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전기력을 이용한 균일한 미세 솔더볼 제조 방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2015118537
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 용융 챔버에 기계적인 진동을 가하지 않고 전기장에 의해서 생성된 테일러 콘 형태의 액주에 교류 전압을 가해서 노즐 파이프 크기보다 작은 균일한 액적을 생성하되, 전압의 세기와 주파수를 이용해서 생성되는 액적의 크기를 조절하는 방식을 통해서 수율을 향상시키고 제조 공정을 단순화하여 저비용으로 연속적으로 생산하는 솔더볼의 제조방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
Int. CL H01L 21/60 (2006.01) H01L 23/488 (2006.01)
CPC H01L 24/742(2013.01) H01L 24/742(2013.01) H01L 24/742(2013.01)
출원번호/일자 1020130007777 (2013.01.24)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1435367-0000 (2014.08.22)
공개번호/일자 10-2014-0095186 (2014.08.01) 문서열기
공고번호/일자 (20140828) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.01.24)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 성형진 대한민국 대전 유성구
2 김상수 대한민국 대전 유성구
3 오용석 대한민국 대전 유성구
4 최동윤 대한민국 대전 유성구
5 강현욱 대한민국 대전 유성구
6 정진호 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충정 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.01.24 수리 (Accepted) 1-1-2013-0068639-77
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.08.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0082869-43
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.01.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0010201-83
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2014.03.06 수리 (Accepted) 1-1-2014-0219160-42
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2014.04.07 수리 (Accepted) 1-1-2014-0329772-76
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.05.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0428704-26
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.05.07 수리 (Accepted) 1-1-2014-0428703-81
10 등록결정서
Decision to grant		 2014.08.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0533597-14
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
담긴 용융 금속을 하단의 노즐로 흘려 보내기 위한 챔버;상기 용융 금속을 대전시키기 위해 상기 용융 금속에 전압을 인가하기 위한 전원;상기 챔버의 하부에 설치된 링 형태의 전극이며, 상기 노즐을 통해 나오는 대전된 테일러 콘 형태의 액주에 교류 전압을 인가하기 위한 제1전극; 및상기 제1전극의 하부에 설치되며, 상기 제1전극에 인가된 교류 전압에 의해 상기 제1전극의 구멍을 통과하면서 상기 액주가 액적으로 분리되어 표면장력에 의해 구형으로 떨어지는 상기 액적을 냉각시켜 솔더볼을 형성하기 위한 냉각 시스템을 포함하며,상기 노즐은, 상기 챔버 하단의 구멍에 결합되는 결합부와 상기 결합부에 연결되어 상기 테일러 콘 형태의 액주 형성을 위한 일정 직경의 구멍을 갖는 파이프를 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더볼 제조 장치
2 2
삭제
3 3
솔더볼 제조 장치에 있어서,담긴 용융 금속을 하단의 노즐로 흘려 보내기 위한 챔버;상기 용융 금속을 대전시키기 위해 상기 용융 금속에 전압을 인가하기 위한 전원;상기 챔버의 하부에 설치된 링 형태의 전극이며, 상기 노즐을 통해 나오는 대전된 테일러 콘 형태의 액주에 교류 전압을 인가하기 위한 제1전극; 및상기 제1전극의 하부에 설치되며, 상기 제1전극에 인가된 교류 전압에 의해 상기 제1전극의 구멍을 통과하면서 상기 액주가 액적으로 분리되어 표면장력에 의해 구형으로 떨어지는 상기 액적을 냉각시켜 솔더볼을 형성하기 위한 냉각 시스템을 포함하며,상기 솔더볼 제조 장치는,상기 챔버와 상기 제1전극 사이에 설치되며, 상기 액주를 구멍으로 통과시키는 접지된 링형태의 제2전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더볼 제조 장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 용융 금속을 녹는점 이상의 온도로 유지시키기 위하여 상기 챔버를 가열하기 위한 가열시스템을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더볼 제조 장치
5 5
제1항에 있어서, 상기 챔버로 불활성 가스를 공급하기 위한 불활성 가스통; 및상기 불활성 가스통에서 상기 챔버로 공급되는 불활성 가스의 양을 조절하기 위한 압력조절기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더볼 제조 장치
6 6
제1항에 있어서, 상기 챔버 내부의 펌핑을 통하여 상기 용융 금속의 산화를 방지하기 위한 진공 펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더볼 제조 장치
7 7
솔더볼 제조 장치에 있어서,담긴 용융 금속을 하단의 노즐로 흘려 보내기 위한 챔버;상기 용융 금속을 대전시키기 위해 상기 용융 금속에 전압을 인가하기 위한 전원;상기 챔버의 하부에 설치된 링 형태의 전극이며, 상기 노즐을 통해 나오는 대전된 테일러 콘 형태의 액주에 교류 전압을 인가하기 위한 제1전극; 및상기 제1전극의 하부에 설치되며, 상기 제1전극에 인가된 교류 전압에 의해 상기 제1전극의 구멍을 통과하면서 상기 액주가 액적으로 분리되어 표면장력에 의해 구형으로 떨어지는 상기 액적을 냉각시켜 솔더볼을 형성하기 위한 냉각 시스템을 포함하며,상기 솔더볼 제조 장치는,일정 전압크기와 주파수를 갖는 교류 전압을 발생하는 시그널 발생기; 및 상기 시그널 발생기에서 출력되는 교류 전압을 증폭하여 상기 제1전극으로 인가하는 증폭기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더볼 제조 장치
8 8
제3항에 있어서, 상기 제2전극은, 링형 전극, 링-평판형 전극, 및 링-그리드형 전극 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 솔더볼 제조 장치
9 9
제1항에 있어서, 상기 챔버에 내부를 조망하기 위한 조망창을 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더볼 제조 장치
10 10
챔버에 담긴 용융 금속을 대전시키면서 상기 챔버의 하단에 결합된 노즐로 흘려 보내는 단계; 상기 노즐을 통해 나오는 대전된 테일러 콘 형태의 액주를, 상기 챔버의 하부에 설치된, 교류 전압이 인가된 링 형태의 제1전극의 구멍으로 통과시키는 단계; 및상기 구멍을 통과하면서 상기 액주가 액적으로 분리되어 표면장력에 의해 구형으로 떨어지는 상기 액적을 냉각시켜 솔더볼을 형성하는 단계를 포함하며,상기 챔버와 상기 제1전극 사이에 설치된 접지된 링형태의 제2전극의 구멍으로 상기 액주가 통과되도록 하여, 상기 테일러 콘 형태의 액주에 대한 상기 교류 전압으로부터의 영향을 제거하는 것을 특징으로 하는 솔더볼 제조 방법
11 11
삭제
12 12
제10항에 있어서, 상기 흘려 보내는 단계에서 가열시스템을 통해 상기 챔버를 가열해 상기 용융 금속을 녹는점 이상의 온도로 유지시키면서 상기 용융 금속을 흘려 보내는 것을 특징으로 하는 솔더볼 제조 방법
13 13
제10항에 있어서, 상기 흘려 보내는 단계에서, 불활성 가스를 상기 챔버로 공급하면서 상기 용융 금속을 흘려 보내는 것을 특징으로 하는 솔더볼 제조 방법
14 14
제10항에 있어서, 상기 흘려 보내는 단계에서, 상기 챔버 내부의 펌핑을 통하여 상기 용융 금속의 산화를 방지하는 것을 특징으로 하는 솔더볼 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.