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유동적 디스플레이용 전극, 이의 제조방법 및 이를포함하는 유동적 디스플레이

  • 기술번호 : KST2015140880
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유동적 디스플레이용 전극, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 유동적 디스플레이에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 플라스틱 기판 상에 형성되며, Ga이 도핑된 ZnO를 포함하는 투명 전도성 박막을 포함하고, 상기 플라스틱 기판과 투명 전도성 박막 사이에 Al, Ti, Si, Zr, Hf, La, Ta, Mg 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 1종의 금속을 함유하는 금속 산화물을 포함하는 완충층이 구비된 유동적 디스플레이용 전극, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 유동적 디스플레이에 관한 것이다.상기 유동적 디스플레이는 기판과 투명 전도성 박막 사이에 완충층을 형성하여, 이들 간의 접착력이 향상되고 구부림 변형에 대해 전기적 특성의 변화가 적어 액정표시장치(LCD), 유기전계발광소자(OLED), 전자종이(E-paper) 등 다양한 디스플레이 장치 분야에 응용이 가능하다. 유동적 디스플레이, 완충층, 구부림 변형, 접착력
Int. CL H01B 5/14 (2006.01.01) G06F 3/041 (2006.01.01)
CPC H01B 5/14(2013.01) H01B 5/14(2013.01) H01B 5/14(2013.01)
출원번호/일자 1020070033115 (2007.04.04)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0797077-0000 (2008.01.16)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080122) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.04.04)
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박종완 대한민국 경기 남양주시
2 문연건 대한민국 서울 광진구 군
3 김쇄현 대한민국 서울 성동구
4 문대용 대한민국 대전 서구
5 김웅선 대한민국 서울 강동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장수영 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, *층(역삼동, 대아빌딩)(특허법인 신우)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.04.04 수리 (Accepted) 1-1-2007-0260169-72
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.10.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.11.08 수리 (Accepted) 9-1-2007-0064511-06
4 등록결정서
Decision to grant		 2008.01.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0018609-86
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.03.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5037763-28
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
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번호 청구항
1 1
플라스틱 기판 상에 형성되며, Ga이 도핑된 ZnO를 포함하는 투명 전도성 박막을 포함하고, 상기 플라스틱 기판과 투명 전도성 박막 사이에 Al, Ti, Si, Zr, Hf, La, Ta, Mg 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 1종의 금속을 함유하는 금속 산화물을 포함하는 완충층이 구비된 유동적 디스플레이용 전극
2 2
제 1 항에 있어서,상기 플라스틱 기판은 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene Teraphthalate, PET), 폴리카보네이트(Polycarbonate, PC), 폴리에테르술폰(Polyethersulfone, PES), 폴리아크릴레이트(Polyacrylate, PAR), 폴리노르보르넨(Polynorbomene, PN) 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 1종의 재질을 포함하는 것인 유동적 디스플레이용 전극
3 3
제 1 항에 있어서,상기 투명 전도성 박막은 캐리어 농도가 1
4 4
제 1 항에 있어서,상기 완충층은 1 내지 20 nm의 두께를 가지는 것인 유동적 디스플레이용 전극
5 5
(A) 플라스틱 기판 상에 원자층 증착법을 이용하여 Al, Ti, Si, Zr, Hf, La, Ta, Mg 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 1종의 금속을 함유하는 금속 산화물을 포함하는 완충층을 형성하는 단계; 및(B) 상기 완충층 상에 ZnO와 Ga2O3가 혼합된 스퍼터링 타겟을 사용하여 스퍼터링하여 투명 전도성 박막을 형성하는 단계;를 포함하는 유동적 디스플레이용 전극의 제조방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 완충층은 a1) 플라스틱 기판의 표면에 유기금속 소스를 흡착시키는 단계;a2) 흡착되지 않은 유기금속 소스를 제거하기 위해 불활성 가스를 주입하는 단계;a3) 산소를 포함하는 소스와 플라즈마를 주입하여 상기 유기금속 소스 내 금속과 반응시켜 플라스틱 기판의 표면에 금속 산화물층을 형성하는 단계; 및a4) 금속 산화물층을 형성하지 않은 잔류 유기금속 소스를 제거하기 위해 불활성 가스를 주입하는 단계;를 포함하여 제조하는 유동적 디스플레이용 전극의 제조방법
7 7
제 6 항에 있어서,상기 유기금속 소스는 Al, Ti, Si, Zr, Hf, La, Ta, Mg 및 이들의 조합으로 이루어진 금속 중에서 선택된 1종의 유기금속 전구체(precursor)인 것인 유동적 디스플레이용 전극의 제조방법
8 8
제 6 항에 있어서,상기 유기금속 전구체는 Al, Ti, Si, Zr, Hf, La, Ta, Mg 및 이들의 조합으로 이루어진 금속 중에서 선택된 1종의 금속을 포함하는 염화물, 수산화물, 옥시수산화물, 질산염, 탄산염, 초산염, 옥살산염, 시트르산염, 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 1종인 것인 유동적 디스플레이용 전극의 제조방법
9 9
제 6 항에 있어서,상기 단계 a1)은 60 내지 250 ℃의 온도에서 수행하는 것인 유동적 디스플레이용 전극의 제조방법
10 10
제 6 항에 있어서,상기 단계 a2) 및 a4)의 불활성 가스는 Ar, N2 및 이들의 혼합 기체인 것인 유동적 디스플레이용 전극의 제조방법
11 11
제 6 항에 있어서,상기 단계 a3)의 산소를 포함하는 소스는 O2, O3, H2O, H2O2, N2O, CH3OH, C2H5OH, C3H7OH 및 이들의 혼합 기체로 이루어진 군에서 선택된 1종인 것인 유동적 디스플레이용 전극의 제조방법
12 12
제 6 항에 있어서,상기 단계 a3)의 플라즈마는 50 W에서 200 W 범위에서 처리하는 것인유동적 디스플레이용 전극의 제조방법
13 13
제 6 항에 있어서,상기 단계 a1) 내지 a4)를 100 내지 1000회 동안 수행하는 것인 유동적 디스플레이용 전극의 제조방법
14 14
제 5 항에 있어서,상기 투명 전도성 박막은 90 내지 95 중량%의 ZnO와 5 내지 10 중량%의 Ga2O3을 포함하는 것인 유동적 디스플레이용 전극의 제조방법
15 15
제 5 항에 있어서,상기 스퍼터링은 DC 스퍼터링법인 것인 유동적 디스플레이용 전극의 제조방법
16 16
제 5 항에 있어서,상기 스퍼터링은 진공챔버 내 압력을 2×10-6 Torr 이하로 유지시켜 수행하는 것인 유동적 디스플레이용 전극의 제조방법
17 17
제 5 항에 있어서,상기 스퍼터링은 진공챔버 내 압력을 5×10-2 내지 1×10-4 Torr로 유지시켜 수행하는 것인 유동적 디스플레이용 전극의 제조방법
18 18
제 5 항에 있어서,상기 스퍼터링은 50 내지 300 W의 전압을 인가하여 수행하는 것인 유동적 디스플레이용 전극의 제조방법
19 19
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 따른 전극이 구비된 유동적 디스플레이
20 20
제 19 항에 있어서,상기 유동적 디스플레이는 액정표시장치(LCD), 유기전계발광소자(OLED), 또는 전자종이(E-paper)인 것인 유동적 디스플레이
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.