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마이크로 패턴 및 나노 패턴을 동시에 형성하는 유기발광다이오드의 제조방법

  • 기술번호 : KST2019011364
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로 패턴 및 나노 패턴의 동시에 형성하는 유기발광다이오드의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 (a) 기판 위에 애노드를 형성하는 단계 (b) 상기 애노드 위에 화소형성층으로 사용될 감광층을 형성하는 단계 (c) 상기 감광층에 마이크로 패턴을 노광하는 단계 (d) 상기 감광층에 나노 패턴을 노광하는 단계 (e) 상기 감광층을 식각하여 마이크로 패턴 및 나노 패턴을 함께 가지는 화소형성층을 형성하는 단계 (f) 상기 패턴 내에 유기물질층을 형성하는 단계 및 (g) 상기 유기물질층 위에 캐소드를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, UV 리소그래피 공정을 통하여 여러 가지 모양과 배열을 가지는 픽셀 구조를 제작할 수 있으며, 동시에 마이크로 패턴 안에 레이저 간섭 리소그래피 공정으로 나노 스케일의 라인 또는 홀 패턴을 주기적으로 형성할 수 있다.
Int. CL H01L 51/56 (2006.01.01) H01L 51/00 (2006.01.01)
CPC H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01)
출원번호/일자 1020150050165 (2015.04.09)
출원인 고려대학교 산학협력단, 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-1608717-0000 (2016.03.29)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20160405) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.04.09)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
2 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 주병권 대한민국 서울특별시 종로구
2 하현준 대한민국 서울특별시 동대문구
3 황보연 대한민국 서울특별시 성북구
4 이종희 대한민국 대전광역시 유성구
5 주철웅 대한민국 인천광역시 남구
6 이정익 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김등용 대한민국 서울특별시 구로구 디지털로**길 *** *층-***(구로동,제이엔케이디지털타워)(동진국제특허법률사무소)
2 김홍석 대한민국 서울특별시 구로구 디지털로 **길 ***, ***호(구로동,JnK 디지털타워)(동진국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
2 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.04.09 수리 (Accepted) 1-1-2015-0346903-49
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.12.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.02.05 수리 (Accepted) 9-1-2016-0005789-64
4 등록결정서
Decision to grant		 2016.02.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0143901-89
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 기판 위에 애노드를 형성하는 단계;(b) 상기 애노드 위에 화소형성층으로 사용될 네거티브 감광층을 형성하는 단계;(c) 상기 네거티브 감광층에 마이크로 패턴을 노광하는 단계;(d) 연속적으로 상기 네거티브 감광층에 나노 패턴을 노광하는 단계;(e) 상기 네거티브 감광층을 식각하여 마이크로 패턴 및 나노 패턴을 함께 가지는 화소형성층을 형성하는 단계;(f) 상기 패턴 내에 유기물질층을 형성하는 단계; 및 (g) 상기 유기물질층 위에 캐소드를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자의 제조방법
2 2
(a) 기판 위에 애노드를 형성하는 단계;(b) 상기 애노드 위에 화소형성층으로 사용될 네거티브 감광층을 형성하는 단계;(c) 상기 네거티브 감광층에 나노 패턴을 노광하는 단계;(d) 연속적으로 상기 네거티브 감광층에 마이크로 패턴을 노광하는 단계;(e) 상기 네거티브 감광층을 식각하여 마이크로 패턴 및 나노 패턴을 함께 가지는 화소형성층을 형성하는 단계;(f) 상기 패턴 내에 유기물질층을 형성하는 단계; 및 (g) 상기 유기물질층 위에 캐소드를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자의 제조방법
3 3
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 마이크로 패턴 노광은, UV 리소그래피 방식으로 수행되는 것을 특징으로 하는 유기발광소자의 제조방법
4 4
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 나노 패턴 노광은, 레이저 간섭 리소그래피 방식으로 수행되는 것을 특징으로 하는 유기발광소자의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 고려대학교 산학협력단 산업융합원천기술개발사업 [RCMS]AMOLED TV용 Soluble TFT 및 화소 형성 소재/공정 기술 개발