요약 | 하부 금속판과 FEP(fluoro-ethylene-propylene) 폴리마 필름의 접착이 우수한 일렉트릿트 제조방법이 개시된다. 본 발명은 하부 금속판 위에 FEP 폴리마 필름 및 PTFE(poly-tetra-fluoro-ethylene) 폴리마 필름을 순차적으로 적층한 후 상기 PTFE 폴리마 필름 위에 정적하중을 제공할 수 있는 상부 금속판을 적층한다. 이어서, 상기 상부 금속판이 적층된 결과물을 300∼330℃에서 상기 하부 금속판과 FEP 폴리마 필름을 용융접착시킨 후 상기 상부 금속판 및 상기 PTFE 폴리마 필름을 분리한다. 계속하여, 상기 FEP 폴리마 필름에 전하를 주입한 후, 상기 전하주입된 FEP 폴리마 필름이 형성된 하부 금속판을 열처리하는 단계를 포함한다. 본 발명의 일렉트릿트 제조방법은 FEP 폴리머 필름의 용융물이 하부 금속판의 표면에 형성된 매우 미세한 현미경적 기공과 같은 결함들에 깊이 침투되어 하부 금속판과 FEP 폴리머 필름과의 접착강도를 크게 할 수 있다. |
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Int. CL | H01L 21/56 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/18 (2006.01.01) H01L 21/78 (2006.01.01) |
CPC | H01L 21/56(2013.01) H01L 21/56(2013.01) H01L 21/56(2013.01) H01L 21/56(2013.01) H01L 21/56(2013.01) |
출원번호/일자 | 1019970005558 (1997.02.24) |
출원인 | 한국전자기술연구원 |
등록번호/일자 | 10-0234916-0000 (1999.09.20) |
공개번호/일자 | 10-1998-0068776 (1998.10.26) 문서열기 |
공고번호/일자 | (19991215) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (1997.02.24) |
심사청구항수 | 7 |