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레이져 빔을 방사하는 광원;적어도 하나 이상의 열과 행으로 정렬되어 설계된 패턴이미지에 대응하도록 전자 신호를 송신받아 온오프(On-off)하는 복수의 마이크로 미러를 구비하고, 상기 방사된 레이져 빔의 경로에 배치되어 상기 레이져 빔을 일 방향으로 반사시키는 DMD(Digital Micro-mirror Device);상기 DMD로부터 반사되는 레이져빔의 경로에 배치되어, 상기 반사되는 레이져 빔을 재반사하여 상기 레이져 빔을 노광대상물 상에 조사하는 폴리곤미러; 상기 레이져 빔이 노광대상물 상에 조사되는 동안, 상기 노광대상물을 일 방향으로 이송하는 이송수단 및 상기 DMD에 전기적 신호를 인가하여 상기 복수의 마이크로 미러의 온/오프를제어하는 DMD제어부를 포함하고, 상기 DMD제어부의 작동 방법은,(a) 설계된 패턴이미지의 픽셀 당 행렬을 부가하여 상기 패턴이미지를 행렬 코드로 변환하는 단계;(b) 설계된 패턴이미지에 대응하도록 마이크로 미러의 온-오프(On-off) 신호를 조절하여 노광대상물 상에 기본 노광패턴을 형성하는 단계;(c) 이송수단을 이용하여 상기 기본 노광패턴이 형성된 노광대상물을 일 방향으로 이송하는 단계;(d) 상기 패턴이미지 중 임의의 (n, i) 값의 패턴이미지를 노광패턴 또는 비(非) 노광패턴으로 판별하는 단계;(e) 상기 (n, i) 값의 패턴이미지가 노광패턴인 경우, (n+1, i-1), (n+1, i) 또는 (n+1, i+1) 값의 패턴이미지를 노광패턴 또는 비 노광패턴으로 판별하는 단계; (f) 상기 (n+1, i-1), (n+1, i) 또는 (n+1, i+1) 값의 패턴이미지가 노광패턴인 경우, 상기 (n, i) 값의 패턴이미지와 상기 (n+1, i-1), (n+1, i) 또는 (n+1, i+1)값의 패턴이미지의 사이에 중첩되는 노광패턴이 형성되도록 상기 마이크로 미러의 온-오프(On-off) 신호를 조절하는 단계;(g) n+2 행의 패턴이미지 존재 유무를 판별하는 단계;(h) n+2 행 상에 패턴이미지가 존재하는 경우, 상기 패턴이미지에 대하여 상기 (d)단계부터 반복 수행하는 단계를 포함하며, 상기 DMD제어부는 상기 마이크로 미러로부터 반사된 복수의 레이져 빔이 상기 노광대상물 상에 상호 중첩되도록 상기 복수의 마이크로 미러를 제어하는 DMD 이용한 노광 시스템
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