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중간층이 개재된 금속 박막을 이용한 크랙 기반 고감도 인장 센서에 있어서:지지체;서로 마주하면서 적어도 일부 면이 서로 접촉할 수 있는 크랙을 포함하고 연성(ductility)을 갖는 전도성 금속 박막; 및상기 지지체와 상기 전도성 금속 박막 사이에 형성되는 제 1 중간층을 포함하고,상기 제 1 중간층은 상기 전도성 금속 박막에 접착되어, 상기 제 1 중간층에서 형성되는 크랙으로 인하여 상기 전도성 금속 박막에 크랙이 형성되도록 한 것을 특징으로 하는 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 중간층은 Cr, Ti, Ni, 이들의 합금, 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹에서 선택되는 어느 하나 또는 이들의 조합으로 이루어진 것인, 센서
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제 1 항에 있어서,상기 전도성 금속 박막은 Au, Ag, Pt, Cu, Fe, Mg, Sn, Zn, Al, Co, Mn, W, Cd, Pd, Ti, 카본(Carbon), 이들의 합금, 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹에서 선택되는 어느 하나 또는 이들의 조합으로 이루어진 것인, 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 중간층과 상기 지지체 사이에 위치하여 상기 제 1 중간층과 상기 지지체를 접착하는 접착층(adhesive layer)인 제 2 중간층을 더 포함하는, 센서
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제 4 항에 있어서,상기 제 2 중간층은 MoO3으로 이루어진 것인, 센서
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제 1 항에 있어서,상기 지지체는 가요성인, 센서
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제 6 항에 있어서,상기 지지체는 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리이미드(PI), PC(폴리카보네이트), PE(폴리에틸렌), PVA(폴리비닐알코올), OPP(연신폴리프로필렌), 및 셀룰로우즈 나일론(Cellulose Nylon)으로 이루어진 그룹에서 선택되는 어느 하나 또는 이들의 조합으로 이루어진 것인, 센서
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제 1 항에 있어서,외부 자극에 의하여 상기 전도성 금속 박막의 크랙 및 상기 제 1 중간층의 크랙에 전기적 단락 또는 개방이 발생하여 상기 전도성 금속 박막의 전기 저항 값이 변화되는 것인, 센서
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제 8 항에 있어서,상기 외부 자극은 인장 및 압력 중 어느 하나 또는 이들의 조합인 것인, 센서
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제 8 항에 있어서,상기 외부 자극은 0 % 내지 2 %의 스트레인(strain)인, 센서
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제 1 항에 있어서,상기 센서의 폭은 2 내지 10 mm이고 높이는 20 내지 80 mm인, 센서
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제 1 항에 있어서,상기 센서는 인캡슐레이션(encapsulation) 되어 있는 것인, 센서
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제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 따른 센서를 적어도 하나를 포함하는 센싱 시스템으로서, 상기 센서로부터의 데이터를 수집하고 종합하여 처리하는 처리기, 상기 센서와 상기 처리기 데이터를 송수신할 수 있는 송수신기를 더 포함하고, 상기 센서 및 상기 처리기 간의 데이터의 전송은 근거리 무선 통신(Near Field Communication, NFC)으로 이루어지는, 센싱 시스템
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제 13 항에 있어서,상기 센싱 시스템은 웨어러블 의료 기기 또는 인공 전자 스킨(artificial electronic skin)인, 센싱 시스템
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