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직류 펄스형 대기압 글로우 플라즈마 발생장치

  • 기술번호 : KST2015172410
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 두개의 전극 사이로 플라즈마 방전용 피딩가스를 공급하여 글로우 방전을 발생시키는 대기압 글로우 플라즈마 발생장치에 있어서, 상기 전극에 인가되는 전원이 직류(DC) 펄스 전압으로서, 상기 직류 펄스 전압은 대기압 상태에서 전원 인가 시점을 시작시간으로 해서 플라즈마가 글로우 방전을 개시한 후 아크 방전으로 전이되기 전을 종료시간으로 하는 펄스 폭을 가지는 것을 특징으로 하는 직류 펄스형 대기압 글로우 플라즈마 발생장치에 관한 것이다. 본 발명에 의하면 전극설계의 자유도가 크고, 고주파 전원 및 임피던스 정합장치 등과 같은 고가의 주변 장치 설치비가 필요없으며, 플라즈마 처리 장치 설계의 자유도가 큰 직류 펄스형 대기압 글로우 플라즈마 발생장치가 제공되는 이점이 있다. 플라즈마, 직류 방전, RF 방전, 마이크로 방전, 대기압 플라즈마
Int. CL H05H 1/24 (2006.01) H05H 1/32 (2006.01) H05H 1/36 (2006.01)
CPC H05H 1/46(2013.01) H05H 1/46(2013.01) H05H 1/46(2013.01)
출원번호/일자 1020080127908 (2008.12.16)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1032836-0000 (2011.04.26)
공개번호/일자 10-2010-0069263 (2010.06.24) 문서열기
공고번호/일자 (20110506) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.12.16)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이호준 대한민국 부산광역시 금정구
2 김동현 대한민국 부산광역시 금정구
3 최준영 대한민국 부산광역시 사하구
4 하창승 대한민국 부산광역시 해운대구
5 이해준 대한민국 부산광역시 금정구
6 박정후 대한민국 부산광역시 연제구
7 이성관 대한민국 부산광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최한수 대한민국 부산광역시 강서구 신호산단*로 **(신호동) 허브원B/D ***호(한스특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2008-0864266-37
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0426020-67
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2010-0763719-86
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.11.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0763726-06
5 보정요구서
Request for Amendment		 2010.11.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0104709-99
6 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2010.11.24 수리 (Accepted) 1-1-2010-0766238-41
7 수수료 반환 안내서
Notification of Return of Official Fee		 2010.11.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0105012-53
8 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2010.11.25 수리 (Accepted) 1-1-2010-0770201-13
9 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2010.11.25 수리 (Accepted) 1-1-2010-0770197-17
10 보정요구서
Request for Amendment		 2010.11.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0105240-56
11 보정요구서
Request for Amendment		 2010.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0105966-84
12 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)		 2010.12.01 수리 (Accepted) 1-1-2010-0777191-41
13 등록결정서
Decision to grant		 2011.02.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0097231-00
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
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두개의 전극 사이로 플라즈마 방전용 피딩가스를 공급하여 글로우 방전을 발생시키는 대기압 글로우 플라즈마 발생장치에 있어서, 상기 전극에 인가되는 전원이 직류(DC) 펄스 전압으로서 상기 직류 펄스 전압은 대기압 상태에서 전원 인가 시점을 시작시간으로 해서 플라즈마가 글로우 방전을 개시한 후 아크 방전으로 전이되기 전을 종료시간으로 하는 펄스 폭을 가지는 것을 특징으로 하는 직류 펄스형 대기압 글로우 플라즈마 발생장치
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제2항에 있어서 상기 직류 펄스 전압은 펄스의 듀티비와 주파수, 펄스의 크기를 제어변수로 하여 발생되는 글로우 방전의 품질을 제어시키는 것을 특징으로 하는 직류 펄스형 대기압 글로우 플라즈마 발생장치
4 4
제2항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서 상기 전극에는 양단의 전극에 동시에 펄스를 인가하되, 양 펄스의 극성과 듀티비를 다르게 인가하여 글로우 방전에 관여하는 펄스의 폭을 정밀 조정하는 것을 특징으로 하는 직류 펄스형 대기압 글로우 플라즈마 발생장치
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제2항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서 상기 직류 펄스 전압은 직류 전압의 펄스폭은 500nsec 이하이고, 듀티비는 0
6 6
제4항에 있어서 상기 직류 펄스 전압은 직류 전압의 펄스폭은 500nsec 이하이고, 듀티비는 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.