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탄성체를 포함하는 센서 시트;상기 센서 시트에 적어도 일부가 매립되며 상기 센서 시트의 두께 방향으로 자성입자가 정렬하여 형성된 복수 개의 전도성 기둥; 상기 센서 시트의 상부에 형성된 상부 전극; 및상기 센서 시트의 하부에 형성된 하부 전극;을 포함하고,상기 센서 시트의 상면 또는 하면에서 두께 방향으로 압력이 가해지면 상기 상부 및 하부 전극과 상기 전도성 기둥 간에 도전성 경로가 형성되어 전류가 흐르는 것인,신축성 압력센서 어레이
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제1항에 있어서,상기 복수 개의 전도성 기둥은 상기 센서 시트 전면에 불규칙적인 배열을 형성하며 분포된 것인,신축성 압력센서 어레이
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제1항에 있어서,상기 상부 전극 및 상기 하부 전극은 각각 복수 개 구비되는 것이고,상기 상부 전극 및 상기 하부 전극 각각은 상기 센서 시트의 수직 단면을 기준으로 볼 때 서로 교차하는 구조로 형성되는 것인,신축성 압력센서 어레이
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제1항에 있어서,상기 복수 개의 상부 전극, 상기 복수 개의 하부 전극 또는 이 둘 다는,인접한 전극과의 피치(pitch) 간격이 0
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제1항에 있어서,상기 자성입자는,강자성체 입자 또는 그 응집체를 포함하는 것인,신축성 압력센서 어레이
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제1항에 있어서,상기 자성입자는, 니켈, 코발트, 철, 망간, 이들의 합금 또는 이들의 조합에서 선택된 금속 입자를 포함하는 것인,신축성 압력센서 어레이
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제1항에 있어서,상기 자성입자는,제1 금속을 포함하는 코어 및 상기 제1 금속과 다른 제2 금속을 포함하는 쉘을 포함하는 강자성체 입자 또는 그 응집체를 포함하는 것인,신축성 압력센서 어레이
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8
제1항에 있어서,상기 압력센서 어레이는 서로 구분되는 제1 영역 및 제2 영역을 포함하고,상기 구분되는 각각의 영역은, 각각의 영역에 형성된 상기 상부 전극, 상기 하부 전극 또는 이 둘 다의 평균 피치 간극이 상이한 것인,신축성 압력센서 어레이
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9
제1항에 있어서,상기 탄성체는, 치환 또는 비치환된 폴리오가노실록산, 치환 또는 비치환된 부타디엔 모이어티를 포함하는 탄성체, 우레탄 모이어티를 포함하는 탄성체, 아크릴 모이어티를 포함하는 탄성체, 올레핀 모이어티를 포함하는 탄성체 또는 이들의 조합 중 하나 이상을 포함하는 것인,신축성 압력센서 어레이
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제1항에 있어서,상기 전도성 기둥은, 도전성 나노와이어, 도전성 나노튜브, 도전성 나노로드, 도전성 나노섬유 또는 이들의 조합 중 하나 이상을 더 포함하는 것인,신축성 압력센서 어레이
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제1항에 있어서,상기 압력센서 어레이는, 상기 센서 시트 내에서 상기 두께 방향에 수직인 방향으로는 전기적으로 단절된 것인,신축성 압력센서 어레이
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제1항에 있어서,상기 복수 개의 전도성 기둥 간의 평균 간극은 수십 nm 내지 수백 nm 인 것인,신축성 압력센서 어레이
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제1항에 있어서,상기 상부 전극, 상기 하부 전극 또는 이 둘 다는, 상기 센서 시트에 적어도 일부가 매립된 구조를 형성하는 것인,신축성 압력센서 어레이
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커버 글래스;상기 커버 글래스 하부의 디스플레이 패널;상기 디스플레이 패널 하부의 압력센서 어레이를 포함하고,상기 압력센서 어레이는, 제1항의 압력센서 어레이를 포함하는 것인,신축성 압력센서 어레이를 포함하는 전자 장치
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외면이 제1 방향으로 향하는 제1 플레이트, 및 외면이 상기 제1 방향의 반대인 제2 방향으로 향하는 제2 플레이트를 포함하도록 구성되는 하우징;상기 제1 플레이트의 상기 외면을 통해 노출된 디스플레이;상기 하우징 내부에 배치되고, 상기 디스플레이의 아래에 배치되는 압력 센서 어레이;상기 하우징 내부에 위치하고 상기 디스플레이, 상기 압력 센서에 전기적으로 연결된 프로세서; 및상기 프로세서에 전기적으로 연결되고 상기 하우징 내부에 위치하는 메모리를 포함하고,상기 압력센서 어레이는, 제1항의 압력센서 어레이를 포함하는 것인,신축성 압력센서 어레이를 포함하는 전자 장치
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디스플레이;상기 디스플레이 중 제1 영역에 가해지는 압력 및 제2 영역에 가해지는 압력을 서로 다른 공간 해상도로 감지하는 압력 센서 어레이;메모리; 및상기 메모리에 전기적으로 연결되는 프로세서를 포함하고,상기 압력센서 어레이는, 제1항의 압력센서 어레이를 포함하는 것인,전자 장치
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제14항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,상기 신축성 압력센서 어레이를 포함하는 전자기기는,압력센서의 공간 해상도가 수십 dpi 내지는 수백 dpi 인 것인,신축성 압력센서 어레이를 포함하는 전자기기
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기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 하부 전극을 형성하는 단계;상기 신축성 전극이 형성된 기판 위에 스페이서를 배치하고 강자성체 입자와 탄성 고분자가 혼합된 물질을 도포하여 센서 시트를 형성하는 단계;상기 도포되어 형성된 센서 시트 위로 상부 전극을 형성하는 단계; 및상기 상부 전극의 상부와 상기 하부 전극의 하부에 자석을 구비하여 상기 센서 시트에 자기장을 가하는 단계;를 포함하는,신축성 압력센서 어레이의 제조방법
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기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 스페이서를 배치하고 강자성체 입자와 탄성 고분자가 혼합된 센서 시트를 형성하기 위한 물질을 도포하여 센서 시트를 형성하는 단계;상기 센서 시트의 상부와 하부에 자석을 구비하여 상기 센서 시트에 자기장을 가하는 단계; 및상기 센서 시트의 상부와 하부에 상부 전극 및 하부 전극을 형성하는 단계;를 포함하는,신축성 압력센서 어레이의 제조방법
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제18항 또는 제19항에 있어서,상기 상부 전극 및 하부 전극을 형성하는 단계 중 하나 이상은,서로 인접한 전극과의 피치 간격이 상이하도록 형성된 제1 영역 및 제2 영역을 포함하도록 전극을 형성하는 것인,신축성 압력센서 어레이의 제조방법
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