층에 티올기가 결합된 ssDNA를 부착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 포어 구조를 이용한 스위칭 소자 제조 방법
10 10
제8 항에 있어서, 상기 유기 화합물을 부착하는 단계는, 상기 나노 포어 둘레의 상기 도전층에 PVDF를 도포하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 포어 구조를 이용한 스위칭 소자 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 서울대학교 산학협력단 기초연구사업 집적화된 나노포어 이온 트랜지스터 개발과 응용