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노광 장치(APPARATUS FOR EXPOSURE)

  • 기술번호 : KST2018004216
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, X축과, 상기 X축에 대하여 직각이 되는 Y축과, 상기 X축 및 Y축에 대하여 직각이 되는 Z축 상에 배치되어 노광대상물에 노광이미지를 생성하기 위한 노광장치에 있어서, 적어도 하나 이상의 열과 행으로 정렬되어 설계된 노광이미지에 대응하도록 전자 신호를 송신받아 온오프(On-off)하는 복수의 마이크로미러(Micro mirror)를 구비하는 DMD(Digital Micro-mirror Device); 상기 DMD로부터 상기 노광이미지를 전달받아 상기 노광이미지를 Y축방향 및 -Z축방향으로 분광하는 제 1빔스플리터(Beam splitter); 상기 제 1빔스플리터에서 Y축방향 및 -Z축방향으로 분광된 노광이미지를 각각 Z축방향 및 Y축방향으로 반사시키는 미러부; 및 상기 미러부로부터 Y축방향 및 Z축방향의 노광이미지를 전달받아, 노광대상물 상에 Z축방향으로 조사하는 제 2빔스플리터를 포함하는 노광장치를 제공한다.
Int. CL G03F 7/20 (2006.01.01) G03F 9/00 (2006.01.01)
CPC G03F 7/70116(2013.01) G03F 7/70116(2013.01) G03F 7/70116(2013.01) G03F 7/70116(2013.01) G03F 7/70116(2013.01)
출원번호/일자 1020160135018 (2016.10.18)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1817875-0000 (2018.01.05)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180111) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.10.18)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조명우 대한민국 서울특별시 양천구
2 김기범 대한민국 경기도 성남시 수정구
3 하석재 대한민국 인천광역시 연수구
4 조용규 대한민국 인천광역시 서구
5 송기혁 대한민국 서울특별시 구로구
6 김병찬 대한민국 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태백 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** 이노플렉스 *차 ***호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.10.18 수리 (Accepted) 1-1-2016-1008839-44
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.12.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.02.10 수리 (Accepted) 9-1-2017-0004761-53
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0221592-16
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.05.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0509951-23
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2017-0509952-79
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2017.10.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0748393-97
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2017-1191509-75
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2017.11.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-1191508-29
10 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2018.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0002025-59
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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X축과, 상기 X축에 대하여 직각이 되는 Y축과, 상기 X축 및 Y축에 대하여 직각이 되는 Z축 상에 배치되어 노광대상물에 노광이미지를 생성하기 위한 노광장치에 있어서,적어도 하나 이상의 열과 행으로 정렬되어 설계된 노광이미지에 대응하도록 전자 신호를 송신받아 온오프(On-off)하는 복수의 마이크로미러(Micro mirror)를 구비하는 DMD(Digital Micro-mirror Device);상기 DMD로부터 상기 노광이미지를 전달받아 상기 노광이미지를 Y축방향 및 -Z축방향으로 분광하는 제 1빔스플리터(Beam splitter);상기 제 1빔스플리터에서 Y축방향 및 -Z축방향으로 분광된 노광이미지를 각각 Z축방향 및 Y축방향으로 반사시키는 미러부; 및 상기 미러부로부터 Z축방향 및 Y축방향의 노광이미지를 전달받아, 노광대상물 상에 Z축방향으로 조사하는 제 2빔스플리터를 포함하고,상기 미러부는,상기 제 1빔스플리터에서 Y축방향으로 분광된 노광이미지를 전달받아 Z축방향으로 반사시키는 제 1 반사미러와, 상기 제 1반사미러로부터 Z방향으로 노광이미지를 전달받아, X축방향으로 반사시키는 제 2반사미러와, 상기 제 2반사미러로부터 노광이미지를 전달받아, -Z축방향으로 반사시키며, X축방향으로 이동가능하도록 구비되는 제 1이동미러와,상기 제 1빔스플리터에서 -Z축방향으로 분광된 노광이미지를 전달받아 X축방향으로 반사시키는 제 3반사미러와, 상기 제 3반사미러로부터 X축방향으로 노광이미지를 전달받아, -Z축방향으로 반사시키는 제 4반사미러와, 상기 제 4반사미러로부터 노광이미지를 전달받아, Y축방향으로 반사시키며, Z축방향으로 이동가능하도록 구비되는 제 2이동미러를 포함하고,상기 제 1이동미러는 X축방향으로 이동함으로써 상기 노광대상물 상에 조사되는 노광이미지를 X축방향으로 이동시켜, 상기 제 1이동미러가 이동되지 않은 상태에서 형성된 기본 노광이미지의 상기 복수의 마이크로미러 사이의 간격으로 나타나는 공백 공간에 중첩노광이미지를 생성하고,상기 제 2이동미러는 Z축방향으로 이동함으로써 상기 노광대상물 상에 조사되는 노광이미지를 Y축방향으로 이동시켜, 상기 제 2이동미러가 이동되지 않은 상태에서 형성된 기본 노광이미지의 상기 복수의 마이크로미러 사이의 간격으로 나타나는 공백공간에 중첩노광이미지를 생성하며,상기 제 1이동미러의 X축방향의 이동량 및 상기 제 2이동미러의 Z축방향의 이동량은 각각 제어가 가능하여, 노광이미지의 중첩도를 선택적으로 조정가능한 노광장치
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 인하대학교 개인연구지원 기능성 표면의 대면적화를 위한 Roll mold 제작 및 특성 분석
2 중소기업청 엠피에스 시장창출형창조기술개발 세계최초 카메라 모듈용 IR필터-Attach 자동화 시스템 개발