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요철 구조의 범프 및 이를 이용한 자가정렬 접합방법

기술번호 : KST2015143765
담당센터 : 경기기술혁신센터
전화번호 : 031-8006-1570

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 요철 구조의 범프를 이용한 자가정렬 접합방법에 관한 것으로서, 돌출부와 지지부로 구성된 철부용 범프와, 상기 철부용 범프의 돌출부와 대응되는 홈으로 구성된 요부용 범프 및 상기 철부용 범프의 돌출부에 증착된 솔더(solder)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.본 발명에 의하면, 철부용 범프를 요부용 범프에 삽입하여 접합하는 접합방법으로, 반도체 접합공정에서 정렬불량을 감소시킬 수 있으며, 철부용 범프와 요부용 범프가 이격되어 접합 후, 이격된 공간과 상기 솔더(solder)와의 접합면적이 증가함으로써, 기계적 강도를 향상시키는 장점이 있다.
Int. CL	H01L 21/60 (2006.01)
CPC
출원번호/일자	1020120089715 (2012.08.16)
출원인	성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자	10-2014-0023625 (2014.02.27) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	거절
심사진행상태	수리
심판사항	심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2012.08.16)
심사청구항수	9

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	성균관대학교산학협력단	대한민국	경기도 수원시 장안구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	이후정	대한민국	경기 수원시 영통구
2	이병훈	대한민국	서울 구로구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	나승택	대한민국	서울특별시 서초구 양재천로길 , *층 (양재동, 대화빌딩)(무일국제특허법률사무소)
2	조영현	대한민국	서울특별시 강남구 논현로 **(도곡동, 은하수빌딩) 층(특허사무소시선)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2012.08.16	수리 (Accepted)	1-1-2012-0657106-79
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2013.05.03	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2013.06.05	수리 (Accepted)	9-1-2013-0042112-84
4	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2013.09.05	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0630344-33
5	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2013.11.05	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2013-1008411-14
6	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2013.11.05	수리 (Accepted)	1-1-2013-1008342-51
7	최후의견제출통지서 Notification of reason for final refusal	2014.02.18	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0117578-00
8	[지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)	2014.04.17	수리 (Accepted)	1-1-2014-0368045-50
9	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2014.05.19	수리 (Accepted)	1-1-2014-0469316-19
10	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2014.05.19	보정승인 (Acceptance of amendment)	1-1-2014-0469343-42
11	거절결정서 Decision to Refuse a Patent	2014.09.24	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0653470-06
12	심사관의견요청서 Request for Opinion of Examiner	2014.12.23	수리 (Accepted)	7-8-2014-0031354-42
13	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2017.02.23	수리 (Accepted)	4-1-2017-5028829-43

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 돌출부와 지지부로 구성된 철부용 범프;상기 철부용 범프의 돌출부와 대응되는 홈으로 구성된 요부용 범프; 및상기 철부용 범프와 상기 요부용 범프는 이격되어 접합되며, 상기 이격된 공간 안으로 채워진 솔더(solder);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 요철(CONCAVE-CONVEX) 구조의 범프
2	2 제 1항에 있어서,상기 철부용 범프는, 상기 솔더(solder)의 녹는점 보다 높은 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 요철(CONCAVE-CONVEX) 구조의 범프
3	3 제 1항에 있어서,상기 요부용 범프는, 상기 솔더(solder)의 녹는점 보다 높은 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 요철(CONCAVE-CONVEX) 구조의 범프
4	4 제 1항에 있어서,상기 솔더(solder)는, 상기 철부용 범프와 상기 요부용 범프의 녹는점 보다 낮은 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 요철(CONCAVE-CONVEX) 구조의 범프
5	5 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 철부용 범프는, 상기 돌출부의 폭이 40㎛ 내지 60㎛이며, 상기 돌출부의 높이는 40㎛ 내지 90㎛인 것을 특징으로 하는 요철(CONCAVE-CONVEX) 구조의 범프
6	6 제 1항 또는 제 3항에 있어서,상기 요부용 범프는, 상기 홈의 폭이 65㎛ 내지 85㎛이며, 상기 홈의 높이는 40㎛ 내지 90㎛인 것을 특징으로 하는 요철(CONCAVE-CONVEX) 구조의 범프
7	7 제 1항 또는 제 4항에 있어서,상기 솔더(solder)는, 두께가 3㎛ 내지 10㎛인 것을 특징으로 하는 요철(CONCAVE-CONVEX) 구조의 범프
8	8 돌출부와 지지부로 구성된 철부용 범프와, 상기 철부용 범프의 돌출부와 대응되는 홈으로 구성된 요부용 범프를 준비하는 준비단계;상기 철부용 범프의 돌출부에 솔더(solder)를 증착시키는 증착단계;상기 철부용 범프와 상기 요부용 범프를 접합하는 접합단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 요철(CONCAVE-CONVEX) 구조의 범프를 이용한 자가정렬 접합방법
9	9 제 8항에 있어서,상기 준비단계에서, 상기 철부용 범프와 상기 요부용 범프는 와이퍼(wafer)위에 전해도금방식으로 형성되는 것을 특징으로 하는 요철(CONCAVE-CONVEX) 구조의 범프를 이용한 자가정렬 접합방법
10	10 제 8항에 있어서,상기 준비단계에서, 상기 철부용 범프와 상기 요부용 범프는 구리(Cu)를 포함하는 물질로 이루어지며, 상기 솔더(solder)는 주석(Sn)을 포함하는 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 요철(CONCAVE-CONVEX) 구조의 범프를 이용한 자가정렬 접합방법
11	11 제 8항에 있어서,상기 증착단계에서, 상기 솔더(solder)는 상기 철부용 범프의 돌출부 말단에 전해도금 방식으로 증착시키는 것을 특징으로 하는 요철(CONCAVE-CONVEX) 구조의 범프를 이용한 자가정렬 접합방법
12	12 제 8항에 있어서,상기 접합단계에서, 접합공정이 일어나는 온도는 상기 철부용 범프와 상기 요부용 범프에 포함되어 있는 금속의 녹는점보다는 낮으며 상기 솔더(solder)의 녹는점 보다는 높은 온도인 것을 특징으로 하는 요철(CONCAVE-CONVEX) 구조의 범프를 이용한 자가정렬 접합방법

순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번	연구부처	주관기관	연구사업	연구과제
1	지경부	성균관대학교 산학협력단	전자정보디바이스산업원천기술개발사업(반도체)	초미세 고신뢰성 배선기술

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2012.08.16	수리 (Accepted)	1-1-2012-0657106-79
2	선행기술조사의뢰서	2013.05.03	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서	2013.06.05	수리 (Accepted)	9-1-2013-0042112-84
4	의견제출통지서	2013.09.05	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0630344-33
5	[명세서등 보정]보정서	2013.11.05	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2013-1008411-14
6	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2013.11.05	수리 (Accepted)	1-1-2013-1008342-51
7	최후의견제출통지서	2014.02.18	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0117578-00
8	[지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서	2014.04.17	수리 (Accepted)	1-1-2014-0368045-50
9	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2014.05.19	수리 (Accepted)	1-1-2014-0469316-19
10	[명세서등 보정]보정서	2014.05.19	보정승인 (Acceptance of amendment)	1-1-2014-0469343-42
11	거절결정서	2014.09.24	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0653470-06
12	심사관의견요청서	2014.12.23	수리 (Accepted)	7-8-2014-0031354-42
13	출원인정보변경(경정)신고서	2017.02.23	수리 (Accepted)	4-1-2017-5028829-43


과제고유번호	1415122264
세부과제번호	10035430
연구과제명	초미세 고신뢰성 배선기술
성과구분	출원
부처명	지식경제부
연구관리전문기관명	한국산업기술평가관리원
연구주관기관명	한국반도체연구조합
성과제출연도	2012
연구기간	201003~201502
기여율	1
연구개발단계명	기초연구
6T분류명	IT(정보기술)

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번호	심판번호(숫자)	심판번호(문자)	사건의표시	청구일	심결일자
1	2014101006600	2014원6600	2012년 특허출원 제0089715호 거절결정불복	2014.10.24	2015.06.17

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