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광도파로 및 적어도 하나의 제 1 전기배선이 삽입된 구조물의 하부에 요(凹)부형 미세구조물 및 철(凸)부형 미세구조물 중 적어도 하나가 형성되어 있는 광전배선부; 및상기 광전배선부에 형성된 미세구조물에 대응되는 부위에 철부형 미세구조물 또는 요부형 미세구조물이 형성되고, 상기 광도파로를 통해 광 통신을 수행하는 광전소자가 실장되고, 반도체 칩과의 전기접속을 위한 적어도 하나의 제 2 전기배선이 형성되는 광학벤치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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제 1항에 있어서,상기 광전배선부에 형성된 미세구조물 중 적어도 하나의 요철면에 상기 제1 전기배선이 노출되어 있으며,상기 제1 전기배선이 노출된 상기 광전배선부의 미세구조물과 대응되는 위치에 존재하는, 상기 광학벤치의 미세구조물의 요철면에 상기 제 2 전기배선이 형성되어 상기 광전배선부 및 상기 광학벤치가 전기접속되는 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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제 1항에 있어서,상기 광전소자와 상기 광도파로 사이의 수직 및 수평 광정렬을 위해, 일정 위치 및 높이를 가지며 전기배선이 형성되어 있지 아니한 요부형 미세구조물 또는 철부형 미세구조물이 상기 광전배선부 및 상기 광학벤치에서 서로 대응되는 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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제 1항에 있어서,상기 광전소자와 상기 광도파로 사이의 수직 및 수평 광정렬과 상기 광전배선부 및 상기 광학벤치의 진기접속을 동시에 완성하기 위하여, 일정 위치 및 높이를 가지며 전기재선이 형성되어 있는 요부형 미세구조물 또는 철부형 미세구조물이 상기 광전배선부 및 상기 광학벤치에서 서로 대응되는 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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제 1항에 있어서,상기 광전소자와 상기 광도파로는 버트-커플링(butt-coupling) 광결합하는 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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제 1항에 있어서,상기 요부형 미세구조물 및 상기 철부형 미세구조물은 사각기둥 모양으로 상기 광전배선부 및 상기 광학벤치의 모서리에 접하도록 형성되어, 상기 요부형 미세구조물이 상기 철부형 미세구조물에 슬라이딩되는 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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제 1 항에 있어서,상기 광도파로는 코어-클래드 구조의 유전체 광도파로이고, 상기 코어-클래드 구조의 광도파로는 할로겐 원소 또는 중수소를 포함하는 고분자 광학 재료로 형성된 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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제 1 항에 있어서,상기 광도파로는 광신호가 전달되는 적어도 하나 이상의 금속선 및 상기 금속선을 둘러싸는 고분자 광학재료를 포함하는 금속광도파로인 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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제 8 항에 있어서,상기 금속광도파로의 두께는 5 내지 200 ㎚ 이고, 폭은 2 내지 100 ㎛인 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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제 8 항에 있어서,상기 금속광도파로는 플렉서블(flexible)한 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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제 1항에 있어서,상기 광전소자는 0 ~ 90도 경사를 갖는 광학벤치 면에 실장되는 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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제 1항에 있어서, 상기 광학벤치는,90도 경사면에 광전소자가 실장된 제1 광학벤치; 및상기 광전배선부에 형성된 미세구조물에 대응되는 부위에 철부형 미세구조물 또는 요부형 미세구조물이 형성되며, 상기 제1 광학벤치가 삽입되는 요부형 미세구조물이 형성된 제2 광학벤치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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제 1항에 있어서,상기 광전소자는 발광소자 또는 수광소자이며, 상기 발광소자는 TM모드 발광소자인 표면방출레이저(VCSEL)를 사용하는 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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제 13항에 있어서,상기 표면방출레이저와 금속광도파로 간의 광결합 효율을 증대를 위하여 45도 반사경이 상기 광전배선부의 끝부분에 구비된 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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제 13항에 있어서,상기 45도 반사경 하부에는 수직 광신호의 편광 특성 조절을 위한 편광기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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제 13항에 있어서,상기 45도 반사경 하부에는 수직 광신호의 집광을 위한 렌즈를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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제 16항에 있어서,상기 45도 반사경 내부에는 코어-클래드형의 광도파로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 광전배선부를 포함하는 광전버스 모듈
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제 1항에 있어서,상기 광전소자는 발광소자 또는 수광소자이고, 상기 발광소자는 TM모드 발광소자인 레이저 다이오드(Laser Diode)를 사용하는 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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19
제 18항에 있어서,상기 발광소자가 TE모드 발광소자인 경우, 광을 TM모드로 변환하기 위하여 상기 TE모드 발광소자와 상기 광전배선부 사이에 편광기를 위치시키는 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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제 19항에 있어서,광결합 효율을 증대시키기 위하여, 상기 레이저 다이오드와 상기 광전배선부 사이에 렌즈를 더 구비한 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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제 1항에 있어서,상기 광학벤치는 실리콘 또는 고분자 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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제 1항에 있어서,상기 광전 배선부에서 상기 제1 전기배선이 형성된 요부형 미세구조물는, 상기 요부형 미세구조물에 대응되는 상기 광학벤치의 철부형 미세구조물에 형성된 상기 제2 전기배선의 두께를 수용하는 공간을 포함하는 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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제 1항에 있어서,상기 요부형 미세구조물 및 철부형 미세구조물의 단면은 마름모 모양으로 형성되어, 상기 광전배선부 및 상기 광학 벤치가 전기접속될 때 수평 및 수직 이동이 일어나지 않도록 하는 광전버스 모듈
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제 1항에 있어서,상기 광전배선부는 두 층의 클래드로 구성되고, 상기 광전 배선부의 요부형 미세구조물의 요부면은 상기 두 층이 만나는 면과 맞닿아 있는 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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제 1항에 있어서,상기 광전배선부는 두 층의 클래드로 구성되고, 상기 광전 배선부의 철부형 미세구조물은 상기 클래드 위에 형성되는 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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제 1항에 있어서,상기 광전 배선부의 요부형 미세구조물의 요부면은 상기 광도파로와 평행한 방향으로 상기 광전배선부의 측면까지 형성되어 있으며, 상기 요부면의 길이는 상기 광전소자와 상기 광 도파로 사이의 간격에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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광도파로 및 적어도 하나의 전기배선이 삽입된 광전배선부; 및상기 광전배선부의 앞단의 일부 전체가 일정 깊이로 삽입되는 넓은 요(凹)부가 형성되어 있고, 상기 광도파로를 통해 광통신을 수행하는 광전소자가 실장되는 광학벤치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광전버스 모듈
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광도파로 및 적어도 하나의 제 1 전기배선이 삽입된 구조물의 하부에 요(凹)부형 미세구조물 및 철(凸)부형 미세구조물 중 적어도 하나가 형성되어 있는 광전배선부; 및상기 광전배선부에 형성된 미세구조물에 대응되는 부위에 철부형 미세구조물 또는 요부형 미세구조물이 형성된 광학벤치, 상기 광도파를 통해 광통신을 수행하는 광전소자, 상기 광학벤치에 형성되어 상기 제1 전기배선과 전기접속되는 제2 전기배선 및 상기 광전소자와 상기 제2 전기배선에 모두 연결되는 반도체 칩을 포함하는 광전송수신부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광전통신 시스템
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제 28항에 있어서,상기 광전배선부에 형성된 미세구조물 중 적어도 하나의 요철면에 상기 제1 전기배선이 노출되어 있으며,상기 제1 전기배선이 노출된 상기 광전배선부의 미세구조물과 대응되는 위치에 존재하는, 상기 광학벤치의 미세구조물의 요철면에 상기 제 2 전기배선이 형성되어 상기 광전배선부 및 상기 광전송수신부가 전기접속되는 것을 특징으로 하는 광전통신 시스템
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제 28항에 있어서,상기 광전소자와 상기 광도파로 사이의 수직 및 수평 광정렬을 위해, 일정 위치 및 높이를 가지며 전기배선이 형성되어 있지 아니한 요부형 미세구조물 또는 철부형 미세구조물이 상기 광전배선부 및 상기 광학벤치에서 서로 대응되는 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 광전통신 시스템
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자외선 경화성 고분자 재료를 기판에 도포하고 자외선으로 경화하여 하부 클래드를 형성하고, 상기 하부 클래드의 상부에 광도파로 및 전기배선을 형성하는 단계; 상기 하부 클래드 위에 자외선 경화성 고분자 재료를 도포하여 상부 클래드를 형성하고, 철부형 미세구조물이 형성된 자외선 투과성 몰드를 상기 상부 클래드에 압착하고 자외선으로 경화하는 단계; 및상기 몰드를 상기 상부 클래드로부터 이격하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광전배선부 제작 방법
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자외선 경화성 고분자 재료를 기판에 도포하고 자외선으로 경화하여 하부 클래드를 형성하고, 상기 하부 클래드의 상부에 광도파로를 형성하는 단계;상기 하부 클래드 위에 자외선 경화성 고분자 재료를 도포하여 상부 클래드를 형성하고, 요부형 미세구조물이 형성된 자외선 투과성 몰드를 상기 상부 클래드에 압착하고 자외선으로 경화하는 단계;상기 몰드를 상기 상부 클래드로부터 이격하는 단계; 및상기 상부 클래드에 전기배선을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광전배선부 제작 방법
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