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플렉서블 소자

  • 기술번호 : KST2014063098
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 플렉서블 기판; 상기 플렉서블 기판 상에 구비되며, 하기 이방성 전도성 필름과 접촉한 후, 상기 플렉서블 기판의 측면으로 연장된 복수 개의 전극라인; 상기 전극라인과 접촉하며, 상기 플렉서블 기판 상에 적층된 이방성 전도성 필름; 상기 이방성 전도성 필름 상에 구비된 복수 개의 범프; 및 상기 복수 개의 범프와 접촉하는 전자 소자가 일면에 구비된 회로 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 소자가 제공된다.
Int. CL H01L 21/60 (2006.01) H01L 21/58 (2006.01)
CPC H01L 21/50(2013.01) H01L 21/50(2013.01) H01L 21/50(2013.01) H01L 21/50(2013.01)
출원번호/일자 1020130110231 (2013.09.13)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1492335-0000 (2015.02.04)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150212) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020140155884;
심사청구여부/일자 Y (2013.09.13)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 백경욱 대한민국 대전광역시 유성구
2 이건재 대한민국 대전 유성구
3 황건태 대한민국 대전광역시 유성구
4 유현균 대한민국 대전 서구
5 김도현 대한민국 대전광역시 유성구
6 김유선 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***, *층(삼성동,고운빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.09.13 수리 (Accepted) 1-1-2013-0839280-53
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.02.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.03.10 수리 (Accepted) 9-1-2014-0019043-26
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0589342-24
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.10.23 수리 (Accepted) 1-1-2014-1013711-58
6 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2014.11.11 취하 (Withdrawal) 1-1-2014-1082740-78
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.11.11 수리 (Accepted) 1-1-2014-1082755-52
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.11.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1082756-08
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 등록결정서
Decision to grant
2015.01.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0055889-96
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
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순차적으로 적층된 하부 실리콘층-실리콘산화물층-상부 실리콘층으로 이루어진 SOI 기판의 주변으로 전자 소자를 제조하는 단계;상기 적층된 전자 소자에 소정 길이 간격으로 이격된 금속 범프를 적층하는 단계;상기 적층된 금속 범프 상에 이방성 도전 필름을 적층하는 단계;상기 적층된 이방성 필름을, 전극라인이 적층된 플렉서블 기판으로 가압하면서 열을 인가하여, 상기 플렉서블 기판을 상기 이방성 필름과 접합시키는 단계; 및 상기 SOI 기판의 후면으로부터 하부 실리콘층을 제거하는 단계를 포함하며,상기 전극라인은 상기 이방성 도전 필름과 접촉한 후, 상기 이방성 도전 필름의 외측으로 연장된 형태인 것을 특징으로 하는 플렉서블 소자 패키징 방법
7 7
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8 8
제 6항에 있어서, 상기 전극라인은 상기 소정 간격으로 이격된 복수 개인 것을 특징으로 하는 플렉서블 소자 패키징 방법
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제 8항에 있어서, 상기 플렉서블 기판은 상기 SOI 기판보다 더 넓은 대면적인 것을 특징으로 하는 플렉서블 소자 패키징 방법
10 10
제 9항에 있어서, 상기 SOI 기판으로부터 연장된 플렉서블 기판 측면으로 상기 전극라인이 연장되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 소자 패키징 방법
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제 10항에 있어서, 플렉서블 소자 패키징 방법은, 상기 SOI 기판의 후면으로부터 하부 실리콘층을 제거하는 단계 후, 상기 플렉서블 기판 상의 상기 이방성 도전 필름과 실리콘산화물층을 보호하는 패시베이션층을 도포하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 소자 패키징 방법
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