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용액공정을 이용한 산화물 박막 소결용 자외선 램프 장치

  • 기술번호 : KST2015145998
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 용액공정을 이용한 산화물 박막 소결용 자외선 램프 장치를 개시한다. 본 발명은 샘플탑재부와, 내부에 챔버 공간을 가지며, 일정 간격을 가지고 이격 분리되어 형성된 하우징을 구비하되, 하우징은 적어도 2개의 영역으로 분리된 구조를 가지며, 일 영역에는 챔버 공간의 상부에는 상기 샘플탑재부와 대향되게 형성되어 하부로 자외선을 조사하기 위한 자외선 램프부를 포함하고, 일영역 내부로 불활성가스를 주입하기 위한 불활성가스주입부를 구비하고, 다른 영역에는 자외선 램프부가 설치되지 않으며, 샘플탑재부는 샘플을 탑재한 상태에서 이동가능하게 구성된다.
Int. CL H01L 21/26 (2006.01) H01L 21/324 (2006.01)
CPC H01L 21/67115(2013.01) H01L 21/67115(2013.01) H01L 21/67115(2013.01)
출원번호/일자 1020120153256 (2012.12.26)
출원인 전자부품연구원, 중앙대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1456239-0000 (2014.10.23)
공개번호/일자 10-2014-0084433 (2014.07.07) 문서열기
공고번호/일자 (20141113) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.12.26)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 중앙대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동작구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김영훈 대한민국 경기 성남시 분당구
2 오민석 대한민국 서울 서초구
3 김지완 대한민국 경기 성남시 분당구
4 박성규 대한민국 경기 안양시 동안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 티앤아이 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, A동 ****호(문정동, 엠스테이트)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 경기도 성남시 분당구
2 중앙대학교 산학협력단 서울특별시 동작구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2012-1077847-67
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.07.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.08.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0063902-73
5 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.11.08 수리 (Accepted) 1-1-2013-1020080-76
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.12.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0865085-57
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000494-54
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2014-0138384-39
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.03.12 수리 (Accepted) 1-1-2014-0240447-33
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.04.14 수리 (Accepted) 1-1-2014-0354707-05
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2014-0444610-19
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.05.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0444611-54
13 등록결정서
Decision to grant
2014.09.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0620552-89
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2014-5123944-33
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.04 수리 (Accepted) 4-1-2018-5125629-51
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.29 수리 (Accepted) 4-1-2019-5151122-15
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.01 수리 (Accepted) 4-1-2019-5153932-16
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
샘플탑재부:상부는 폐쇄되고 하부는 오픈되어 있으며 내부에 챔버 공간을 가지고, 상기 샘플탑재부와 일정 간격을 가지고 이격 분리되어 형성된 하우징을 구비하되,상기 하우징은 샘플 진행방향으로 적어도 2개의 영역으로 분리되는 구조를 가지며,일 영역에는 챔버 공간의 상부에는 상기 샘플탑재부와 대향되게 형성되어 하부로 자외선을 조사하기 위한 자외선 램프부를 포함하고, 상기 일 영역 내부로 불활성가스를 주입하기 위한 불활성가스주입부를 구비하고,다른 영역에는 자외선 램프부가 설치되지 않으며,상기 샘플탑재부는 샘플을 탑재한 상태에서 이동가능하게 구성되며,상기 하우징이 상기 샘플탑재부와 일정 간격을 가지고 형성된 것에 의하여 상기 하우징은 대기 중에 노출되는 용액공정을 이용한 산화물 박막 소결용 자외선 램프 장치
2 2
제1 항에 있어서,상기 다른 영역에는 불활성가스주입부가 설치되는 용액공정을 이용한 산화물 박막 소결용 자외선 램프 장치
3 3
제1 항에 있어서,상기 하우징은 3개의 영역으로 구분되되,중간 영역에는 챔버 공간의 상부에는 상기 샘플탑재부와 대향되게 형성되어 하부로 자외선을 조사하기 위한 자외선 램프부를 포함하고, 챔버 내부로 불활성가스를 주입하기 위한 불활성가스주입부를 구비하고,양쪽 영역들에는 자외선 램프부가 설치되지 않는 구조인 용액공정을 이용한 산화물 박막 소결용 자외선 램프 장치
4 4
제1 항에 있어서,상기 샘플탑재부는 롤투롤 공정으로 구현된 용액공정을 이용한 산화물 박막 소결용 자외선 램프 장치
5 5
제1 항에 있어서,상기 자외선 램프부는 선광원이 일정간격으로 배열되어 면광원 형태인 용액공정을 이용한 산화물 박막 소결용 자외선 램프 장치
6 6
제1 항에 있어서,상기 불활성가스주입부는 상기 자외선 램프부의 선광원과 선광원 사이에 배치되는 구조인 용액공정을 이용한 산화물 박막 소결용 자외선 램프 장치
7 7
제1 항에 있어서,상기 불활성 가스 분위기는 질소 분위기, 아르곤 분위기, 또는 헬륨 분위기인 용액공정을 이용한 산화물 박막 소결용 자외선 램프 장치
8 8
제1 항에 있어서,상기 샘플탑재부는 샘플을 히팅 및 쿨링하거나, 히팅 또는 쿨링하는 수단이 부가된 용액공정을 이용한 산화물 박막 소결용 자외선 램프 장치
9 9
제1 항에 있어서,상기 자외선 램프부는 샘플탑재부와 1 내지 5cm 이격된 용액공정을 이용한 산화물 박막 소결용 자외선 램프 장치
10 10
제1 항에 있어서,상기 자외선 램프부와 상기 샘플탑재부 사이에는 광학 시트부가 삽입된 용액공정을 이용한 산화물 박막 소결용 자외선 램프 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 중앙대학교 산학협력단 이공분야기초연구사업 전자섬유 및 유연전자용 능동형 fiber 트랜지스터 소재 및 시스템 개발