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도파로 광 검출기

  • 기술번호 : KST2015085536
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 동작속도를 증가시키고 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 도파로 광 검출기를 개시한다. 그 검출기는, 제 1 방향으로 연장된 도파로층; 상기 도파로층 상에 형성된 흡수층; 상기 흡수층 상에 형성된 제 1 전극; 상기 도파로층 상에 형성되고, 상기 제 1 전극과 상기 흡수층으로부터 상기 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 이격되는 제 2 전극; 및 상기 흡수층과 상기 제 2 전극을 전기적으로 연결하는 적어도 하나의 브리지를 구비한다.
Int. CL H01L 31/00 (2006.01) G02B 6/12 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020090081339 (2009.08.31)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-1272783-0000 (2013.06.03)
공개번호/일자 10-2011-0023442 (2011.03.08) 문서열기
공고번호/일자 (20130611) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.08.31)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서동우 대한민국 대전광역시 유성구
2 김상훈 대한민국 서울특별시 양천구
3 주지호 대한민국 경기도 고양시 일산서구
4 김경옥 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오세준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)(특허법인 고려)
2 권혁수 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(삼일빌딩, 역삼동)(KS고려국제특허법률사무소)
3 송윤호 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2009-0534855-58
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2009.09.01 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2009-0539153-87
3 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document		 2009.09.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0066401-37
4 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document		 2009.09.10 수리 (Accepted) 1-1-2009-0556493-38
5 [심사유예신청]결정 보류(심사유예)신청서
[Request for Deferment of Examination] Request for Deferment on Decision (Deferment of Examination)		 2009.09.10 수리 (Accepted) 1-1-2009-0556449-39
6 서류반려통지서
Notice for Return of Document		 2009.09.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0067870-05
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.09.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.10.24 수리 (Accepted) 9-1-2012-0080433-70
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.11.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0689551-14
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.01.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0006215-91
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.01.03 수리 (Accepted) 1-1-2013-0006216-36
12 등록결정서
Decision to grant		 2013.05.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0359356-45
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제 1 방향으로 연장된 도파로층;상기 도파로층 상에 형성된 흡수층;상기 흡수층 상에 형성된 제 1 전극;상기 도파로층 상에 형성되고, 상기 제 1 전극과 상기 흡수층으로부터 상기 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 이격되는 제 2 전극; 및상기 흡수층과 상기 제 2 전극을 전기적으로 연결하는 적어도 하나의 브리지를 구비하고,상기 브리지는 상기 흡수층과 상기 제 2 전극 사이의 상기 도파로층이 소정의 깊이로 제거되는 복수개의 트렌치들 사이에 잔존하는 상기 도파로층을 포함하는 도파로 광 검출기
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 브리지는 상기 도파로층의 상부표면이 도전성 불순물에 의해 도핑된 제 2 도핑층을 포함하는 도파로 광 검출기
4 4
제 3 항에 있어서,상기 제 2 도핑층은 상기 흡수층의 하부와 상기 제 2 전극의 하부의 상기 도파로층의 상부 표면으로 연장된 것을 특징으로 하는 도파로 광 검출기
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 흡수층과 상기 제 1 전극 사이에 형성된 제 1 도핑층을 더 포함하는 도파로 광 검출기
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 제 1 도핑층과 상기 제 2 도핑층은 서로 반대되는 도전타입의 도전성 불순물로 도핑된 것을 특징으로 하는 도파로 광 검출기
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 복수개의 트렌치들 내에 매립되는 보호층을 더 포함하는 도파로 광 검출기
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 제 2 전극은 상기 제 1 전극 및 상기 흡수층 하부의 상기 도파로를 중심에 두고 서로 대칭적으로 상기 브리지 양측 말단의 상기 도파로층 상에 형성된 것을 특징으로 하는 도파로 광 검출기
9 9
제 1 항에 있어서,상기 흡수층은 게르마늄을 포함하는 것을 특징으로 하는 도파로 광 검출기
10 10
제 1 항에 있어서, 상기 도파로층은 상기 복수개의 트렌치들과 동일한 높이의 단층으로 형성되는 것을 특징으로 하는 도파로 광 검출기
11 11
도파로층;상기 도파로층에 연결되는 흡수층;상기 흡수층 상에 형성된 제 1 전극;상기 도파로층 상에 형성되고, 상기 제 1 전극과 상기 흡수층으로부터 이격되는 제 2 전극; 및상기 흡수층과 상기 제 2 전극을 연결하고, 상기 흡수층과 상기 제 2 전극 사이의 적어도 하나의 트렌치에 의하여 정의되는 적어도 하나의 브리지를 포함하는 도파로 광 검출기
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2 US08823121 US 미국 FAMILY
3 US20110049660 US 미국 FAMILY
4 US20120280347 US 미국 FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2011049660 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US2012280347 US 미국 DOCDBFAMILY
3 US8242571 US 미국 DOCDBFAMILY
4 US8823121 US 미국 DOCDBFAMILY
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1 지식경제부 한국전자통신연구원 IT원천기술개발 실리콘 기반 초고속 광인터커넥션 IC