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마스크의 상측에 배치되는 투명한 재질의 필름 및 상기 필름이 결합되는 프레임을 포함하는 마스크 커버;
상기 마스크와 상기 필름 사이의 공간부와 연통되도록 상기 마스크가 안착되는 스테이지 및 상기 마스크 커버 중 적어도 하나에 형성되는 흡입구와 연결되며, 상기 공간부에 음압을 형성하는 음압형성유닛; 및
상기 필름이 상기 마스크에 흡착되도록, 상기 흡입구로부터 상기 공간부로 상기 음압이 전달되는 음압전달경로를 형성하기 위한 음압전달수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 밀착장치
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제1항에 있어서,
상기 음압전달수단은,
상기 마스크에 접근 및 이격되는 방향으로 이동가능하도록 상기 스테이지와 상기 필름 사이에 배치되며, 상기 이동시 상기 필름과 상기 스테이지를 상호 이격시키는 음압전달경로 형성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 밀착장치
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제2항에 있어서,
상기 음압전달경로 형성부재는 일방향으로 길게 형성되며,
상기 음압전달경로 형성부재의 일단부는 상기 프레임에 고정되며, 상기 음압전달경로 형성부재의 타단부는 상기 스테이지에 직교하는 방향을 회전축으로 하여 회전 가능하게 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 밀착장치
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제3항에 있어서,
상기 흡입구는 상기 스테이지에 관통 형성되며, 상기 음압전달경로 형성부재의 회전 범위 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 밀착장치
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5
제2항에 있어서,
상기 음압전달경로 형성부재는 일방향으로 길게 형성되며, 상기 프레임에 직선이동 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 마스크 밀착장치
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6
제5항에 있어서,
상기 흡입구는 상기 스테이지에 관통 형성되며, 상기 음압전달경로 형성부재의 이동 범위 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 밀착장치
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7
제3항 또는 제5항에 있어서,
상기 음압전달경로 형성부재는 그 길이방향으로 신장 가능한 것을 특징으로 하는 마스크 밀착장치
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8
제3항 또는 제5항에 있어서,
상기 음압전달경로 형성부재에는, 상기 흡입구로부터 상기 공간부로 음압이 전달되도록 상기 공간부와 상기 흡입구를 상호 연결되는 유동경로가 형성되어 있는 특징으로 하는 마스크 밀착장치
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9
제3항 또는 제5항에 있어서,
상기 음압전달경로 형성부재는 복수 구비되는 것을 특징으로 하는 마스크 밀착장치
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10
제1항에 있어서,
상기 음압전달수단은,
각각이 상기 프레임에 수용되는 수용위치와, 상기 수용위치로부터 마스크에 접근되는 방향으로 돌출되는 돌출위치 사이에서 이동 가능하며, 상호 연결된 복수의 블라인드 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 밀착장치
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11
제10항에 있어서,
상기 각 블라인드 부재는 판상 또는 원형의 막대 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 밀착장치
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12
제10항에 있어서,
상기 각 블라인드 부재는 다공성 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크 밀착장치
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기판이 지지되는 기판 스테이지;
상기 기판 스테이지와 서로 이격되어 마주보게 배치되며, 투명재질로 이루어지며, 마스크가 안착되는 스테이지;
제1항 내지 제6항 및 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 기재된 마스크 밀착장치; 및
상기 기판의 노광을 위한 광을 조사하는 광원;을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광 장비
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14
기판 및 상기 기판의 상면에 안착되는 마스크가 지지되는 스테이지;
제1항 내지 제6항 및 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 기재된 마스크 밀착장치; 및
상기 기판의 노광을 위한 광을 조사하는 광원;을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광 장비
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