1 |
1
제1 기판과, 저항 감지 공간을 사이에 두고 상기 제1 기판과 대면하는 내부 표면과, 상기 내부 표면의 반대측인 터치 표면을 가지는 제2 기판과, 상기 저항 감지 공간에서 서로 이격된 위치에 배치된 제1 전극 및 제2 전극과, 상기 저항 감지 공간에서 상기 제1 전극과 상기 제2 전극과의 사이에 배치된 압전 저항 패턴(piezoresistive pattern)을 포함하고, 상기 압전 저항 패턴은 다공질의 탄성 지지체와, 상기 다공질의 탄성 지지체 내에 분산된 복수의 전도성 탄소 구조물을 포함하는 압력 센서
|
2 |
2
제1항에 있어서, 상기 압전 저항 패턴은 상기 탄성 지지체 및 상기 복수의 전도성 탄소 구조물이 상호 얽혀서 형성된 복수의 포어를 가지는 망상 구조물로 이루어지는 압력 센서
|
3 |
3
제1항에 있어서, 상기 복수의 전도성 탄소 구조물은 다공질의 탄소계 물질로 이루어지는 압력 센서
|
4 |
4
제1항에 있어서, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은 상기 제1 기판으로부터의 최단 거리가 동일한 레벨에 배치되고, 상기 제1 기판의 주면과 평행한 방향에서 상기 압전 저항 패턴을 사이에 두고 서로 대면하는 압력 센서
|
5 |
5
제1항에 있어서, 상기 제1 기판과 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과의 사이에 개재된 절연 패시베이션층을 더 포함하고, 상기 절연 패시베이션층의 상면은 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 각각의 저면에 접하고, 상기 절연 패시베이션층의 저면은 상기 제1 기판의 주면에 접하는 압력 센서
|
6 |
6
제1항에 있어서, 상기 압전 저항 패턴에서 상기 복수의 전도성 탄소 구조물의 함량은 5 중량% 내지 50 중량%인 압력 센서
|
7 |
7
제1 기판과, 저항 감지 공간을 사이에 두고 상기 제1 기판과 대면하는 내부 표면과, 상기 내부 표면의 반대측인 터치 표면을 가지는 제2 기판과, 상기 저항 감지 공간에서 수평 방향으로 서로 이격되어 배치된 복수의 픽셀 영역과, 상기 복수의 픽셀 영역 각각에 하나씩 배치된 복수의 압력 센서를 포함하고, 복수의 압력 센서는 각각 상기 픽셀 영역에서 서로 이격된 위치에 배치된 제1 전극 및 제2 전극과, 상기 픽셀 영역에서 상기 제1 전극과 상기 제2 전극과의 사이에 배치된 압전 저항 패턴(piezoresistive pattern)을 포함하고, 상기 압전 저항 패턴은 다공질의 탄성 지지체와, 상기 다공질의 탄성 지지체 내에 분산된 복수의 전도성 탄소 구조물을 포함하는 압력 센서 픽셀 어레이
|
8 |
8
제7항에 있어서, 상기 복수의 압력 센서는 상호 교차하는 제1 수평 방향 및 제2 수평 방향을 따라 매트릭스 배열로 배치되어 있고, 상기 복수의 압력 센서 중 상기 제1 수평 방향을 따라 서로 인접한 압력 센서들 각각에 포함된 상기 제1 전극은 상호 연결되어 있고, 상기 복수의 압력 센서 중 상기 제2 수평 방향을 따라 서로 인접한 압력 센서들 각각에 포함된 상기 제2 전극은 상호 연결되어 있고, 상기 복수의 압력 센서 중 제1 수평 방향 및 제2 수평 방향을 따라 서로 인접한 압력 센서들 각각에 포함된 상기 압전 저항 패턴은 서로 이격되어 있는 압력 센서 픽셀 어레이
|
9 |
9
제1 기판과, 상기 제1 기판 상에서 상호 교차하는 제1 수평 방향 및 제2 수평 방향을 따라 매트릭스 배열로 배치되고 서로 이격된 복수의 픽셀 영역과, 상기 복수의 픽셀 영역을 덮는 복수의 제1 국부 전극을 포함하고 상기 제1기판 상에서 상기 제2 수평 방향을 따라 길게 연장된 복수의 제1 전극 라인과, 상기 복수의 제1 국부 전극으로부터 수평 방향으로 이격된 위치에서 상기 복수의 픽셀 영역을 덮는 복수의 제2 국부 전극을 포함하고 상기 제1 기판 상에서 상기 복수의 제1 전극 라인과 이격된 위치에서 상기 제1 수평 방향을 따라 길게 연장된 복수의 제2 전극 라인과, 상기 복수의 픽셀 영역에서 상기 복수의 제1 국부 전극 및 상기 복수의 제2 국부 전극에 접하는 복수의 압전 저항 패턴과, 상기 복수의 압전 저항 패턴을 사이에 두고 상기 복수의 제1 국부 전극 및 상기 복수의 제2 국부 전극으로부터 이격되어 있고, 상기 복수의 제1 전극 라인, 상기 복수의 제2 전극 라인, 및 상기 복수의 압전 저항 패턴을 사이에 두고 상기 제1 기판과 대면하는 제2 기판을 포함하고, 상기 복수의 압전 저항 패턴은 상기 복수의 픽셀 영역과 일대일 대응하도록서로 이격되어 배치되고, 상기 복수의 압전 저항 패턴 각각은 다공질의 탄성 지지체와, 상기 다공질의 탄성 지지체 내에 분산된 복수의 전도성 탄소 구조물을 포함하고, 복수의 포어를 가지는 망상 구조물로 이루어지는 압력 센서 픽셀 어레이
|
10 |
10
제1항에 따른 압력 센서를 포함하는 전자 시스템
|