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이동자와 고정자를 포함하여 이루어지는 고진공용 리니어 스테이지에 연결되는 케이블을 안내하기 위한 케이블베이어에 있어서,
상기 케이블이 연결되는 상기 이동자의 일면에 체결된 이동자체결체;
상기 고정자의 옆면에 체결된 고정자체결체;
한쪽 끝이 상기 이동자체결부에 체결되고, 다른 쪽 끝이 상기 고정자체결부에 체결된 긴 판상이며, 상기 이동자의 이동에 따라 자유롭게 휘어지는 재질의 박판체; 및
상기 이동자체결체, 고정자체결체, 박판체 중 어느 하나 이상에 체결된 ㄷ자 형상이며 ㄷ자 내부에 상기 케이블을 수용하는 가이드를 포함하여 구성되어, 나사의 사용을 최소화한 것을 특징으로 하는 고진공용 케이블베이어
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제1항에 있어서,
상기 박판체의 재질이 스테인리스강인 것을 특징으로 하는 고진공용 케이블베이어
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제1항에 있어서,
상기 가이드가 적어도 상기 이동자체결체와 상기 박판체의 체결부위, 상기 고정자체결체와 상기 박판체의 체결부위, 및 상기 박판체의 중간인 세 곳 이상에 설치되는 것을 특징으로 하는 고진공용 케이블베이어
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이동자와 고정자를 포함하여 이루어지는 고진공용 리니어모터 스테이지에 연결되는 케이블을 안내하기 위한 케이블베이어에 있어서,
긴 판상이며, 양 끝 부분에 한쪽 옆으로 돌출 절곡된 체결부가 형성되어 각각 상기 고정자와 이동자의 옆면에 체결되고 자유롭게 휘어지는 재질의 본체; 및
상기 본체에 체결되는 ㄷ자 형상으로 ㄷ자 내부에 상기 케이블을 수용하는 가이드를 포함하여 구성되어, 나사의 사용을 최소화한 것을 특징으로 하는 고진공용 케이블베이어
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제4항에 있어서,
상기 본체의 재질이 스테인리스강인 것을 특징으로 하는 고진공용 케이블베이어
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제4항에 있어서,
상기 가이드가 적어도 상기 본체의 양 끝부분 및 중간의 세 곳 이상에 설치되는 것을 특징으로 하는 고진공용 케이블베이어
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