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작은 선폭의 전극 배열을 이용한 상압 플라즈마 장치

  • 기술번호 : KST2015228491
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 스트립 (strip) 모양의 전극을 기체가 흐르는 공간 안쪽 표면에 도포하고 유전체 바깥에 있는 접지 전극과의 전압차에 의한 표면방전을 일으켜서 플라즈마를 발생하는 방식으로 넓은 영역의 조사 범위를 갖도록 한 작은 선폭의 전극 배열을 이용한 상압 플라즈마 조사 장치에 관한 것으로, 기체가 흐르는 면에 형성되는 스트립 전극을 갖는 상부 기판 및 하부 기판;상기 하부 기판 및 상부 기판의 사이에 위치하여 가스 통로를 만들기 위한 격벽 유지층;상기 격벽 유지층에 의해 방전 공간을 갖고 결합되는 상부 기판 및 하부 기판의 외측에 위치하여 방사면의 방향이 이루는 각도에 따라 방전을 조절하는 외부 접지 전극;을 포함하는 것이다.
Int. CL H05H 1/46 (2006.01) H01L 21/3065 (2006.01) H01J 37/32 (2006.01)
CPC H01J 37/32532(2013.01) H01J 37/32532(2013.01) H01J 37/32532(2013.01) H01J 37/32532(2013.01) H01J 37/32532(2013.01) H01J 37/32532(2013.01)
출원번호/일자 1020120032331 (2012.03.29)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1366106-0000 (2014.02.17)
공개번호/일자 10-2013-0110391 (2013.10.10) 문서열기
공고번호/일자 (20140226) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.03.29)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이해준 대한민국 부산 금정구
2 이영호 대한민국 부산 북구
3 이호준 대한민국 부산 금정구
4 하창승 대한민국 부산 해운대구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정기택 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
2 오위환 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.03.29 수리 (Accepted) 1-1-2012-0252554-77
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.08.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0534970-75
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.10.01 수리 (Accepted) 1-1-2013-0890645-55
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.10.07 수리 (Accepted) 1-1-2013-0904366-95
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.10.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0904394-63
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
7 등록결정서
Decision to grant		 2014.02.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0077968-75
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
방전 공간을 갖고 서로 결합되는 하부 기판과 상부 기판;상기 서로 결합된 하부 기판과 상부 기판의 기체가 흐르는 면에 형성되는 스트립 전극;상기 하부 기판 및 상부 기판의 사이에 위치하여 가스 통로를 만들기 위한 격벽 유지층;상기 격벽 유지층에 의해 방전 공간을 갖고 결합되는 상,하부 기판 내부에 매립되어, 방사면의 방향이 이루는 각도에 따라 벽전하 분포 방향 및 범위를 제어하는 외부 접지 전극;을 포함하고,상기 외부 접지 전극이 방사면을 기준으로 두께가 달라지는 구조인 것을 특징으로 하는 작은 선폭의 전극 배열을 이용한 상압 플라즈마 조사 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 스트립 전극은,상기 상부 기판 및 하부 기판에 모두에 각각 형성되거나, 어느 하나의 기판에만 형성되는 것을 특징으로 하는 작은 선폭의 전극 배열을 이용한 상압 플라즈마 조사 장치
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 스트립 전극은,상기 상부 기판 또는 하부 기판의 중앙부에 하나의 라인 형태로 형성되거나, 여러 개의 라인 형태로 배열하여 구성되는 것을 특징으로 하는 작은 선폭의 전극 배열을 이용한 상압 플라즈마 조사 장치
4 4
삭제
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 외부 접지 전극은,상,하부 기판 내부에 매립되고, 외부 접지 전극이 벽전하 분포 방향 및 범위를 제어할 수 있는 방사면을 갖고 구성되어 방사면을 기준으로 두께가 일정한 구조인 것을 특징으로 하는 작은 선폭의 전극 배열을 이용한 상압 플라즈마 조사 장치
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 외부 접지 전극은,상,하부 기판 내부에 방사면이 있는 일부가 매립되고, 외부 접지 전극이 벽전하 분포 방향 및 범위를 제어할 수 있는 방사면을 갖고 구성되어 방사면을 기준으로 두께가 달라지거나 동일한 구조인 것을 특징으로 하는 작은 선폭의 전극 배열을 이용한 상압 플라즈마 조사 장치
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 외부 접지 전극은,스트립 전극에 대향하는 외부 접지 전극의 방사면을 기준으로 법선의 진행 방향이 스트립 전극이 형성된 영역의 반대 방향을 향하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 작은 선폭의 전극 배열을 이용한 상압 플라즈마 조사 장치
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 외부 접지 전극은,스트립 전극에 대향하는 외부 접지 전극의 방사면을 기준으로 법선의 진행 방향이 스트립 전극이 형성된 영역을 향하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 작은 선폭의 전극 배열을 이용한 상압 플라즈마 조사 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.