맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

플라즈마 발생 시스템

  • 기술번호 : KST2015135117
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 일 실시 예에 따른 유도 결합형 플라즈마 발생용 안테나는 RF 전원과 연결되는 제1단, 접지단과 연결되는 제2단 및 상기 제1단 및 제2단과 연결되고 상기 RF 전원의 인가에 의해 유도 전기장을 생성하는 안테나 코일을 구비한다. 상기 안테나 코일은 적어도 하나의 서브 코일 유닛을 포함한다. 상기 적어도 하나의 서브 코일 유닛은 상기 인가되는 RF 전원에 응답하여 상기 안테나 코일과 인접한 영역에 국부적인 자기장을 생성한다.
Int. CL H05H 1/34 (2006.01.01) H05H 1/30 (2006.01.01) H05H 1/24 (2006.01.01) H01L 21/3065 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020090005335 (2009.01.22)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1063763-0000 (2011.09.02)
공개번호/일자 10-2010-0086138 (2010.07.30) 문서열기
공고번호/일자 (20110908) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.01.22)
심사청구항수 21

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 박영준 대한민국 서울 관악구
2 김일욱 대한민국 서울특별시 송파구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 남정길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 인화빌딩 *층 (삼성동)(특허법인(유한)아이시스)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2009-0041922-90
2 보정요구서
Request for Amendment		 2009.02.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0010100-54
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2009.02.13 수리 (Accepted) 1-1-2009-0089003-69
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.02.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0089316-44
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.05.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.06.17 수리 (Accepted) 9-1-2010-0038514-71
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0428458-97
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2010.11.24 수리 (Accepted) 1-1-2010-0767550-50
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2010.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2010-0838748-36
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.01.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0061777-82
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2011-0061779-73
12 등록결정서
Decision to grant		 2011.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0295438-32
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5195109-43
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-5007213-54
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
RF 전원과 연결되는 제1단; 접지단과 연결되는 제2단; 및 상기 제1단 및 제2단과 연결되고 루프형으로 배치되며, 상기 RF 전원의 전력을 인가받아 유도 전기장을 생성하는 안테나 코일부를 구비하되, 상기 안테나 코일부는 상기 RF 전원의 전력에 응답하여 상기 안테나 코일부와 인접한 영역에 국부적으로 자기장을 생성하는 적어도 하나의 서브 코일 유닛을 포함하여 이루어지며, 상기 적어도 하나의 서브 코일 유닛은 상기 안테나 코일부의 길이 방향을 따라 반복적으로 배열되고 상기 안테나 코일부와 일체형인 유도 결합형 플라즈마 발생용 안테나
2 2
삭제
3 3
제1 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 서브 코일 유닛은 상기 안테나 코일부의 길이 방향을 따라 서로 동일한 형상으로 배열되는 유도 결합형 플라즈마 발생용 안테나
4 4
제1 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 서브 코일 유닛은 상기 안테나 코일부의 길이 방향으로 N극과 S극이 교대로 배열되는 자기장을 발생시키도록 배치되는 유도 결합형 플라즈마 발생용 안테나
5 5
제1 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 서브 코일 유닛은 상기 안테나 코일부의 길이 방향과 수직한 방향으로 N극과 S극이 대칭적으로 배열되는 자기장을 발생시키는 유도 결합형 플라즈마 발생용 안테나
6 6
제4 항 또는 제5 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 서브 코일 유닛은 상기 N극과 상기 S극이 동일한 크기의 자기력선을 가지도록 구성되는 유도 결합형 플라즈마 발생용 안테나
7 7
제1 항에 있어서, 상기 안테나 코일부는 복수의 턴을 갖는 루프형 코일인 유도 결합형 플라즈마 발생용 안테나
8 8
제1 항에 있어서, 상기 안테나 코일부는 루프 형상이고, 상기 RF 전원의 전력에 응답하여 루프 내부에 유도 전기장을 형성하는 유도 결합형 플라즈마 발생용 안테나
9 9
챔버; 상기 챔버의 외부에 배치되는 RF 전원 및 접지단; 상기 챔버의 외벽에 배치되며 상기 RF전원에 연결된 제1단, 상기 접지단에 연결된 제2단 및 안테나 코일부를 포함하는 루프형 안테나를 구비하되, 상기 안테나 코일부는 상기 안테나 코일부의 둘레를 따라 반복적으로 배열되고 상기 안테나 코일부와 일체형인 적어도 하나의 서브 코일 유닛을 포함하여 이루어지며, 상기 적어도 하나의 서브 코일 유닛은 상기 RF 전원의 전력에 응답하여 상기 안테나 코일부와 인접한 영역에 국부적으로 자기장을 발생시키는 유도 결합형 플라즈마 발생 장치
10 10
삭제
11 11
제9 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 서브 코일 유닛은 상기 안테나 코일부의 둘레 방향으로 N극과 S극이 교대로 배열되는 국부적인 자기장을 발생시키도록 배치되는 유도 결합형 플라즈마 발생 장치
12 12
제9 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 서브 코일 유닛은 상기 안테나 코일부의 둘레 방향과 수직한 방향으로 N극과 S극이 대칭적으로 배열되는 국부적인 자기장을 발생시키는 유도 결합형 플라즈마 발생 장치
13 13
제11 항 또는 제12 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 서브 코일은 상기 N극과 상기 S극이 동일한 크기의 자기력선을 가지도록 구성되는, 유도 결합형 플라즈마 발생 장치
14 14
제9 항에 있어서, 상기 루프형 안테나의 상기 안테나 코일부는 복수의 턴을 갖는 유도 결합형 플라즈마 발생 장치
15 15
제9 항에 있어서, 적어도 하나 이상의 루프형 안테나를 더 포함하되, 상기 적어도 하나 이상의 루프형 안테나는 상기 RF 전원과 직렬 또는 병렬로 연결되는 유도 결합형 플라즈마 발생 장치
16 16
제9 항에 있어서, 상기 루프형 안테나는 별개의 제1단, 제2단 및 안테나 코일부를 가지는 복수의 안테나 세그먼트를 포함하고, 상기 복수의 안테나 세그먼트는 서로 물리적으로 분리되며, 상기 복수의 안테나 세그먼트 각각의 제1단 및 제2단은 상기 RF 전원 및 상기 접지단과 병렬 연결되는 유도 결합형 플라즈마 발생 장치
17 17
제9 항에 있어서, 상기 루프형 안테나는 챔버 외벽의 곡면을 감싸는 형태로 배치되는 유도 결합형 플라즈마 발생 장치
18 18
제9 항에 있어서, 상기 루프형 안테나는 챔버 외벽의 평면 상에 배치되는 유도 결합형 플라즈마 발생 장치
19 19
제9 항에 있어서, 상기 안테나 코일부의 높이는 상기 챔버 외벽의 높이에 근거하여 결정되는 유도 결합형 플라즈마 발생 장치
20 20
플라즈마 형성을 위한 가스를 챔버 내에 공급하는 공정; 및 상기 챔버의 외벽에 배치된 루프형 안테나의 일단에 RF 전원의 전력을 공급하는 공정을 포함하되, 상기 루프형 안테나는, 상기 루프형 안테나의 코일 둘레를 따라 반복적으로 배열되고 상기 루프형 안테나와 일체형인, 적어도 하나의 서브 코일 유닛을 포함하여 이루어지며, 상기 루프형 안테나는 상기 RF 전원의 전력에 응답하여, 상기 루프형 안테나의 내부 영역에 유도 전기장을 발생시키고, 상기 적어도 하나의 서브 코일 유닛은 상기 RF 전원의 전력에 응답하여, 상기 루프형 안테나의 상기 코일 인근 영역에 국부적으로 자기장을 발생시키는 유도 결합형 플라즈마 발생 장치의 구동 방법
21 21
제20 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 서브 코일 유닛은 상기 루프형 안테나의 상기 코일 둘레 방향으로 N극과 S극이 교대로 배열되는 국부적인 자기장을 발생시키도록 배치되는 유도 결합형 플라즈마 발생 장치의 구동 방법
22 22
제20 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 서브 코일 유닛은 상기 루프형 안테나의 상기 코일 둘레 방향과 수직한 방향으로 N극과 S극이 대칭적으로 배열되는 국부적인 자기장을 발생시키는 유도 결합형 플라즈마 발생 장치의 구동 방법
23 23
제21 항 또는 제22 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 서브 코일은 상기 N극과 상기 S극이 동일한 크기의 자기력선을 가지도록 구성되는, 유도 결합형 플라즈마 발생 장치의 구동 방법
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 TW201044924 TW 대만 FAMILY
2 TWI580325 TW 대만 FAMILY
3 US20120037491 US 미국 FAMILY
4 WO2010085109 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
5 WO2010085109 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 TW201044924 TW 대만 DOCDBFAMILY
2 TWI580325 TW 대만 DOCDBFAMILY
3 US2012037491 US 미국 DOCDBFAMILY
4 WO2010085109 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
5 WO2010085109 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.