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2차원 준결정 구조체 및 이의 제조방법

기술번호 : KST2018012646
담당센터 : 경기기술혁신센터
전화번호 : 031-8006-1570

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	기판 상에 다각형 결정 구조를 포함하는 제 1물질층을 형성하는 단계; 상기 제 1물질층을 열처리하여 상기 다각형 결정 구조와 동일한 결정 구조를 포함하는 제 2물질층으로 변환시키는 단계; 및 상기 기판 상에서 상기 다각형 결정구조와 동일한 결정구조를 포함하는 제 3물질층을 성장시키는 단계;를 포함하고, 상기 제 2물질층의 다각형 결정구조와 상기 제 3물질층의 다각형 결정구조가 서로 상이한 방향성을 가지고 엇갈려서 적층된 것인, 2차원 준결정 구조체의 제조방법에 관한 것이다.
Int. CL	H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01) H01L 21/20 (2006.01.01)
CPC	H01L 21/02609(2013.01) H01L 21/02609(2013.01) H01L 21/02609(2013.01) H01L 21/02609(2013.01) H01L 21/02609(2013.01)
출원번호/일자	1020170029984 (2017.03.09)
출원인	성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자	10-2018-0103278 (2018.09.19) 문서열기
공고번호/일자	문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2017.03.09)
심사청구항수	13

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	성균관대학교산학협력단	대한민국	경기도 수원시 장안구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	안종렬	대한민국	경기도 수원시 장안구
2	안성준	대한민국	경기도 수원시 장안구
3	김현우	대한민국	경기도 수원시 장안구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	한선희	대한민국	서울시 강남구 논현로 *** 여산빌딩 층 **호(온유특허법률사무소)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	성균관대학교산학협력단		경기도 수원시 장안구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2017.03.09	수리 (Accepted)	1-1-2017-0235678-69
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2018.05.10	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2018.06.26	수리 (Accepted)	9-1-2018-0030236-94
4	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2018.08.22	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2018-0572729-41
5	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2018.10.22	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2018-1037043-67
6	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2018.10.22	수리 (Accepted)	1-1-2018-1037042-11
7	등록결정서 Decision to grant	2018.12.11	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2018-0850378-62

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 기판 상에 다각형 결정 구조를 포함하는 제 1물질층을 형성하는 단계;상기 제 1물질층을 열처리하여 상기 다각형 결정 구조와 동일한 결정 구조를 포함하는 제 2물질층으로 변환시키는 단계; 및상기 기판 상에서 상기 다각형 결정구조와 동일한 결정구조를 포함하는 제 3물질층을 에피텍셜 성장시키는 단계;를 포함하고,상기 제 2물질층의 다각형 결정구조와 상기 제 3물질층의 다각형 결정구조가 서로 상이한 방향성을 가지고 엇갈려서 적층된 것인, 2차원 준결정 구조체의 제조방법
2	2 제 1항에 있어서, 상기 제 2물질층과 상기 제 3물질층은 비틀어져 서로 겹쳐져 있지 않는 것인, 2차원 준결정 구조체의 제조방법
3	3 제 1항에 있어서,상기 제 2물질층과 상기 제 3물질층은 동일한 물질을 포함하는 것인, 2차원 준결정 구조체의 제조방법
4	4 제 3항에 있어서,상기 제 2물질층 및 제3물질층은 그래핀, h-BN, 전이금속 칼코겐화합물, 흑린, 보로핀, 게르마닌, 실리신, 포스포린, 스테이넨 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 물질을 포함하는 것인, 2차원 준결정 구조체의 제조방법
5	5 제 4항에 있어서, 상기 전이금속 칼코겐화합물은 MoS2, MnO2, MoO3, MoSe2, MoTe2, WS2, WSe2, MSe2 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 물질을 포함하는 것인, 2차원 준결정 구조체의 제조방법
6	6 제 1항에 있어서,상기 기판을 분리하는 단계를 추가 포함하는 것인, 2차원 준결정 구조체의 제조방법
7	7 제 1항에 있어서, 상기 다각형 결정구조는 정다각형 결정구조를 포함하는 것인, 2차원 준결정 구조체의 제조방법
8	8 제 7항에 있어서, 상기 제 2물질층과 상기 제 3물질층은 상기 정다각형의 내각 크기 x˚ 에 대하여, ˚만큼의 각도를 이루어 엇갈려서 적층된 것인, 2차원 준결정 구조체의 제조방법
9	9 제 1항에 있어서,상기 제 1물질층은 그래핀, h-BN, 전이금속 칼코겐화합물, 흑린, 보로핀, 게르마닌, 실리신, 포스포린, 스테이넨 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 물질을 포함하는 것인, 2차원 준결정 구조체의 제조방법
10	10 제 9항에 있어서,상기 전이금속 칼코겐화합물은 MoS2, MnO2, MoO3, MoSe2, MoTe2, WS2, WSe2, MSe2 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 물질을 포함하는 것인, 2차원 준결정 구조체의 제조방법
11	11 삭제
12	12 제 1항에 있어서, 상기 에피텍셜 성장은 분자 빔 에피텍시, 액상 에피텍시, 기상 에피텍시, 선택적 에피텍시 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 에피텍셜 성장을 포함하는 것인, 2차원 준결정 구조체의 제조방법
13	13 제 1항에 있어서, 상기 기판은 실리콘 카바이드, 실리콘, 게르마늄, 실리콘 게르마늄, 실리콘 탄화물, InAs, AlAs, GaAs, InP, GaN, InGaAs, InAlAs, GaSb, AlSb, AlP, GaP 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 물질을 포함하는 것인, 2차원 준결정 구조체의 제조방법
14	14 제 1항 내지 제 10항, 제12항 및 제 13항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의해 제조된, 2차원 준결정 구조체

순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번	연구부처	주관기관	연구사업	연구과제
1	미래창조과학부	성균관대학교 산학협력단	중견연구자지원사업_핵심과제 2/3차	3차원 및 4차원 오리가미 원자물질 연구
2	미래창조과학부	성균관대학교 산학협력단	원자력연구기반확축사업(전략기초) 1/3	[EZ]고내열성 중성자 검출기 개발

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2017.03.09	수리 (Accepted)	1-1-2017-0235678-69
2	선행기술조사의뢰서	2018.05.10	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서	2018.06.26	수리 (Accepted)	9-1-2018-0030236-94
4	의견제출통지서	2018.08.22	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2018-0572729-41
5	[명세서등 보정]보정서	2018.10.22	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2018-1037043-67
6	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2018.10.22	수리 (Accepted)	1-1-2018-1037042-11
7	등록결정서	2018.12.11	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2018-0850378-62

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