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블록공중합체층에 상부 롤과 하부 롤의 속도를 달리하는 비대칭 압연을 열처리와 함께 수행하는 단계를 포함하는 일방향 수평 배향된 블록공중합체 필름의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 비대칭 압연은 상부 롤; 하부 롤; 및 상기 하부 롤 상에 위치하는 온도 조절이 가능한 판상의 스테이지;를 포함하는 압연 기기를 사용하는 것을 특징으로 하는 일방향 수평 배향된 블록공중합체 필름의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 일방향 수평 배향된 블록공중합체 필름의 제조방법은,(a) 기판상에 블록공중합체층을 형성하는 단계;(b) 상기 블록공중합체층 상에 완충층을 위치시키는 단계; 및(c) 단계 (b)의 결과물을 상기 압연 기기에 위치시키고 비대칭 압연을 수행하여 상기 블록공중합체층에 전단을 가하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 일방향 수평 배향된 블록공중합체 필름의 제조방법
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제3항에 있어서,상기 블록공중합체층은 라멜라형 블록공중합체 또는 실린더형 블록 공중합체인 것을 특징으로 하는 일방향 수평 배향된 블록공중합체 필름의 제조방법
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제4항에 있어서,단계 (a)에서 상기 블록공중합체층이 라멜라형 블록공중합체인 경우,상기 라멜라형 블록공중합체를 수직 배향 처리하는 단계를 추가로 수행하고,상기 라멜라형 블록공중합체를 수직 배향 처리하는 단계는,단계 (a) 이전에, 상기 기판의 블록공중합체 접촉면에 중성(neutral) 계면에너지를 갖는 랜덤공중합체층을 형성하는 단계;를 수행하고,단계 (a) 이후에, 상기 블록공중합체층의 표면에 필터가 적용된 플라즈마 처리를 하여 가교층을 형성하는 단계;를 수행하는 것을 특징으로 하는 일방향 수평 배향된 블록공중합체 필름의 제조방법
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제3항에 있어서,단계 (a)에서, 상기 기판은 실리콘 웨이퍼, 유리, 금속, 및 고분자 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 일방향 수평 배향된 블록공중합체 필름의 제조방법
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제8항에 있어서,단계 (a)에서, 상기 기판은 두께 10 내지 10000 nm, 지름 1 내지 300 mm인 실리콘 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 일방향 수평 배향된 블록공중합체 필름의 제조방법
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제3항에 있어서,상기 기판은 유도자기조립을 위한 화학적 패턴이 형성된 것을 특징으로 하는 일방향 수평 배향된 블록공중합체 필름의 제조방법
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제3항에 있어서,단계 (b)에서, 상기 완충층은 폴리디메틸실록산, 폴리우레탄, 스티렌-부타디엔 고무, 에폭시 수지 및 폴리이미드 중에서 선택된 어느 하나의 고분자 필름인 것을 특징으로 하는 일방향 수평 배향된 블록공중합체 필름의 제조방법
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제3항에 있어서,상기 완충층의 두께는 0
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제3항에 있어서,단계 (c)에서, 상기 기판은 상기 압연 기기의 스테이지에 위치시키고, 상기 완충층은 상기 상부 롤에 접촉하도록 위치시키는 것을 특징으로 하는 일방향 수평 배향된 블록공중합체 필름의 제조방법
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제3항에 있어서,단계 (c)에서, 상기 비대칭 압연은 스테이지의 온도를 130 내지 200℃의 온도로 조절하여 수행하는 것을 특징으로 하는 일방향 수평 배향된 블록공중합체 필름의 제조방법
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제3항에 있어서,단계 (c)에서, 상기 비대칭 압연은 상기 상부 롤과 스테이지 이동 속도의 차이를 0
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제3항에 있어서,상기 상부 롤과 스테이지 이동 속도는 1 내지 100 mm/s 범위에서 조절하는 것을 특징으로 하는 일방향 수평 배향된 블록공중합체 필름의 제조방법
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제3항에 있어서,상기 상부 롤의 이동 속도가 상기 스테이지의 이동 속도보다 큰 것을 특징으로 하는 일방향 수평 배향된 블록공중합체 필름의 제조방법
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제3항에 있어서,단계 (c)에서, 상기 비대칭 압연은 2 내지 100회의 범위에서 반복 수행하는 것을 특징으로 하는 일방향 수평 배향된 블록공중합체 필름의 제조방법
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제18항에 있어서,상기 비대칭 압연은 압연의 진행 방향을 전후 교대로 바꾸며 반복 수행하는 것을 특징으로 하는 일방향 수평 배향된 블록공중합체 필름의 제조방법
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제1항 내지 제19항 중에서 선택된 어느 한 항에 따라 제조된 일방향 수평 배향된 블록공중합체 필름
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