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혼합 리소그래피 방법을 이용하여 의료 진단용 칩을 제조하는 방법에 있어서, 제1 리소그래피를 이용하여 제1 영역에 제1 패턴을 형성하는 단계; 제2 리소그래피를 이용하여 제2 영역에 제2 패턴을 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 제2 패턴이 형성되는 영역은, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역이 인접하는 영역 중 상기 제1 영역의 일부 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 의료 진단용 칩 제조 방법
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제1항에 있어서, 제1 리소그래피는 전자빔 리소그래피이며, 제2 리소그래피는 포토 리소그래피인 의료 진단용 칩 제조 방법
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제2항에 있어서, 상기 전자빔 리소그래피를 이용하여 상기 제1 영역에 제1 패턴을 형성하는 단계는, 나노 기둥을 가지는 형태로 패턴을 형성하는 의료 진단용 칩 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 전자빔 리소그래피를 이용하여 상기 제1 영역에 제1 패턴을 형성하는 단계는, 양성 전자빔 레지스트를 이용하여 패턴을 형성하는 의료 진단용 칩 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역이 인접하는 영역 중 상기 제1 영역의 일부 영역에 상기 제2 패턴을 형성하는 것은, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역이 인접하는 영역 중 제1 영역의 가장자리 부분에 상기 제2 리소그래피를 이용한 제2 패턴이 오버랩 되도록 패턴을 형성하는 의료 진단용 칩 제조 방법
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제5항에 있어서, 상기 제2 리소그래피를 이용하여 제2 영역에 제2 패턴을 형성하는 단계는, 양성 혹은 음성 포토 레지스트를 이용하여 패턴을 형성하는 의료 진단용 칩 제조 방법
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혼합 리소그래피 방법을 이용하여 의료 진단용 칩을 제조하는 방법에 있어서, 제1 리소그래피를 이용하여 제1 영역에 제1 패턴을 형성하는 단계; 제2 리소그래피를 이용하여 제2 영역에 제2 패턴을 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 제2 리소그래피를 이용하여 제2 영역에 제2 패턴을 형성하는 단계는, 상기 형성된 제1 영역이 보호될 수 있도록 상기 제2 패턴을 형성하는 단계;를 포함하는 의료 진단용 칩 제조 방법
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제7항에 있어서, 제1 리소그래피는 전자빔 리소그래피이며, 제2 리소그래피는 포토 리소그래피인 의료 진단용 칩 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 전자빔 리소그래피를 이용하여 상기 제1 영역에 제1 패턴을 형성하는 단계는, 나노 홀을 가지는 형태로 패턴을 형성하는 의료 진단용 칩 제조 방법
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제9항에 있어서, 상기 전자빔 리소그래피를 이용하여 상기 제1 영역에 제1 패턴을 형성하는 단계는, 양성 전자빔 레지스트를 이용하여 제1 패턴을 형성하는 의료 진단용 칩 제조 방법
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제9항에 있어서, 상기 형성된 제1 영역이 보호될 수 있도록 상기 제2 패턴을 형성하는 단계는, 상기 제2 리소그래피를 이용하여 형성되는 상기 제2 패턴이 상기 제1 영역에 형성된 제1 패턴에 영향이 가지 않도록 패턴을 형성하는 의료 진단용 칩 제조 방법
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제11항에 있어서, 상기 제2 리소그래피를 이용하여 제2 영역에 제2 패턴을 형성하는 단계는, 양성 혹은 음성 포토 레지스트를 이용하여 패턴을 형성하는 의료 진단용 칩 제조 방법
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제12항에 있어서, 상기 의료 진단용 칩 제조 방법은, 고분자 물질을 상기 형성된 칩에 붓는 단계; 상기 고분자 물질이 굳어질 때까지 일정 시간 대기하는 단계; 및상기 굳어진 고분자 물질을 반전시키는 단계;를 더 포함하는 의료 진단용 칩 제조 방법
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제1항 내지 제13항 중 어느 한 항의 제조 방법에 따라 제조된 의료 진단용 칩
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