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Bi-Zn-Ti-Nb-O계 고용체 박막으로서, 730 kV/cm ~ 1100kV/cm의 전계 인가 범위에서 전계 무인가시의 상기 박막의 유전율에 대한 전계 인가시의 상기 박막의 유전율의 변화로 정의되는 전계 가변율이 약 0
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제1항에 있어서, 상기 유전율이 140 이상인 것을 특징으로 하는 유전체 박막
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제1항에 있어서, 상기 유전체 박막은 유전 손실 tan δ가 0
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파이로클로어 구조를 가지는 Bi2Ti2O7, Zn2Nb2O7의 두 끝단 물질로 이루어지는 고용체 박막으로서, 고용체 구조 내에서 같은 위치를 차지하는 Bi3+ 이온과 Zn2+ 이온이 서로를 치환하고, Ti4+ 이온과 Nb5+ 이온이 서로를 치환하여 다음의 조성식으로 표현되는 고용체 박막
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제4항에 있어서, 상기 x는 0
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제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 박막의 유전율은 140 ≤εr ≤260인 것을 특징으로 하는 고용체 박막
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제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 박막의 유전 손실은 0
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제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 박막은 730 ~ 1100 kV/cm의 인가 전계 범위에서 0
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제8항에 있어서, 상기 박막은 약 2
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제4항 또는 제5항에 있어서, -680 ppm/oC에서 -1054 ppm/oC의 정전용량 온도계수를 가지는 것을 특징으로 하는 고용체 박막
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제4항에 있어서, 상기 x는 0
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Bi, Zn, Ti 및 Nb을 포함하는 금속염 및/또는 금속 알콕사이드의 전구체 용액으로부터 Bi-Zn-Ti-Nb-O계 유전체 박막을 제조하는 방법에 있어서, 상기 전구체 용액은 안정화제로서 디에탄올아민을 포함하는 것을 특징으로 하는 Bi-Zn-Ti-Nb-O계 유전체 박막 제조 방법
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Bi, Zn, Ti 및 Nb을 포함하는 금속염 및/또는 금속 알콕사이드의 전구체 용액으로부터 Bi-Zn-Ti-Nb-O계 유전체 박막을 제조하는 방법에 있어서, 상기 전구체 용액은 안정화제로서 디에탄올아민을 포함하는 것을 특징으로 하는 Bi-Zn-Ti-Nb-O계 유전체 박막 제조 방법
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