| 1 |
1
진공 속에서 복수의 단위 셀들이 전기적으로 직렬 연결되는 집적형 박막 태양전지의 제조 장치로서, 기판에 형성된 복수의 트렌치들 각각의 내부의 일기선으로부터 상기 각각의 트렌치의 바닥면과 상기 바닥면에 이어진 일측면 및 상기 일측면에 이어진 상기 기판의 돌출면 영역상에 제1 도전층이 형성된 상기 기판상에, 광전변환 물질들을 방출하여 광전변환부를 형성하는 광전변환부 형성 공정챔버; 및상기 트렌치들 각각의 내부의 또 다른 일기선으로부터 상기 각각의 트렌치의 바닥면과 상기 바닥면에 이어진 타측면 및 상기 타측면에 이어진 상기 기판의 돌출면 영역상에 제2 도전층을 형성하는 제2 도전층 형성 공정챔버를 포함하고, 상기 광전변환부 형성 공정챔버 및 상기 제2 도전층 형성 공정챔버는 진공상태에서 상기 각각의 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조 장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 광전변환부 형성 공정챔버 및 상기 제2 도전층 형성 공정챔버 각각은 상기 광전변환부 형성 물질 및 상기 제2 도전층 형성 물질 각각을 직진성을 갖도록 방출하여 상기 기판 표면에 대해 입사각이 소정 각도 이상으로 입사되게 하는 방출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조 장치
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 광전변환부 형성 공정챔버 및 상기 제2 도전층 형성 공정챔버 각각의 챔버 사이에는 상기 광전변환부 형성 물질 및 상기 제2 도전층 형성 물질이 이웃한 챔버들 간에 서로 혼입되거나 이웃한 챔버에 유입되지 않도록 개폐 수단, 밀폐 수단 및 격리 수단 중 적어도 어느 하나가 존재하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조 장치
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 광전변환부 형성 공정챔버에서 상기 광전변환부는 상기 각각의 트렌치 내부의 상기 제1 도전층의 일부가 노출되도록 형성되며, 상기 제2 도전층 형성 공정챔버에서 상기 또 다른 일기선은 상기 제1 도전층이 노출된 영역 내에 위치하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조 장치
|
| 5 |
5
제1항에 있어서, 상기 광전변환부상에 마스크층을 형성하는 마스크층 형성 공정챔버; 및상기 각각의 트렌치 내부의 상기 제1 도전층의 일부가 노출되도록 상기 마스크층을 마스크로 하여 상기 광전변환부를 에칭하는 광전변환부 에칭 공정챔버를 더 포함하며, 상기 제2 도전층 형성 공정챔버에서 상기 또 다른 일기선은 상기 제1 도전층이 노출된 영역 내에 위치하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조 장치
|
| 6 |
6
제5항에 있어서, 상기 광전변환부 형성 공정챔버, 상기 제2 도전층 형성 공정챔버, 상기 마스크층 형성 공정챔버 및 상기 에칭 공정챔버 각각은 상기 광전변환부 형성 물질, 상기 제2 도전층 형성 물질, 상기 마스크층 형성 물질 및 상기 에칭 물질 각각을 직진성을 갖도록 방출하여 상기 기판 표면에 대해 입사각이 소정 각도 이상으로 입사되게 하는 방출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조 장치
|
| 7 |
7
제5항에 있어서, 상기 광전변환부 형성 공정챔버, 상기 제2 도전층 형성 공정챔버, 상기 마스크층 형성 공정챔버 및 상기 에칭 공정챔버 각각의 챔버 사이에는 상기 광전변환부 형성 물질, 상기 제2 도전층 형성 물질, 상기 마스크층 형성 물질 및 상기 에칭 물질이 이웃한 챔버들 간에 서로 혼입되거나 이웃한 챔버에 유입되지 않도록 개폐 수단, 밀폐 수단 및 격리 수단 중 적어도 어느 하나가 존재하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조 장치
|
| 8 |
8
제1항에 있어서,상기 복수의 트렌치들이 형성된 기판에 대하여 제1 도전성 물질을 증착하여 상기 제1 도전층을 형성하는 제1 도전층 형성 공정챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조 장치
|
| 9 |
9
제8항에 있어서, 상기 광전변환부 형성 공정챔버, 상기 제2 도전층 형성 공정챔버, 상기 마스크층 형성 공정챔버, 상기 에칭 공정챔버 및 상기 제1 도전층 형성 공정챔버 각각은 상기 광전변환부 형성 물질, 상기 제2 도전층 형성 물질, 상기 마스크층 형성 물질, 상기 에칭 물질 및 상기 제1 도전층 형성 물질 각각을 직진성을 갖도록 방출하여 상기 기판 표면에 대해 입사각이 소정 각도 이상으로 입사되게 하는 방출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조 장치
|
| 10 |
10
제8항에 있어서, 상기 광전변환부 형성 공정챔버, 상기 제2 도전층 형성 공정챔버, 상기 마스크층 형성 공정챔버, 상기 에칭 공정챔버 및 상기 제1 도전층 형성 공정챔버 각각의 챔버 사이에는 상기 광전변환부 형성 물질, 상기 제2 도전층 형성 물질, 상기 마스크층 형성 물질, 상기 에칭 물질 및 상기 제1 도전층 형성 물질이 이웃한 챔버들 간에 서로 혼입되거나 이웃한 챔버에 유입되지 않도록 개폐 수단, 밀폐 수단 및 격리 수단 중 적어도 어느 하나가 존재하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조 장치
|
| 11 |
11
제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광전변환부 형성 공정챔버는 제1 광전변환부를 형성하는 제1 광전변환부 형성 공정챔버와 제2 광전변환부를 형성하는 제2 광전변환부 형성 공정챔버를 포함하며, 상기 제1 광전변환부 및 상기 제2 광전변환부 사이에 중간층을 형성하는 중간층 형성 공정챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조 장치
|
| 12 |
12
제11항에 있어서, 상기 광전변환부 형성 공정챔버, 상기 제2 도전층 형성 공정챔버, 상기 마스크층 형성 공정챔버, 상기 에칭 공정챔버, 상기 제1 도전층 형성 공정챔버 및 상기 중간층 형성 공정챔버 각각은 상기 광전변환부 형성 물질, 상기 제2 도전층 형성 물질, 상기 마스크층 형성 물질, 상기 에칭 물질, 상기 제1 도전층 형성 물질 및 상기 중간층 형성 물질 각각을 직진성을 갖도록 방출하여 상기 기판 표면에 대해 입사각이 소정 각도 이상으로 입사되게 하는 방출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조 장치
|
| 13 |
13
제11항에 있어서, 상기 광전변환부 형성 공정챔버, 상기 제2 도전층 형성 공정챔버, 상기 마스크층 형성 공정챔버, 상기 에칭 공정챔버, 상기 제1 도전층 형성 공정챔버, 상기 중간층 형성 공정챔버 각각의 챔버 사이에는 상기 광전변환부 형성 물질, 상기 제2 도전층 형성 물질, 상기 마스크층 형성 물질, 상기 에칭 물질, 상기 제1 도전층 형성 물질 및 상기 중간층 형성 물질이 이웃한 챔버들 간에 서로 혼입되거나 이웃한 챔버에 유입되지 않도록 개폐 수단, 밀폐 수단 및 격리 수단 중 적어도 어느 하나가 존재하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조 장치
|
| 14 |
14
제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판을 대기 상태에서 진공 상태로 진입시키기 위한 로딩 챔버와 진공 상태에서 대기 상태로 꺼내기 위한 언로딩 챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조 장치
|
| 15 |
15
제13항에 있어서, 상기 기판을 대기 상태에서 진공 상태로 진입시키기 위한 로딩 챔버와 진공 상태에서 대기 상태로 꺼내기 위한 언로딩 챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조 장치
|
| 16 |
16
제14항에 있어서,상기 로딩 챔버는 코어에 감긴 상기 기판을 풀어주기 위한 언와인딩 롤러를 포함하고 상기 언로딩 챔버는 추가의 코어에 상기 기판을 감아주기 위한 와인딩 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조 장치
|
| 17 |
17
제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판을 대기 상태에서 진공 상태로 진입시키기 위한 로딩 챔버, 진공 상태에서 대기 상태로 꺼내기 위한 언로딩 챔버 및 진공 상태에서 상기 기판을 이송하는 이송부를 구비한 이송챔버 더 포함하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조 장치
|
| 18 |
18
제13항에 있어서, 상기 기판을 대기 상태에서 진공 상태로 진입시키기 위한 로딩 챔버, 진공 상태에서 대기 상태로 꺼내기 위한 언로딩 챔버 및 진공 상태에서 상기 기판을 이송하는 이송부를 구비한 이송챔버 더 포함하는 것을 특징으로 하는 집적형 박막 태양전지의 제조 장치
|
