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철 도핑된 세미 인설레이팅 4-에이치 탄화규소 단결정 박막

  • 기술번호 : KST2015159246
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 철 도핑된 세미 인설레이팅 4-에이치 탄화규소 단결정 박막에 관한 것이다.본 발명의 철 도핑된 세미 인설레이팅 4-에이치 탄화규소 단결정 박막은, 화학기상증착법을 이용하여, 4-에이치 탄화규소 단결정 기판에, 페로신, 티부틸페로신, 엔부틸페로신 등과 같은 철 함유 금속-유기물 소스를 사용한 인씨츄 도핑(in-situ doping) 처리를 하면서 성장시킨 것으로, 상기 소스 중의 철 원자가 1012∼1021개/cm3의 범위로 도핑 되도록 함에 본 발명의 기술적 특징이 있다.본 발명의 철 도핑된 세미 인설레이팅 4-에이치 탄화규소 단결정은, 철 도핑양을 자유롭게 조절할 수 있으며, 가격이 저렴한 기판 위에 성장시킬 수 있을 뿐 아니라 세미 인설레이팅 박막만으로도 인설레이팅 효과를 얻을 수 있기 때문에 제조 비용이 현저히 절감되는 장점이 있다.탄화규소, 단결정, 박막, 세미 인설레이팅, 도핑
Int. CL H01L 21/20 (2006.01)
CPC H01L 21/02529(2013.01) H01L 21/02529(2013.01) H01L 21/02529(2013.01) H01L 21/02529(2013.01)
출원번호/일자 1020050105107 (2005.11.03)
출원인 재단법인서울대학교산학협력재단
등록번호/일자 10-0686717-0000 (2007.02.16)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070316) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.11.03)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김형준 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 송호근 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영환 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 **, *동 ***호 (아이티캐슬)(지인특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.11.03 수리 (Accepted) 1-1-2005-0634242-55
2 보정요구서
Request for Amendment		 2005.11.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2005-0115083-01
3 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items		 2005.12.14 수리 (Accepted) 1-1-2005-0732036-22
4 등록결정서
Decision to grant		 2006.11.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0677002-37
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2008-5015497-73
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5100909-62
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5036045-28
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번호 청구항
1 1
단결정 탄화규소 기판에 성장시킨 세미 인설레이팅 4-에이치 탄화규소 단결정 박막에 있어서, 철 함유 금속-유기물 소스 중의 철이 도핑된 것을 특징으로 하는 철 도핑된 세미 인설레이팅 4-에이치 탄화규소 단결정 박막
2 2
제 1항에 있어서, 상기 금속-유기물 소스는, 페로신, 티부틸페로신 또는 엔부틸페로신 중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 철 도핑된 세미 인설레이팅 4-에이치 탄화규소 단결정 박막
3 3
제 1항에 있어서, 상기 도핑된 철 원자의 양은, 1012∼1021개/cm3의 범위인 것을 특징으로 하는 철 도핑된 세미 인설레이팅 4-에이치 탄화규소 단결정 박막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.