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생체내 삽입가능한 전극으로서, 기판; 상기 기판 상의 전기 전도층; 상기 전기 전도층 상의 백금흑(platinum black) 층; 상기 백금흑 층 상의 자기조립 단분자(Self-Assembled Monolayer, SAM) 층; 및상기 자기조립 단분자 층 상의 윤활제층을 포함하는 전극
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제1항에 있어서, 상기 전기 전도층은 금속 배선부와 금속 팁(tip)부를 포함하고, 상기 금속 배선부 상에 절연층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전극
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제1항에 있어서, 상기 전기 전도층은 서로 상이한 재료의 제1 금속층과 제2 금속층이 서로 적층된 2층 구조인 것을 특징으로 하는 전극
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제1항에 있어서, 상기 자기조립 단분자층은 알킬트리클로로실란, 알킬트리메톡시실란, 알킬트리에톡시실란, 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 퍼플루오로알콕시 알칸(PFA), 디클로로디메틸실란(DDMS), 퍼플루오로데실트리클로로실란(FDTS), 옥타데실트리메톡시실란(OTMS), 트리클로로(1H,1H,2H,2H-퍼플루오로옥틸)실란(FOTS), 및 트리에톡시(1H,1H,2H,2H-퍼플루오로-1-옥틸)실란(POTS)로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 전극
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제1항에 있어서, 상기 윤활제층은 퍼플루오로퍼하이드로페난트렌 (Perfluoroperhydrophenanthrene), 퍼플루오로데칼린(Perfluorodecalin), 및 퍼플루오로폴리에테르(perfluoropolyether)로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 전극
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(a) 전기 전도층 상에 백금흑 층을 형성하는 단계; (b) 상기 백금흑 층 상에 자기조립 단분자층을 형성하는 단계; 및 (c) 상기 자기조립 단분자층 상에 윤활제층을 형성하는 단계를 포함하는, 생체내 삽입가능한 전극의 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 (a) 단계는 백금 전구체를 함유하는 용액 중에서 전기도금에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 (b) 단계는 상기 백금흑 층을 N2O 또는 O2 플라즈마 처리에 의해 표면처리하는 단계를 더 포함하며, 상기 표면처리 후에 상기 자기조립 단분자층을 형성하는 것을 특징으로 하는 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 (b) 단계는 자기조립 단분자막 형성용 단분자가 함유된 용액을 0
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제1항에 기재된 생체내 삽입가능한 전극을 포함하는 의료기기
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