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마이크로 폴리머 스텐실 연속제작을 위한 롤투롤 임프린트 장치.(Roll to roll imprint apparatus for micro polymer stencil Continuous fabrication)

  • 기술번호 : KST2017011095
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로 폴리머 스텐실 연속제작을 위한 롤투롤 임프린트 장치 및 이를 이용한 마이크로 폴리머 스텐실 연속제작 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 프레임 구조체와, 상기 프레임 구조체의 전방 일측에 설치되는 공급롤러를 포함하여, 상기 공급롤러에 귄취된 파라필름을 후방으로 공급하는 필름공급부와, 상기 필름공급부에서 공급되는 파라필름의 상부면에 UV 경화성 수지가 도포되어 코팅층이 형성되는 코팅부와, 상기 프레임 구조체에 회전가능하도록 설치되고 외주면에 미세 패턴이 형성된 PDMS 몰드가 부착되는 롤스탬프를 포함하여, 상기 롤스탬프의 외주면에 상기 파라필름의 코팅층이 가압되어 상기 미세 패턴이 상기 코팅층에 전사되고, 상기 미세 패턴이 전사된 코팅층에 자외선을 조사시켜 UV 경화성 수지를 경화시키는 임프린트부와, 상기 프레임 구조체의 후방 일측에 설치되는 회수롤러를 포함하여, 상기 임프린트된 파라필름을 상기 롤스탬프에서 디몰딩시켜 상기 회수롤러에 권취하는 필름권취부를 포함하여 제공된다.상기와 같은 본 발명에 따르면, 스탬프 방식의 UV 임프린트리소그래피 공정을 롤투롤 장치에 적용함에 의해 연속적으로 마이크로 폴리머 스텐실을 제작할 수 있어 적은 비용으로 단기간에 제품을 생산할 수 있는 효과가 있다.또한, PDMS 롤스탬프와, UV 경화성 수지가 코팅되는 필름을 파라필름으로 적용하여, 임프린트 과정에서 경화된 수지 코팅층이 스탬프 쪽으로 디몰딩되지 않게 하며, 경화된 폴리머 스텐실을 파라필름에서 이형할 때에도 파라필름의 비젖음성으로 인해 이형이 용이하도록 하여 제품불량을 줄여 생산성을 높일 수 있는 효과가 있다.또한, 롤스탬프의 위치를 상하로 조절하거나, 롤스탬프의 하부에 설치되는 가압구동부의 압력이 임의로 조절되도록 하여, 롤스탬프가 파라필름의 코팅층에 가해지는 압력을 적절하게 조절하여 두께 및 미세 패턴이 상이한 다양한 스텐실을 제작할 수 있도록 하는 효과가 있다.
Int. CL H01L 21/027 (2016.02.06) G03F 7/00 (2016.02.06) H01L 21/56 (2016.02.06) H01L 21/02 (2016.02.06)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020150187060 (2015.12.28)
출원인 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0077869 (2017.07.07) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.12.28)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 곽문규 대한민국 대구광역시 달서구
2 이지훈 대한민국 대구광역시 수성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 해담 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, **층 *호(역삼동, 송촌빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대구광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2015-1272672-52
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.01.27 수리 (Accepted) 1-1-2016-0089611-40
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0168068-58
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.12.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0907881-62
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.02.16 수리 (Accepted) 1-1-2017-0159672-24
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.03.15 수리 (Accepted) 1-1-2017-0256843-33
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.03.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0256819-47
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0507121-55
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.09.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0850252-37
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.09.01 수리 (Accepted) 1-1-2017-0850233-70
12 등록결정서
Decision to grant
2018.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0005293-93
13 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.01.05 수리 (Accepted) 1-1-2018-0016343-99
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-5051994-32
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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프레임 구조체와;상기 프레임 구조체의 전방 일측에 설치되는 공급롤러를 포함하여, 상기 공급롤러에 귄취된 파라필름을 후방으로 공급하는 필름공급부와;상기 필름공급부에서 공급되는 파라필름의 상부면에 UV 경화성 수지가 도포되어 코팅층이 형성되는 코팅부와;상기 프레임 구조체에 회전가능하도록 설치되고 외주면에 미세 패턴이 형성된 몰드가 부착되는 롤스탬프를 포함하여, 상기 롤스탬프의 외주면을 따라 상기 파라필름의 코팅층이 가압되어 상기 미세 패턴이 상기 코팅층에 전사되고, 상기 미세 패턴이 전사된 코팅층에 자외선을 조사시켜 UV 경화성 수지를 경화시키는 임프린트부와;자외선이 통과되는 투명한 재질로 상기 롤스탬프의 하부에 설치되어 상기 파라필름의 하부면에 밀착되는 밀착플레이트와, 상기 밀착플레이트의 하부면에 결합되되 일정 스프링 계수를 가지는 스프링으로 이루어진 댐퍼를 포함하여 상기 롤스탬프의 외주면에 밀착되는 파라필름의 하부면을 가압하는 가압구동부와;상기 프레임 구조체의 후방 일측에 설치되는 회수롤러를 포함하여, 상기 임프린트된 파라필름을 상기 롤스탬프에서 디몰딩시켜 상기 회수롤러에 권취하는 필름권취부를; 포함하여,상기 롤스탬프에 형성되는 미세 패턴은 다수개의 요철로 형성되어, 상기 미세 패턴이 상기 파라필름의 상면으로 가압되면, 볼록한 철부의 끝부분에 상기 UV 경화성 수지가 접촉되면서, 오목한 요부로 상기 UV 경화성 수지가 밀려나가 상기 철부의 끝부분이 상기 파라필름의 상부면에 밀착되어 상기 경화된 코팅층에 관통공이 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 폴리머 스텐실 연속제작을 위한 롤투롤 임프린트 장치
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제 1항에 있어서,상기 코팅부는 상기 공급롤러에서 공급되는 파라필름이 일정구간으로 수평면을 이루면서 이동되도록 상기 공급롤러의 상부 일측 프레임 구조체에 일정간격 이격되어 동일한 높이로 설치되는 제1, 제2 회전롤러와,상기 제1, 제2 회전롤러의 상부에 설치되어 상기 제1, 제2 회전롤러 상부로 이송되는 파라필름의 상부면에 UV 경화성 수지를 도포하는 수지공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 폴리머 스텐실 연속제작을 위한 롤투롤 임프린트 장치
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제 1항에 있어서,상기 롤스탬프에 부착되는 미세 패턴은 열경화성 수지 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 폴리머 스텐실 연속제작을 위한 롤투롤 임프린트 장치
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제 1항에 있어서,상기 UV 경화성 수지는 소중합체, 단위체 및 광개시제로 합성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 폴리머 스텐실 연속제작을 위한 롤투롤 임프린트 장치
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제 1항에 있어서,상기 회수롤러와 상기 롤스탬프 사이에는 텐션제공부가 더 설치되되,상기 텐션제공부는 상기 롤스탬프에서 디몰딩된 파라필름의 하부면에 밀착되어 슬라이딩되는 텐션롤러와, 상기 텐션롤러 하부에 설치되어 상기 텐션롤러에 일정 텐션을 제공하는 댐퍼를 포함하여,상기 파라필름이 상기 텐션롤러에 밀착되면서 일정 텐션을 가지도록 하는 것을 특징으로 하는 마이크로 폴리머 스텐실 연속제작을 위한 롤투롤 임프린트 장치
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제 1항에 있어서,상기 롤스탬프는 상기 프레임 구조체에 상하 이동가능하게 설치되어, 상기 파라필름에 가해지는 텐션이 조절되는 것을 특징으로 하는 마이크로 폴리머 스텐실 연속제작을 위한 롤투롤 임프린트 장치
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
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