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노광장치용 미러 지지체 및 이 지지체가 포함된 노광장치
- 기술번호 : KST2014009613
- 담당센터 : 인천기술혁신센터
- 전화번호 : 032-420-3580
| 요약 | 본 발명은 미러를 지지하는 지지체의 처짐을 최소화하고 지지체의 이동시 지지체에 발생되는 진동을 최소화하며 나아가 발생된 진동이 빠른 시간 내에 감쇠될 수 있도록 구조가 개선되어 기판에 고해상도의 노광패턴을 형성시킬 수 있도록 하는 노광장치용 미러 지지체 및 이 지지체가 포함된 노광장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 노광장치용 미러 지지체는 노광장치에 구비되어 광을 반사하는 미러를 지지하기 위한 것으로서, 프리프레그로 구성되거나 하니콤 구조 또는 폼 구조로 이루어진 코어 및 프리프레그를 포함하도록 구성되는 것을 특징으로 한다. 포토리소그래피, 반도체, 노광, 해상도, 전사 |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/027 (2006.01.01) |
| CPC | G03F 7/70825(2013.01) G03F 7/70825(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020080055498 (2008.06.13) |
| 출원인 | 한양대학교 산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-0977442-0000 (2010.08.17) |
| 공개번호/일자 | 10-2009-0129538 (2009.12.17) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20100824) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2008.06.25) |
| 심사청구항수 | 6 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한양대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 성동구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 오제훈 | 대한민국 | 경기도 안양시 동안구 |
| 2 | 이동준 | 대한민국 | 경기도 안산시 상록구 |
| 3 | 배한승 | 대한민국 | 경기도 안산시 상록구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 송경근 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 서초대로**길 ** (방배동) 기산빌딩 *층(엠앤케이홀딩스주식회사) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한양대학교 에리카산학협력단 | 경기도 안산시 상록구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.06.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0421758-76 |
| 2 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination) |
2008.06.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0457781-04 |
| 3 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2008.06.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0457750-99 |
| 4 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2008.06.25 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2008-0457770-02 |
| 5 | 수수료 반환 안내서 Notification of Return of Official Fee |
2008.06.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2008-0079759-25 |
| 6 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2009.11.09 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 7 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2009.12.04 | 수리 (Accepted) | 9-1-2009-0065501-97 |
| 8 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2010.02.03 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0049135-10 |
| 9 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2010.03.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0166841-56 |
| 10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2010.04.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0209605-30 |
| 11 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2010.04.01 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0209628-80 |
| 12 | 등록결정서 Decision to grant |
2010.07.23 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0314392-87 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.06.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5068294-39 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.02.16 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5022074-70 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5155816-75 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.06 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5156285-09 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 노광장치에 구비되어 광을 반사하는 미러를 지지하기 위한 것으로서, 하니콤 구조 또는 폼 구조로 이루어진 코어; 및 상기 코어가 내부에 배치되도록 상기 코어를 둘러싸게 배치되는 프리프레그;를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장치용 미러 지지체 |
| 2 |
2 제 1항에 있어서, 상기 프리프레그는 복수의 층으로 적층되는 것을 특징으로 하는 노광장치용 미러 지지체 |
| 3 |
3 삭제 |
| 4 |
4 제 1항에 있어서, 상기 프리프레그는 복수 구비되며, 상기 복수의 프리프레그에는, 상기 코어를 둘러싸도록 양단부가 서로 접촉하게 배치되는 제1프리프레그; 및 상기 제1프리프레그를 둘러싸도록 양단부가 서로 접촉하게 배치되는 제2프리프레그;를 포함되며, 상기 제1프리프레그 양단부 간의 접촉부위가 상기 제1프리프레그 양단부 간의 접촉부위로부터 일정 거리 이격되게 배치되는 것을 특징으로 하는 노광장치용 미러 지지체 |
| 5 |
5 노광장치에 구비되어 광을 반사하는 미러를 지지하기 위한 것으로서, 하니콤 구조 또는 폼 구조로 이루어진 코어; 상기 코어가 삽입되는 삽입부가 내부에 형성되며 금속재료로 이루어진 제1프레임; 및 상기 제1프레임의 삽입부가 폐쇄되도록 상기 제1프레임에 결합되는 제1프레임;을 구비하는 것을 특징으로 하는 노광장치용 미러 지지체 |
| 6 |
6 삭제 |
| 7 |
7 제 1항 또는 제 5항에 있어서, 상기 코어는 하니콤 구조로 이루어지며, 상기 코어의 내부에는 폼 구조로 이루어진 보조코어가 배치되는 것을 특징으로 하는 노광장치용 미러 지지체 |
| 8 |
8 광원; 상기 광원으로부터 조사되는 빔이 투과하는 광학계; 상기 광학계를 통과한 빔을 가공하는 미러; 상기 미러가 지지되도록 상기 미러가 결합되는 제1지지체; 상기 제1지지체가 회전 가능하게 결합되는 제2지지체; 기판이 지지되는 스테이지; 상기 스테이지의 상측 및 하측에 각각 배치되며, 일정한 패턴이 형성된 마스크; 및 상기 미러로부터 반사되는 광이 상기 기판의 전면 또는 배면에 선택적으로 조사되도록 상기 제2지지체를 직선 구동하는 구동수단;을 구비하며, 상기 제1지지체 및 제2지지체는 제1항, 제2항, 제4항 및 제5항 중 어느 한 항의 기재에 따른 것을 특징으로 하는 노광장치 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 한국산업기술재단 | 한양대학교 | 산학협력중심대학 기술개발과제 | 고성능 High Collimation 노광 시스템 개발 |
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-0977442-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20080613 출원 번호 : 1020080055498 공고 연월일 : 20100824 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20100723 청구범위의 항수 : 6 유별 : H01L 21/027 발명의 명칭 : 노광장치용 미러 지지체 및 이 지지체가 포함된 노광장치 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한양대학교 산학협력단 서울 성동구... |
| 2 |
(권리자) 한양대학교 에리카산학협력단 경기도 안산시 상록구... |
| 2 |
(의무자) 한양대학교 산학협력단 서울 성동구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 139,500 원 | 2010년 08월 17일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 172,000 원 | 2013년 06월 28일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 120,400 원 | 2014년 07월 03일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 120,400 원 | 2015년 05월 26일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 328,000 원 | 2016년 07월 01일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 229,600 원 | 2017년 06월 29일 | 납입 |
| 제 9 년분 | 금 액 | 164,000 원 | 2018년 08월 13일 | 납입 |
| 제 10 년분 | 금 액 | 285,000 원 | 2019년 06월 03일 | 납입 |
| 제 11 년분 | 금 액 | 285,000 원 | 2020년 07월 15일 | 납입 |
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- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.06.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0421758-76 |
| 2 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 | 2008.06.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0457781-04 |
| 3 | [출원서등 보정]보정서 | 2008.06.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0457750-99 |
| 4 | [명세서등 보정]보정서 | 2008.06.25 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2008-0457770-02 |
| 5 | 수수료 반환 안내서 | 2008.06.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2008-0079759-25 |
| 6 | 선행기술조사의뢰서 | 2009.11.09 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 7 | 선행기술조사보고서 | 2009.12.04 | 수리 (Accepted) | 9-1-2009-0065501-97 |
| 8 | 의견제출통지서 | 2010.02.03 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0049135-10 |
| 9 | [출원서등 보정]보정서 | 2010.03.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0166841-56 |
| 10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2010.04.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0209605-30 |
| 11 | [명세서등 보정]보정서 | 2010.04.01 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0209628-80 |
| 12 | 등록결정서 | 2010.07.23 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0314392-87 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.06.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5068294-39 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.02.16 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5022074-70 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5155816-75 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.06 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5156285-09 |
| 기술번호 | KST2014009613 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | 한양대학교 에리카캠퍼스 |
| 기술명 | 노광장치용 미러 지지체 및 이 지지체가 포함된 노광장치 |
| 기술개요 |
본 발명은 미러를 지지하는 지지체의 처짐을 최소화하고 지지체의 이동시 지지체에 발생되는 진동을 최소화하며 나아가 발생된 진동이 빠른 시간 내에 감쇠될 수 있도록 구조가 개선되어 기판에 고해상도의 노광패턴을 형성시킬 수 있도록 하는 노광장치용 미러 지지체 및 이 지지체가 포함된 노광장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 노광장치용 미러 지지체는 노광장치에 구비되어 광을 반사하는 미러를 지지하기 위한 것으로서, 프리프레그로 구성되거나 하니콤 구조 또는 폼 구조로 이루어진 코어 및 프리프레그를 포함하도록 구성되는 것을 특징으로 한다. 포토리소그래피, 반도체, 노광, 해상도, 전사 |
| 개발상태 | 기술개발진행중 |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | 포토리소그래피 공정에서의 노광장비 |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 라이센스, |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1345085299 |
|---|---|
| 세부과제번호 | kotefhunic08-A-01 |
| 연구과제명 | 학연산클러스터를기반으로한한양대학교산학협력중심대학육성사업 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 교육과학기술부 |
| 연구주관기관명 | 한양대학교 |
| 성과제출연도 | 2008 |
| 연구기간 | 200409~200906 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | 기타 |
| 과제고유번호 | 1415094769 |
|---|---|
| 세부과제번호 | kotefsanhak08-A-01 |
| 연구과제명 | 학연산클러스터를기반으로한한양대학교산학협력중심대학육성사업 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가원 |
| 연구주관기관명 | 한양대학교 |
| 성과제출연도 | 2008 |
| 연구기간 | 200409~200906 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 개발연구 |
| 6T분류명 | 기타 |
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| 심판사항 정보가 없습니다 |
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