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재구성 가능한 전자 소자 및 이의 동작 방법

  • 기술번호 : KST2015136779
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 재구성 가능 소자 구현에 있어서, 독립된 상부 게이트와 하부 게이트를 구현하여 기존의 동일 기능의 재구성 가능 소자에 비해서 집적도를 크게 증가 시켰으며, 소자 내에 비휘발성 메모리 기능이 내재된 독립된 하부 전극 어레이를 기반으로 재구성 가능 회로 동작 시에 동적기생 성분의 감소와 배선의 복잡도 감소가 가능하며, 궁극적으로 전력소모를 감소시킬 수 있는 구조이다. 또한, 기존의 재구성 가능 소자에 비해서 다기능 소자의 기능 다양성 , 공정상의 정렬 여유도, 채널 내 극소 전기적 도핑 구현 능력, 공정적으로 상향식과 하향식 방법과의 호환성, 1D, 2D 소재와의 정합성 등 다양한 특성 관점에서 탁월한 우수성을 보이는 소자를 제공한다.
Int. CL H01L 27/115 (2006.01) H01L 21/8247 (2006.01) H01L 21/31 (2006.01)
CPC H01L 27/11517(2013.01)
출원번호/일자 1020140048254 (2014.04.22)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1508971-0000 (2015.03.31)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150408) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.04.22)
심사청구항수 21

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이종호 대한민국 서울특별시 서초구
2 진성훈 대한민국 경기도 용인시 수지구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이지연 대한민국 서울특별시 관악구 남부순환로 ****, ***호 제니스국제특허법률사무소 (봉천동, 청동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2014-0383839-92
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.01.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.03.11 수리 (Accepted) 9-1-2015-0015994-62
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
5 등록결정서
Decision to grant
2015.03.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0192163-93
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판;상기 기판의 위에 형성되되 서로 이격되어 전기적으로 분리 배치된 적어도 둘 이상의 하부 전극들로 구성된 하부 전극 어레이;상기 하부 전극들의 사이에 형성되어 하부 전극들을 서로 전기적으로 분리시키는 전극간 절연막;상기 하부 전극 어레이 및 전극간 절연막의 위에 형성된 하부 게이트 절연막;상기 하부 게이트 절연막 위에 형성된 채널층;상기 채널층 위에 형성되되 상기 하부 전극 어레이의 일단에 위치한 하부 전극의 상부에 배치된 소스 전극;상기 채널층 위에 형성되되 상기 하부 전극 어레이의 타단에 위치한 하부 전극의 상부에 배치된 드레인 전극;상기 채널층 또는 채널층 및 상기 소스 전극과 드레인 전극 위에 형성된 상부 게이트 절연막; 및상기 상부 게이트 절연막 위에 형성된 상부 게이트 전극;을 구비하는 재구성 가능한 전자 소자
2 2
제1항에 있어서, 상기 하부 전극 어레이는 3개 이상의 하부전극들로 구성되며, 상기 하부 전극 어레이의 양단에 각각 위치한 하부 전극들을 제외한 나머지의 하부 전극들은 채널의 문턱 전압을 조정하기 위하여 사용되는 것을 특징으로 하는 재구성 가능한 전자 소자
3 3
제1항에 있어서, 기판과 하부 전극들을 전기적으로 격리되도록 하기 위하여 상기 기판과 하부 전극들의 사이에 형성된 제1 절연막을 더 구비하여 하부 전극들을 기판으로부터 전기적으로 분리시킨 것을 특징으로 하는 재구성 가능한 전자 소자
4 4
제1항에 있어서, 상기 하부 게이트 절연막은 강유전체 물질로 구성되어, 하부 전극들에 인가된 전압에 따라 프로그램(program) 또는 이레이져(erase)가 가능하도록 한 것을 특징으로 하는 재구성 가능한 전자 소자
5 5
제1항에 있어서, 상기 하부 게이트 절연막은 적어도 2 층 이상의 절연막들로 구성되되 인접한 층들은 서로 다른 에너지 밴드갭 또는 유전상수를 갖는 물질로 구성된 것을 특징으로 하며, 상기 하부 게이트 절연막을 구성하는 절연막들 중 적어도 한 층의 절연막은 전하를 저장할 수 있는 것을 특징으로 하는 재구성 가능한 전자 소자
6 6
제1항에 있어서, 상기 하부 전극 어레이의 양 끝단에 배치된 하부 전극들의 사이의 거리는 상기 소스 및 드레인 전극 사이의 거리와 동일하고 하부 전극 어레이의 양 끝단에 배치된 하부 전극들의 마주보는 가장자리가 소스 및 드레인 전극의 가장자리와 서로 정렬되게 형성되거나, 상기 하부 전극 사이의 거리가 상기 소스 및 드레인 전극 사이 거리보다 짧게 형성되는 것을 특징으로 하는 재구성 가능한 전자 소자
7 7
제1항에 있어서, 상기 하부 전극 어레이의 양 끝단에 배치된 하부 전극들의 사이의 거리는 상기 소스 및 드레인 전극 사이의 거리보다 넓게 형성되는 것을 특징으로 하는 재구성 가능한 전자 소자
8 8
제1항에 있어서, 상기 재구성 가능한 전자 소자는 상기 채널층과 상부 게이트 절연막 사이에 이들의 계면 특성을 향상시키기 위한 버퍼층을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 재구성 가능한 전자 소자
9 9
제1항에 있어서, 상기 채널층의 표면은 화학적 또는 물리적 표면 처리된 것을 특징으로 하는 재구성 가능한 전자 소자
10 10
제1항에 있어서, 상기 상부 게이트 전극의 양측의 단부들은 상기 소스 전극과 드레인 전극의 단부들과 정렬되도록 구성되거나, 상기 소스 전극과 드레인 전극의 일부와 겹치도록 구성된 것을 특징으로 하는 재구성 가능한 전자 소자
11 11
제1항에 있어서, 상기 채널층은 1차원 나노 물질, 2차원 나노물질, 금속 산화물 박막, 게르마늄(Ge) 박막, SiGe 박막, 실리콘 박막, Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체 박막, Ⅱ-Ⅵ 족 화합물 반도체 박막 중 하나로 구성된 것을 특징으로 하는 재구성 가능한 전자 소자
12 12
제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 따른 재구성 가능한 전자 소자의 동작 방법에 있어서, 하부 전극들에 전압을 인가하여 하부 게이트 절연막이 프로그램 또는 이레이져되도록 하는 것을 특징으로 하며, 상기 프로그램 또는 이레이져의 정도는 상기 하부 전극들에 인가된 전압의 크기 또는 시간에 의해 결정되도록 하는 것을 특징으로 하는 재구성 가능한 전자 소자의 동작 방법
13 13
제12항에 있어서, 하부 전극들에 인가되는 전압을 조절하여, 소스 전극의 하부에 위치한 하부 게이트 절연막과 드레인 전극의 하부에 위치한 하부 게이트 절연막을 프로그램 또는 이레이져 정도를 달리 하거나, 소스 전극의 하부에 위치한 하부 게이트 절연막과 드레인 전극의 하부에 위치한 하부 게이트 절연막 중 하나는 프로그램하고 다른 하나는 이레이져하는 것을 특징으로 하는 재구성 가능한 전자 소자의 동작 방법
14 14
제12항에 있어서, 상기 소스 전극 및 드레인 전극 하부에 위치한 두 개의 하부 전극에 같은 전압을 인가하여 프로그램 또는 이레이져를 수행하는 것을 특징으로 하는 재구성 가능한 전자 소자의 동작방법
15 15
제12항에 있어서, 상기 하부 전극의 전압을 인가하여 프로그램 또는 이레이져를 수행함에 있어 상기 소스 전극과 드레인 전극에 같은 전압(0V 포함)이 인가되는 것을 특징으로 하는 재구성 가능한 전자 소자의 동작방법
16 16
제12항에 있어서, 상기 하부 전극의 전압을 인가하여 프로그램 또는 이레이져를 수행함에 있어 상기 상부 게이트 전극에 전압을 인가하되 소스 전극과 드레인 전극 사이에 전류가 흐르지 않도록 하는 것을 특징으로 하는 재구성 가능한 전자 소자의 동작방법
17 17
제12항에 있어서, 상기 하부 전극의 전압을 인가하여 프로그램 또는 이레이져를 수행함에 있어 상기 상부 게이트 전극에 전압을 인가하되 소스 전극과 드레인 전극 사이에 전류가 흐르도록 하는 것을 특징으로 하는 재구성 가능한 전자 소자의 동작방법
18 18
제12항에 있어서, 상기 하부 전극에 전압을 인가하여 프로그램 또는 이레이져를 수행하기 전에 상부 게이트 전극에 특정 전압을 인가하거나 빛을 인가하는 것을 특징으로 하는 재구성 가능한 전자 소자의 동작방법
19 19
제12항에 있어서, 소스 전극과 소스 전극의 아래에 위치한 하부 전극에 인가되는 전압을 조절하여 소스 전극 아래에 위치한 채널층에 정공을 유기하고, 드레인 전극과 드레인 전극의 아래에 위치한 하부 전극에 인가되는 전압을 조절하여 드레인 전극의 아래에 위치한 채널층에 전자를 유기하여, p-n 다이오드로 동작시키는 것을 특징으로 하는 재구성 가능한 전자 소자의 동작방법
20 20
제12항에 있어서, 소스 전극 및 드레인 전극의 아래에 위치한 하부 전극들에 인가되는 전압을 조절하여 채널층에 전자층을 유기하여 n형 MOSFET으로 동작시키는 것을 특징으로 하는 재구성 가능한 전자 소자의 동작방법
21 21
제12항에 있어서, 소스 전극 및 드레인 전극의 아래에 위치한 하부 전극들에 인가되는 전압을 조절하여 채널층에 정공층을 유기하여 p형 MOSFET으로 동작시키는 것을 특징으로 하는 재구성 가능한 전자 소자의 동작방법
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1 WO2015163603 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 WO2015163603 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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