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기판을 이동시키는 이동부;원통으로 형성되고, 상기 원통의 곡면에 패턴을 가지며, 상기 기판과 접촉하여 회전하거나 상기 기판 위에서 회전하는 마스크부; 그리고상기 원통 내부에 구비되어 상기 기판에 광을 조사하는 광원부를 포함하며,상기 마스크부는:상기 광을 투과시키는 원통형 프레임;상기 패턴이 형성되고, 상기 원통형 프레임의 외주면 상에 위치하는 패턴층; 그리고상기 패턴층 상에 위치하며, 상기 광을 투과시키고, 상기 기판과 접촉 시 변형되는 쿠션층;을 포함하는 노광 장치
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제 1 항에 있어서,상기 패턴층은:돌출부 및 함몰부 중 적어도 하나가 배열된 투명 시트인 노광 장치
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제 3 항에 있어서,상기 돌출부 및 상기 함몰부 중 적어도 하나는 직선형, 원형, 타원형 또는 다각형의 윤곽을 갖는 노광 장치
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제 3 항에 있어서,상기 돌출부 또는 상기 함몰부는 상기 투명 시트 상에서 서로 이격되어 배열되는 노광 장치
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제 1 항에 있어서,상기 패턴층은:상기 광을 차단하는 불투명한 물질이 부착된 투명 필름인 노광 장치
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제 6 항에 있어서,상기 불투명한 물질이 부착된 투명 필름은, 포토리소그래피, 나노임프린트, 스텝퍼(stepper) 또는 스캐너(scanner)를 사용하여 제조되는 노광 장치
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제 1 항에 있어서,상기 광원부는:상기 광을 생성하는 광원; 그리고상기 광이 상기 기판을 향하도록 반사시키는 반사부재;를 포함하는 노광 장치
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제 9 항에 있어서,상기 광원은 원통 형상을 갖는 노광 장치
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제 9 항에 있어서,상기 반사부재는: 상기 광원을 둘러싸도록 배치되고, 상기 광이 상기 기판을 향해 조사되도록 상기 기판을 향하는 쪽에 슬릿이 형성되는 노광 장치
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제 1 항에 있어서,상기 마스크부는 외주면에서의 선속도가 상기 기판의 이동 속도와 동일하도록 회전하는 노광 장치
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제 1 항에 있어서,상기 마스크부는 외주면에서의 선속도가 상기 기판의 이동 속도보다 빠르거나 느리도록 회전하는 노광 장치
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기판을 이동시키는 이동부;상기 기판에 감광수단을 제공하는 제공부;상기 감광수단이 제공된 기판에 광을 조사하는 노광부; 그리고상기 광이 조사된 기판을 현상하는 현상부;를 포함하며,상기 노광부는: 원통으로 형성되고, 상기 원통의 곡면에 패턴을 가지며, 상기 기판과 접촉하여 회전하거나 상기 기판 위에서 회전하는 마스크부; 그리고 상기 원통 내부에 구비되어 상기 기판에 광을 조사하는 광원부를 포함하며,상기 마스크부는: 상기 광을 투과시키는 원통형 프레임; 상기 패턴이 형성되고, 상기 원통형 프레임의 외주면 상에 위치하는 패턴층; 그리고 상기 패턴층 상에 위치하며, 상기 광을 투과시키고, 상기 기판과 접촉 시 변형되는 쿠션층;을 포함하는 기판 처리 장치
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제 14 항에 있어서,처리 전의 기판을 감아 보관하는 제 1 롤을 더 포함하는 기판 처리 장치
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제 14 항에 있어서,처리 후의 기판을 감아 보관하는 제 2 롤을 더 포함하는 기판 처리 장치
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제 15 항에 있어서,상기 이동부는 상기 제 1 롤을 회전시키는 모터를 포함하는 기판 처리 장치
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제 16 항에 있어서,상기 이동부는 상기 제 2 롤을 회전시키는 모터를 포함하는 기판 처리 장치
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제 14 항에 있어서,상기 제공부는 상기 기판에 포토레지스트를 도포하는 도포부를 포함하는 기판 처리 장치
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제 14 항에 있어서,상기 제공부는 상기 기판에 감광 필름을 부착하는 부착부를 포함하는 기판 처리 장치
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