요약 | 플라스틱 기반 바이오 센서 및 그 제조방법이 제공된다. 본 발명에 따른 플라스틱 기반 바이오 센서는 플라스틱 기판에 구비된 홈; 및 상기 홈 내부에 안착되며, 바이오 검출 물질이 단결정 실리콘 게이트 채널에 고정된 단위 바이오 센서를 포함하며, 여기에서 상기 홈 외부 및 바이오 센서에는 소스 및 드레인 전극이 와이어 형태로 연결된 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 바이오센서는 플라스틱 기판상에 구현되므로, 종래의 실리콘 기판상에 구현된 바이오센서가 가지는 기판의 한계 효과적으로 극복할 수 있다. |
---|---|
Int. CL | G01N 33/50 (2006.01) G01N 27/26 (2006.01) G01N 33/48 (2006.01) |
CPC | G01N 33/50(2013.01) G01N 33/50(2013.01) G01N 33/50(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020100099844 (2010.10.13) |
출원인 | 한국과학기술원 |
등록번호/일자 | 10-1198447-0000 (2012.10.31) |
공개번호/일자 | 10-2012-0038211 (2012.04.23) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20121106) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2010.10.13) |
심사청구항수 | 13 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 이건재 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
2 | 이상용 | 대한민국 | 광주광역시 광산구 |
3 | 유현균 | 대한민국 | 서울특별시 용산구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 김강욱 | 대한민국 | 전북 전주시 덕진구 틀못*길**, 은빛빌딩 ***호(장동)(특허법인다해(전라도분사무소)) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국과학기술원 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2010.10.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0661452-21 |
2 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2010.12.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0875830-95 |
3 | 수수료 반환 안내서 Notification of Return of Official Fee |
2010.12.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2010-0117197-16 |
4 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2011.12.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
5 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2012.01.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-2012-0001843-01 |
6 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2012.05.15 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0283532-35 |
7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2012.05.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0395820-82 |
8 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2012.05.17 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0395821-27 |
9 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2012.06.04 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0446128-80 |
10 | 보정요구서 Request for Amendment |
2012.06.04 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2012-0068739-93 |
11 | 등록결정서 Decision to grant |
2012.10.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0647296-92 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
18 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 플라스틱 기판에 구비된 홈; 및상기 홈 내부에 안착되며, 바이오 검출 물질이 단결정 실리콘 게이트 채널에 고정된 단위 바이오 센서를 포함하며, 여기에서 상기 홈 외부 및 바이오 센서에는 소스 및 드레인 전극이 와이어 형태로 연결된 것을 특징으로 하는 플라스틱 기반 바이오 센서 |
2 |
2 제 1항에 있어서, 상기 단위 바이오 센서는 불순물이 제 1 농도로 도핑된 실리콘 기판;상기 실리콘 기판에 소정 간격으로 이격되어 불순물이 제 1 농도로 도핑된 소스 및 드레인 영역; 및 상기 소스 및 드레인 영역 상에 구비된 소스 및 드레인 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라스틱 기반 바이오 센서 |
3 |
3 제 2항에 있어서, 상기 단위 바이오 센서는 순차적으로 적층된 벌크 실리콘층; 절연층; 및 불순물이 도핑된 상부 단결정 실리콘층을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라스틱 기반 바이오 센서 |
4 |
4 플라스틱 기판에 구비된 홈; 및상기 홈 내부에 안착된 단위 바이오 센서; 및상기 단위 바이오 센서를 덮으며 상기 단위 바이오 센서를 지나는 미세유체채널을 형성하는 상부 커버층을 포함하며, 여기에서 상기 단위 바이오 센서는 트랜지스터 방식의 바이오 센서로서, 상기 미세유체채널은 상기 단위 바이오 센서의 단결정 실리콘 게이트 채널을 지나는 것을 특징으로 하는 플라스틱 기반 바이오 센서 |
5 |
5 제 4항에 있어서,상기 게이트 채널에는 바이오 검출물질이 고정화된 것을 특징으로 하는 플라스틱 기반 바이오 센서 |
6 |
6 제 4항에 있어서,상기 단위 바이오 센서는 소스 및 드레인 영역 상에 형성된 소스 및 드레인 전극을 포함하며, 상기 소스 및 드레인 전극은 와이어를 통하여 홈 외부의 전극 라인과 연결된 것을 특징으로 하는 플라스틱 기반 바이오 센서 |
7 |
7 제 6항에 있어서, 상기 와이어는 상기 상부 커버층과 상기 플라스틱 기판 사이에 형성된 공간에서 소스 및 드레인 전극을 외부 전극라인과 연결하는 것을 특징으로 하는 플라스틱 기반 바이오 센서 |
8 |
8 순차적으로 적층된 벌크 실리콘층; 절연층; 상부 실리콘층으로 이루어진 SOI 기판에 대하여 불순물을 도핑하여 상기 상부 실리콘층에 소정 간격으로 이격된 소스 및 드레인 영역을 형성하는 단계;상기 벌크 실리콘층의 두께는 감소시키는 단계;상기 소스 및 드레인 영역의 상부에 소스 및 드레인 전극을 형성시키는 단계;상기 상부 실리콘층 및 절연층을 순차적으로 패터닝하여 상기 소스 및 드레인 영역을 포함하는 단위 바이오 센서 영역을 상기 벌크 실리콘층상에 형성하는 단계; 및상기 벌크 실리콘층을 상기 단위 바이오 센서 영역의 크기에 따라 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조방법 |
9 |
9 제 8항에 있어서,상기 상부 실리콘층의 패터닝은 상기 소스 및 드레인 영역 사이의 상부 실리콘층 일부를 남기는 방식으로 진행되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조방법 |
10 |
10 제 9항에 있어서, 상기 절연층 패터닝을 통하여 상기 일부 실리콘층 아래의 절연층은 제거되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조방법 |
11 |
11 제 8항에 있어서, 상기 벌크 실리콘층의 두께 감소는 화학기계 연마공정으로 수행되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조방법 |
12 |
12 제 8항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조된 바이오 센서 |
13 |
13 제 8항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 따라 제조된 바이오 센서에 대하여, 전사층을 접촉시키는 단계;상기 바이오 센서에 대응하는 크기의 홈이 형성된 플라스틱 기판에 상기 바이오 센서를 안착시켜, 상기 홈에 상기 바이오 센서를 전사시키는 단계;상기 홈 외부에 소스 및 드레인 전극 라인을 형성하는 단계;상기 바이오 센서의 소스 및 드레인 전극과 상기 홈 외부의 소스 및 드레인 전극 라인을 와이어로 연결시키는 단계; 및 상부 커버층으로 상기 바이오 센서를 덮음으로써, 상기 바이오 센서의 게이트 채널 사이로 바이오 물질이 흐를 수 있는 미세 유체 채널을 형성하는 것을 특징으로 하는 플라스틱 기반 바이오 센서 제조방법 |
14 |
14 삭제 |
15 |
15 삭제 |
지정국 정보가 없습니다 |
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패밀리정보가 없습니다 |
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순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
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1 | 지식경제부 | (주)텔트론 | 전략산업R&D사업[신규과제] | 플라스틱 기반 고감도 전기적 검출 바이오센서 |
특허 등록번호 | 10-1198447-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
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1 |
출원 연월일 : 20101013 출원 번호 : 1020100099844 공고 연월일 : 20121106 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20121029 청구범위의 항수 : 13 유별 : G01N 33/48 발명의 명칭 : 플라스틱 기반 바이오 센서 및 그 제조방법 존속기간(예정)만료일 : 20161101 |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 한국과학기술원 대전광역시 유성구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 276,000 원 | 2012년 10월 31일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 228,200 원 | 2015년 09월 30일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2010.10.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0661452-21 |
2 | [출원서등 보정]보정서 | 2010.12.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0875830-95 |
3 | 수수료 반환 안내서 | 2010.12.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2010-0117197-16 |
4 | 선행기술조사의뢰서 | 2011.12.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
5 | 선행기술조사보고서 | 2012.01.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-2012-0001843-01 |
6 | 의견제출통지서 | 2012.05.15 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0283532-35 |
7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2012.05.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0395820-82 |
8 | [명세서등 보정]보정서 | 2012.05.17 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0395821-27 |
9 | [출원서등 보정]보정서 | 2012.06.04 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0446128-80 |
10 | 보정요구서 | 2012.06.04 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2012-0068739-93 |
11 | 등록결정서 | 2012.10.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0647296-92 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
18 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
기술번호 | KST2014047072 |
---|---|
자료제공기관 | NTB |
기술공급기관 | 한국과학기술원 |
기술명 | 플라스틱 기반 바이오 센서 및 그 제조방법 |
기술개요 |
플라스틱 기반 바이오 센서 및 그 제조방법이 제공된다. 본 발명에 따른 플라스틱 기반 바이오 센서는 플라스틱 기판에 구비된 홈; 및 상기 홈 내부에 안착되며, 바이오 검출 물질이 단결정 실리콘 게이트 채널에 고정된 단위 바이오 센서를 포함하며, 여기에서 상기 홈 외부 및 바이오 센서에는 소스 및 드레인 전극이 와이어 형태로 연결된 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 바이오센서는 플라스틱 기판상에 구현되므로, 종래의 실리콘 기판상에 구현된 바이오센서가 가지는 기판의 한계 효과적으로 극복할 수 있다. |
개발상태 | 기술개발완료 |
기술의 우수성 | |
응용분야 | 바이오 기전시스템 기술 |
시장규모 및 동향 | |
희망거래유형 | 기술매매,라이센스, |
사업화적용실적 | |
도입시고려사항 |
과제고유번호 | 1345166334 |
---|---|
세부과제번호 | 2010-0009903 |
연구과제명 | 플렉시블 디스플레이 신모드 개발 및 특성 향상 기술 연구 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2012 |
연구기간 | 200709~201602 |
기여율 | 0.33333334 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
과제고유번호 | 1345187049 |
---|---|
세부과제번호 | 2012R1A2A1A03010415 |
연구과제명 | 나노복합소재를 이용한 고효율 나노자가발전기 제작 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2012 |
연구기간 | 201205~201504 |
기여율 | 0.33333334 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1415113236 |
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세부과제번호 | 2010-0102-006 |
연구과제명 | 플라스틱 기반 고감도 전기적 검출 바이오센서 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 지식경제부 |
연구주관기관명 | ㈜텔트론 |
성과제출연도 | 2010 |
연구기간 | 201006~201205 |
기여율 | 0.33333334 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | BT(생명공학기술) |
과제고유번호 | 1345121182 |
---|---|
세부과제번호 | 2010-0009903 |
연구과제명 | 플렉시블 디스플레이 신모드 개발 및 특성 향상 기술 연구 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2010 |
연구기간 | 200709~201602 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
과제고유번호 | 1345128679 |
---|---|
세부과제번호 | 2009-0088402 |
연구과제명 | 마이크로스트럭쳐 반도체(μs-Sc)기술을 활용한 플렉서블 고감도 바이오 센서 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2010 |
연구기간 | 200909~201208 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | BT(생명공학기술) |
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