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DMD를 이용한 노광시스템(System for exposure using DMD)

  • 기술번호 : KST2017017825
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 DMD를 이용한 노광시스템은 레이져빔을 방사하는 광원; 상기 광원에 의하여 방사된 레이져 빔을 일방향으로 반사시키는 복수개의 마이크로미러로 형성된 제1열 마이크로부와, 상기 제1열 마이크로부의 측면에 인접하여 배열되며 상기 광원에 의하여 방사된 레이져 빔을 일방향으로 반사시키는 복수개의 마이크로미러로 형성된 제2열 마이크로부를 포함하는 DMD(Digital Micro-mirror Device); 상기 마이크로 미러에 설계된 패턴이미지에 대응하는 전기적 신호를 송신하여 상기 마이크로 미러의 온-오프(On-off)를 제어하는 제어부; 및 상기 DMD로부터 반사되는 레이져빔의 경로 상에 배치되어, 상기 반사되는 레이져 빔을 재반사하여 상기 레이져 빔을 노광대상물 상에 조사하는 폴리곤미러를 포함하고, 상기 제2열 마이크로부의 마이크로미러는 상기 제1열 마이크로부의 복수개의 마이크로미러 사이 공간의 일측에 배치된다. 이러한 본 발명에 따른 DMD를 이용한 노광시스템에 의하면 마이크로 미러 사이 공간으로 인한 패턴이미지의 의도하지 않은 공백을 방지함으로써, 상기 패턴이미지의 형상정밀도를 향상시킬 수 있으며 최종 제품의 불량률을 줄일 수 있다. 더불어 기본 노광패턴이미지의 공백을 제거하기 위한 중첩 노광패턴이미지를 형성함에 있어서, DMD의 제어 방법이 간단하며 구현이 용이하다.
Int. CL G03F 7/20 (2016.07.09)
CPC G03F 7/70116(2013.01) G03F 7/70116(2013.01) G03F 7/70116(2013.01) G03F 7/70116(2013.01) G03F 7/70116(2013.01)
출원번호/일자 1020160070855 (2016.06.08)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0138713 (2017.12.18) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.06.08)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조명우 대한민국 서울특별시 양천구
2 하석재 대한민국 인천광역시 연수구
3 조용규 대한민국 인천광역시 서구
4 김기범 대한민국 경기도 성남시 수정구
5 송기혁 대한민국 서울특별시 구로구
6 김병찬 대한민국 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태백 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** 이노플렉스 *차 ***호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.06.08 수리 (Accepted) 1-1-2016-0548675-40
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.08.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.09.09 수리 (Accepted) 9-1-2016-0040162-13
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.03.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0190040-19
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.05.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0459217-22
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2017-0459218-78
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2017.09.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0679841-43
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.11.03 수리 (Accepted) 1-1-2017-1091549-78
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.11.03 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-1091548-22
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
12 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination		 2018.03.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0037341-59
13 등록결정서
Decision to grant		 2018.04.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0279484-10
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
레이져빔을 방사하는 광원;상기 광원에 의하여 방사된 레이져 빔을 일방향으로 반사시키는 복수개의 마이크로 미러로 형성된 제1열 마이크로부와, 상기 제1열 마이크로부의 측면에 인접하여 배열되며 상기 광원에 의하여 방사된 레이져 빔을 일방향으로 반사시키고 상기 제1열 마이크로부의 복수개의 상기 마이크로 미러 사이 공간의 일측에 배치되는 복수개의 상기 마이크로 미러로 형성된 제2열 마이크로부를 포함하는 DMD(Digital Micro-mirror Device);상기 마이크로 미러에 설계된 패턴이미지에 대응하는 전기적 신호를 송신하여 상기 마이크로 미러의 온-오프(On-off)를 제어하되, 상기 제1열 마이크로부로부터 반사된 레이져 빔과 상기 제2열 마이크로부로부터 반사된 레이져 빔이 상호 중첩되도록 상기 DMD를 제어하는 제어부; 및상기 DMD로부터 반사되는 레이져빔의 경로 상에 배치되어, 상기 반사되는 레이져 빔을 재반사하여 상기 레이져 빔을 노광대상물 상에 조사하는 폴리곤 미러를 포함하고, 상기 제2열 마이크로부로부터 반사된 상기 레이져 빔은 상기 폴리곤 미러를 지나면서 면적이 확대되어 상기 제1열 마이크로부로부터 반사된 상기 레이져 빔과 중첩되는 DMD를 이용한 노광시스템
2 2
청구항 1에 있어서,상기 폴리곤 미러와 노광대상물 사이에 개재되어 상기 폴리곤 미러로부터 반사된 레이져 빔을 상기 노광대상물 상에 집광시키는 집광수단을 더 포함하는 DMD를 이용한 노광 시스템
3 3
삭제
4 4
청구항 1에 있어서,상기 마이크로 미러는 마름모(Diamond) 형상인 것을 특징으로 하는 DMD를 이용한 노광시스템
5 5
청구항 1에 있어서,상기 마이크로 미러는 대각 방향으로 기울어지는 것을 특징으로 하는 DMD를 이용한 노광시스템
6 6
청구항 5에 있어서,상기 마이크로 미러의 기울기는 하기의 수식을 만족하는 것을 특징으로 하는 DMD를 이용한 노광시스템
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 인하대학교 중견연구자지원 기능성 표면의 대면적화를 위한 Roll mold 제작 및 특성 분석