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측정코자 하는 대상물 또는 가공코자 하는 대상물을 평면상에서 이송하는 시편이송 스테이지 장치로,상기 측정코자 하는 대상물 또는 가공코자 하는 대상물이 상부면에 올라가게끔 일정공간을 제공하며, 상기 대상물이 상기 상부면에 고정되게끔 하는 시편 이송부;상기 시편 이송부가 X축, Y축 또는 XY축으로 움직이게끔 외부 동력원을 이용해 구동력을 발생시켜 상기 시편 이송부에 전달하는 구동부;상기 시편 이송부가 X축, Y축 또는 XY축 중 기설정된 목적 좌표에 위치하게끔 상기 구동력에 의해 움직이는 상기 시편 이송부의 이동 방향을 제한하는 가이드부;상기 시편 이송부의 현 위치를 실시간으로 측정하여 상기 시편 이송부가 상기 목적 좌표에 도달하였는지를 감지 및 체크하는 센서부;상기 시편 이송부의 도달 좌표와 상기 목적 좌표 간에 파악되는 바미러의 정렬오차를 보상해 주는 보정기; 및상기 시편 이송부의 현 위치가 변경될 경우, 상기 센서부에 기구비된 다수의 레이저 간섭계 중 선택된 하나를 다른 선택된 하나로 자동 전환시키는 전환기를 포함하는 시편이송 스테이지 장치
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제 1 항에서 있어서, 상기 센서부는,상기 X축 상에 존재하는 바미러의 반사면에 수직으로 레이저를 입사시킬 수 있게끔 상기 Y축과 나란한 방향으로 복수개 이상 배치된 Y축 레이저 간섭계;상기 Y축 상에 존재하는 바미러의 반사면에 수직으로 상기 레이저를 입사시킬 수 있게끔 상기 X축과 나란한 방향으로 적어도 하나 이상 배치된 X 축 레이저 간섭계; 및상기 바미러의 오차 측정시 발생되는 Yaw 모션 오차(θ)를 구하는 각도측정 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 시편이송 스테이지 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 Y축 레이저 간섭계는,상기 복수의 바미러 간을 잇는 연결구간 상에서 파악되는 바미러의 정렬오차를 측정할 뿐만 아니라, 상기 시편 이동부의 최초 위치에서 목표 좌표까지 이르기 전까지 실시간으로 변경되는 현 위치를 동시에 체크하는 것을 특징으로 하는 시편이송 스테이지 장치
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제 3 항에 있어서,상기 바미러의 정렬오차는,상기 Y축 레이저 간섭계에 의해 측정한 변동분에서 상기 Yaw모션 오차(θ)와 Y축 레이저 간섭계 간의 간격치를 곱해서 나온 값을 뺀 결과치인 특징으로 하는 시편이송 스테이지 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 구동부는 상기 구동력을 발생시키는 선형모터를 채택 및 이용하여 상기 시편 이송부를 X축, Y축 또는 XY축으로 움직이게끔 하고,상기 가이드부는 공기베어링 또는 LM 가이드를 채택 및 이용하여 상기 시편 이송부를 X축, Y축 또는 XY축 중 기설정된 목적 좌표에 위치하게끔 상기 목적 좌표를 안내해 주는 것을 특징으로 하는 시편이송스테이지 장치
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측정코자 하는 대상물 또는 가공코자 하는 대상물을 평면상에서 이송하는 시편이송 스테이지 장치의 구동방법으로,시편 이송부가 상기 측정코자 하는 대상물 또는 가공코자 하는 대상물을 상부면에 올린 후 상기 대상물을 상기 상부면에 고정시키는 단계;구동부가 외부 동력원에 의해 발생된 구동력을 상기 시편 이송부에 전달하여 상기 시편 이송부를 X축, Y축 또는 XY축으로 이동시키는 단계;가이드부가 상기 구동력에 의해 이동하는 상기 시편 이송부의 이동 방향을 제한하여 상기 시편 이송부가 기설정된 목적 좌표에 위치되게끔 가이드하는 단계;센서부가 상기 시편 이송부의 현 위치를 실시간으로 측정하여 상기 목적 좌표에 상기 시편 이송부가 도달하였는지를 감지 및 체크하는 단계;보정기가 상기 시편 이송부의 도달 좌표와 상기 목적 좌표 간에 파악되는 바미러의 정렬오차를 보상해 주는 단계; 및전환기가 상기 시편 이송부의 현 위치가 변경될 경우, 상기 센서부에 기구비된 다수의 레이저 간섭계 중 선택된 하나를 다른 선택된 하나로 자동 전환시키는 단계를 포함하는 시편이송 스테이지 장치의 구동방법
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제 6 항에서 있어서, 상기 센서부에 기구비된, Y축 레이저 간섭계가 복수개 이상 배치된 후 상기 X축 상에 존재하는 바미러의 반사면에 수직으로 레이저를 입사시키는 단계;X 축 레이저 간섭계가 적어도 하나 이상 배치된 후 상기 Y축 상에 존재하는 바미러의 반사면에 수직으로 상기 레이저를 입사시키는 단계; 및각도측정 센서가 상기 바미러의 오차 측정시 발생하는 Yaw 모션 오차(θ)를 구하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 시편이송 스테이지 장치의 구동방법
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제 7 항에 있어서, 상기 복수의 Y축 레이저 간섭계가,상기 복수의 바미러 간을 잇는 연결구간 상에서 파악되는 바미러의 정렬오차를 측정하는 단계; 및상기 시편 이동부의 최초 위치에서 목표 좌표까지 도달하기 전까지 실시간으로 변동되는 상기 현 위치를 동시에 체크하는 단계를 더 포함하며,상기 바미러의 정렬오차는 상기 Y축 레이저 간섭계에 의해 측정한 변동분에서 상기 Yaw모션 오차(θ)와 Y축 레이저 간섭계 간의 간격치를 곱해서 나온 값을 뺀 결과치인 것을 특징으로 하는 시편이송 스테이지 장치의 구동방법
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제 6 항에 있어서,상기 구동부가 상기 구동력을 발생시키는 선형모터를 채택 및 이용하여 상기 시편 이송부를 X축, Y축 또는 XY축으로 움직이게 하는 단계; 및상기 가이드부는 공기베어링 또는 LM 가이드를 채택 및 이용하여 상기 시편 이송부를 X축, Y축 또는 XY축 중 기설정된 목적 좌표에 위치하게끔 상기 목적 좌표를 안내하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 시편이송스테이지 장치의 구동방법
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