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테스트 대상 소자에 전류 또는 전압을 인가하는 소스 인가부;상기 인가된 전류 또는 전압에 기초하여 상기 테스트 대상 소자로부터 출력된 전류 또는 전압 신호를 측정하고, 상기 측정된 전류 또는 전압 신호를 기계 학습 신호로 증폭 변환하는 증폭 변환부;상기 증폭 변환된 기계 학습 신호를 시간에 대한 벡터 형태를 갖는 벡터 데이터로 변환하고, 상기 변환된 벡터 데이터를 복수의 프레임(frame)으로 분할하여 2차원 어레이 데이터로 변환하는 데이터 변환부; 및상기 2차원 어레이 데이터에 대한 기계 학습을 수행하여 상기 테스트 대상 소자의 조건을 결정하는 기계 학습부를 포함하고,상기 측정된 전류 또는 전압 신호는 상기 테스트 대상 소자의 조건에 따라 주파수 형태를 갖는반도체 소자 테스트 장치
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제1항에 있어서,상기 데이터 변환부는, 상기 분할된 복수의 프레임(frame)에 대해 퓨리에 변환(fourier transform)을 적용하여 파워스펙트럼밀도(power spectral density)를 계산하는반도체 소자 테스트 장치
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제2항에 있어서,상기 데이터 변환부는, 상기 계산된 파워스펙트럼밀도(power spectral density)에 적어도 하나 이상의 필터를 이용한 이산 코사인 변환(discrete cosine transform)을 적용하여 상기 벡터 데이터를 상기 2차원 어레이 데이터로 변환하는반도체 소자 테스트 장치
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제1항에 있어서,상기 데이터 변환부는, 적어도 하나 이상의 필터를 이용하여 상기 주파수 형태를 분석하고, 상기 분석된 주파수 형태에 기초하여 상기 변환된 벡터 데이터를 상기 테스트 대상 소자의 조건을 각각 포함하는 상기 2차원 어레이 데이터로 변환하는반도체 소자 테스트 장치
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제1항에 있어서,상기 기계 학습 신호는, 제1 열과 제2 열로 구분된 텍스트 파일 형태를 갖고, 상기 제1 열은 시간의 변화에 따른 데이터를 나타내고, 상기 제2 열은 상기 시간의 변화에 따른 변동(fluctuation) 데이터를 나타내는반도체 소자 테스트 장치
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제1항에 있어서,상기 기계 학습부는, 상기 기계 학습을 수행하여 온도(temperature), 크기(dimension), 공정 조건, 채널 물질(material), 게이트 물질(material), 열화 정도(degradation degree), 전기적 특성, 신뢰성, 계면 포획(interface trap), 벌크 포획(bulk trap), 발광 정도, 발광 파장 또는 수명 중 적어도 하나를 포함하는 상기 테스트 대상 소자의 조건을 결정하는반도체 소자 테스트 장치
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제1항에 있어서,상기 기계 학습부는, 상기 2차원 어레이 데이터를 복수의 폴더로 구분하여 학습한 후, 상기 복수의 폴더에 대하여 교차 검증(cross validation)하는반도체 소자 테스트 장치
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증폭 변환부에서, 테스트 대상 소자에 인가된 전류 또는 전압에 기초하여 상기 테스트 대상 소자로부터 출력된 전류 또는 전압 신호를 측정하고, 상기 측정된 전류 또는 전압 신호를 기계 학습 신호로 증폭 변환하는 단계;데이터 변환부에서, 상기 증폭 변환된 기계 학습 신호를 시간에 대한 벡터 형태를 갖는 벡터 데이터로 변환하고, 상기 변환된 벡터 데이터를 복수의 프레임(frame)으로 분할하여 2차원 어레이 데이터로 변환하는 단계; 및기계 학습부에서, 상기 2차원 어레이 데이터에 대한 기계 학습을 수행하여 상기 테스트 대상 소자의 조건을 결정하는 단계를 포함하고,상기 측정된 전류 또는 전압 신호는 상기 테스트 대상 소자의 조건에 따라 주파수 형태를 갖는반도체 소자 테스트 방법
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제9항에 있어서,상기 변환된 벡터 데이터를 복수의 프레임(frame)으로 분할하여 2차원 어레이 데이터로 변환하는 단계는,상기 분할된 복수의 프레임(frame)에 대해 퓨리에 변환(fourier transform)을 적용하여 파워스펙트럼밀도(power spectral density)를 계산하는 단계; 및상기 계산된 파워스펙트럼밀도(power spectral density)에 적어도 하나 이상의 필터를 이용한 이산 코사인 변환(discrete cosine transform)을 적용하여 상기 변환된 벡터 데이터를 상기 2차원 어레이 데이터로 변환하는 단계를 포함하는반도체 소자 테스트 방법
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