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유연성 기판(compliant substrate); 상기 유연성 기판 상에 형성되며, 상기 유연성 기판의 상면에 수직한 제1 방향으로 연장하는 복수의 도전성 칼럼들(conductive columns)을 포함하는 주상 도전층(columnar structured conductive layer);을 포함하고, 상기 유연성 기판이 상기 유연성 기판의 상기 상면에 평행한 제2 방향으로 신장될 때, 상기 주상 도전층은 상기 복수의 도전성 칼럼들에 의해 정의되는 복수의 개구들이 형성된 도전성 네트워크 구조를 가지며, 상기 유연성 기판이 상기 제2 방향으로 신장될 때, 상기 복수의 개구들이 확장되거나 이동하거나 생성되어, 상기 주상 도전층이 상기 제2 방향으로 신장되며,상기 유연성 기판이 상기 제2 방향으로 신장될 때 상기 주상 도전층이 상기 제2 방향으로 신장되어 길이 d1을 가지며,상기 주상 도전층이 초기 길이(d0)로부터 100% 신장될 때, 상기 주상 도전층은 수식 2에 따른 이론 저항값(Rth)으로부터 30% 이내의 편차를 갖는 신장 저항값(Rst)을 가지며,(Rst-Rth)/Rth ≤ 0
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제1항에 있어서,상기 유연성 기판이 상기 제2 방향으로 신장될 때, 상기 복수의 개구들의 최대 폭이 5 마이크로미터보다 작은 것을 특징으로 하는 유연성 소자용 접속 구조물
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제1항에 있어서,상기 유연성 기판이 상기 제2 방향으로 신장될 때, 상기 복수의 도전성 칼럼들은 리가먼트 운동(ligament movement)에 의해 상기 제1 방향에 수직한 방향으로 회전함으로써 상기 복수의 개구들이 확장하거나 이동하거나 생성되는 것을 특징으로 하는 유연성 소자용 접속 구조물
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제1항에 있어서,상기 주상 도전층은 면심 입방(face centered cubic, FCC) 결정 구조를 갖는 금속 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 유연성 소자용 접속 구조물
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제5항에 있어서, 상기 주상 도전층은 구리(Cu), 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 철(γ-Fe), 니켈(Ni), 백금(Pt), 납(Pb), 로듐(Rh), 팔라듐(Pd), 이리듐(Ir) 또는 이터븀(Yb)을 포함하는 것을 특징으로 하는 유연성 소자용 접속 구조물
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제5항에 있어서, 상기 복수의 도전성 칼럼들은 상기 유연성 기판의 상면 상에서 상기 제1 방향을 따라 연장하며, 상기 복수의 도전성 칼럼들은 상기 FCC 결정 구조의 결정학적 (111) 면을 따라 배열하는 것을 특징으로 하는 유연성 소자용 접속 구조물
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제5항에 있어서,상기 주상 도전층은 X선 회절 분석 패턴에서 상기 FCC 결정 구조의 (111) 면으로부터 유래한 회절 피크(diffraction peak)만을 갖는 것을 특징으로 하는 유연성 소자용 접속 구조물
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제1항에 있어서, 상기 복수의 도전성 칼럼들 각각은 5 내지 100 나노미터의 폭을 가지며, 50 나노미터 내지 2 마이크로미터의 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 유연성 소자용 접속 구조물
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유연성 기판; 상기 유연성 기판 상에 형성되며, 상기 유연성 기판의 상면에 수직한 제1 방향으로 연장하는 복수의 도전성 칼럼들을 포함하는 주상 도전층;을 포함하고, 상기 주상 도전층은 면심 입방(FCC) 결정 구조를 갖는 금속 물질을 포함하며, 상기 복수의 도전성 칼럼들은 상기 FCC 결정 구조의 결정학적 (111) 면을 따라 배열하며,상기 유연성 기판이 상기 유연성 기판의 상면에 평행한 제2 방향으로 신장될 때 상기 주상 도전층이 상기 제2 방향으로 신장되어 길이 d1을 가지며,상기 주상 도전층이 초기 길이(d0)로부터 100% 신장될 때, 상기 주상 도전층은 수식 2에 따른 이론 저항값(Rth)으로부터 30% 이내의 편차를 갖는 신장 저항값(Rst)을 가지며,(Rst-Rth)/Rth ≤ 0
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제11항에 있어서, 상기 주상 도전층은 X선 회절 분석 패턴에서 상기 FCC 결정 구조의 (111) 면으로부터 유래한 회절 피크(diffraction peak)만을 갖는 것을 특징으로 하는 유연성 소자용 접속 구조물
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제12항에 있어서, 상기 주상 도전층이 구리(Cu)를 포함하고,상기 주상 도전층의 상기 (111) 면으로부터 유래한 회절 피크는 43
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제12항에 있어서, 상기 유연성 기판이 상기 제2 방향으로 신장될 때, 상기 주상 도전층은 상기 복수의 도전성 칼럼들에 의해 정의되는 복수의 개구들이 형성된 도전성 네트워크 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 유연성 소자용 접속 구조물
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