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의료 진단용 칩 및 의료 진단용 칩의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2022001941
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 혼합 리소그래피 방법을 이용하여 의료 진단용 칩을 제조하는 방법이 개시된다. 상기 제조 방법은, 제1 리소그래피를 이용하여 제1 영역에 패턴을 형성하는 단계; 제2 리소그래피를 이용하여 제2 영역에 패턴을 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 제2 패턴이 형성되는 영역은, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역이 인접하는 영역 중 상기 제1 영역의 일부 영역을 포함할 수 있다.
Int. CL G03F 7/20 (2006.01.01) G03F 7/00 (2006.01.01) G01N 33/48 (2006.01.01) B01L 3/00 (2006.01.01)
CPC G03F 7/2059(2013.01) G03F 7/0012(2013.01) G03F 7/2022(2013.01) G01N 33/48(2013.01) B01L 3/502707(2013.01)
출원번호/일자 1020220013341 (2022.01.28)
출원인 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0019007 (2022.02.15) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/분할
원출원번호/일자 10-2019-0127217 (2019.10.14)
관련 출원번호 1020190127217
심사청구여부/일자 Y (2022.01.28)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 남성욱 대구광역시 북구
2 백승희 대구광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 권혁수 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***(역삼동), *층(케이에스고려국제특허법률사무소)
2 송윤호 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2022.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2022-0114402-99
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번호 청구항
1 1
혼합 리소그래피 방법을 이용하여 의료 진단용 칩을 제조하는 방법에 있어서, 제1 리소그래피를 이용하여 제1 영역에 제1 패턴을 형성하는 단계; 제2 리소그래피를 이용하여 제2 영역에 제2 패턴을 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 제2 패턴이 형성되는 영역은, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역이 인접하는 영역 중 상기 제1 영역의 일부 영역을 포함하고,상기 제1 리소그래피는 전자빔 리소그래피이고, 상기 제2 리소그래피는 포토 리소그래피이며,상기 제1 패턴이 형성된 후에 상기 제2 패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 의료 진단용 칩 제조 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 전자빔 리소그래피를 이용하여 상기 제1 영역에 제1 패턴을 형성하는 단계는, 나노 기둥을 가지는 형태로 패턴을 형성하는 의료 진단용 칩 제조 방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 전자빔 리소그래피를 이용하여 상기 제1 영역에 제1 패턴을 형성하는 단계는, 양성 전자빔 레지스트를 이용하여 패턴을 형성하는 의료 진단용 칩 제조 방법
4 4
제2항에 있어서, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역이 인접하는 영역 중 상기 제1 영역의 일부 영역에 상기 제2 패턴을 형성하는 것은, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역이 인접하는 영역 중 제1 영역의 가장자리 부분에 상기 제2 리소그래피를 이용한 제2 패턴이 오버랩 되도록 패턴을 형성하는 의료 진단용 칩 제조 방법
5 5
제4항에 있어서, 상기 제2 리소그래피를 이용하여 제2 영역에 제2 패턴을 형성하는 단계는, 양성 혹은 음성 포토 레지스트를 이용하여 패턴을 형성하는 의료 진단용 칩 제조 방법
6 6
혼합 리소그래피 방법을 이용하여 의료 진단용 칩을 제조하는 방법에 있어서, 제1 리소그래피를 이용하여 제1 영역에 제1 패턴을 형성하는 단계; 제2 리소그래피를 이용하여 제2 영역에 제2 패턴을 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 제2 리소그래피를 이용하여 제2 영역에 제2 패턴을 형성하는 단계는, 상기 제1 영역에 형성된 상기 제1 패턴과 간섭되지 않는 범위에서 상기 제2 패턴을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 제1 리소그래피는 전자빔 리소그래피이고, 상기 제2 리소그래피는 포토 리소그래피이며,상기 제1 패턴이 형성된 후에 상기 제2 패턴이 형성되는 의료 진단용 칩 제조 방법
7 7
제6항에 있어서, 상기 전자빔 리소그래피를 이용하여 상기 제1 영역에 제1 패턴을 형성하는 단계는, 나노 홀을 가지는 형태로 패턴을 형성하는 의료 진단용 칩 제조 방법
8 8
제7항에 있어서, 상기 전자빔 리소그래피를 이용하여 상기 제1 영역에 제1 패턴을 형성하는 단계는, 양성 전자빔 레지스트를 이용하여 제1 패턴을 형성하는 의료 진단용 칩 제조 방법
9 9
제6항에 있어서, 상기 제2 리소그래피를 이용하여 제2 영역에 제2 패턴을 형성하는 단계는, 양성 혹은 음성 포토 레지스트를 이용하여 패턴을 형성하는 의료 진단용 칩 제조 방법
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제9항에 있어서, 상기 의료 진단용 칩 제조 방법은, 고분자 물질을 상기 형성된 칩에 붓는 단계; 상기 고분자 물질이 굳어질 때까지 일정 시간 대기하는 단계; 및상기 굳어진 고분자 물질을 반전시키는 단계;를 더 포함하는 의료 진단용 칩 제조 방법
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 경북대학교 바이오.의료기술개발(R&D) 세포외 소포체 기반 암 조기 진단 및 응용을 위한 원천 융합 기술 개발