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생체 삽입 방향으로 연장된 하나의 절연층;상기 하나의 절연층내에 삽입되어 있으며, 상기 생체 삽입 방향으로 서로 나란하게 이격 배열된 적어도 네 개의 전극들;을 포함하고,상기 적어도 네 개의 전극들 각각의 일단면은 상기 생체 삽입 방향과 수직한 평면상에만 노출되어 생체 신호를 측정하는 생체 신호 측정용 테트로드
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제 1 항에 있어서,상기 전극들의 단면 형상은 정사각형 또는 원형을 포함하는 생체 신호 측정용 테트로드
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제 1 항에 있어서,상기 전극들은 네 개의 전극들을 포함하고, 상기 네 개의 전극들은 정사각형 형태로 배열된 생체 신호 측정용 테트로드
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제 1 항에 있어서,상기 전극들 중에서 적어도 하나의 전극은 상기 생체에 전기 자극을 가하는 생체 신호 측정용 테트로드
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제 1 항에 있어서,상기 전극들 사이에 마련되고, 유체가 흐를 수 있는 채널을 더 포함하는 생체 신호 측정용 테트로드
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제 6 항에 있어서,상기 채널 내에 마련된 광도파관을 더 포함하는 생체 신호 측정용 테트로드
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제 7 항에 있어서,상기 광도파관을 둘러싸고 있는 반사층을 더 포함하는 생체 신호 측정용 테트로드
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제 1 항에 있어서,상기 절연층은 생체 적합성 폴리머(biocompatible polymer)를 포함하는 생체 신호 측정용 테트로드
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제 1 항에 있어서,상기 절연층은 플렉서블(flexible)한 폴리머를 포함하는 생체 신호 측정용 테트로드
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제 1 항에 있어서,상기 절연층은 폴리이미드(polyimide) 또는 폴리디메틸실록산(Polydimethylsiloxane, PDMS)를 포함하는 생체 신호 측정용 테트로드
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제 1 항에 있어서,상기 전극들은 전도성 재료를 포함하는 생체 신호 측정용 테트로드
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제 1 항, 제3항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 기재된 생체 신호 측정용 테트로드를 복수 개 포함하고,상기 복수 개의 생체 신호 측정용 테트로드는 이차원의 어레이 형태로 배열된 생체 신호 측정용 테트로드 어레이
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제1절연층을 형성하는 단계;상기 제1절연층 상에 제1 및 제2전극을 형성하고, 상기 제1 및 제2전극 상에 제2절연층을 형성하는 단계; 및상기 제2절연층 상에 제3 및 제4전극을 형성하고, 상기 제3 및 제4전극 상에 제3절연층을 형성하는 단계;를 포함하는 생체 신호 측정용 테트로드의 제조 방법
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제 14 항에 있어서,상기 제1절연층을 형성하는 단계는실리콘 웨이퍼 상에 희생층을 형성하고, 상기 희생층 상에 상기 제1절연층을 형성하는 생체 신호 측정용 테트로드의 제조 방법
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제 14 항에 있어서,상기 제2절연층 상에, 상기 제1 및 제2전극 사이에 배치되는 채널을 형성하고, 상기 채널 상에 제4절연층을 형성하는 단계를 더 포함하는 생체 신호 측정용 테트로드의 제조 방법
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제 14 항에 있어서,상기 제2절연층 상에, 상기 제1 및 제2전극 사이에 배치되는 광도파관을 형성하는 단계를 더 포함하는 생체 신호 측정용 테트로드의 제조 방법
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제 17 항에 있어서,상기 광도파관을 둘러싸는 반사층을 형성하는 단계를 더 포함하는 생체 신호 측정용 테트로드의 제조 방법
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제 14 항에 있어서,상기 제1 내지 제3절연층을 레이저로 절삭하여, 복수 개의 생체 신호 측정용 테트로드를 형성하는 단계를 더 포함하는 생체 신호 측정용 테트로드의 제조 방법
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제 14 항에 있어서,상기 제1 내지 제3절연층을 포토리소그래피 공정으로 패터닝하여, 복수 개의 생체 신호 측정용 테트로드를 형성하는 단계를 더 포함하는 생체 신호 측정용 테트로드의 제조 방법
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제 14 항에 있어서,상기 제1 내지 제4전극의 단면 형상은 정사각형 또는 원형으로 형성되는 생체 신호 측정용 테트로드의 제조 방법
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제 14 항에 있어서,상기 제1 내지 제4전극은 정사각형 형태로 배열되는 생체 신호 측정용 테트로드의 제조 방법
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