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폴리머 물질로 이루어지는 상부 기판상에, 작용기와 결합된 폴리에틸렌 글라이콜(poly(ethylene glycol); PEG)로 이루어지는 결합층을 형성하는 단계; 및 상기 결합층을 이용하여 상기 상부 기판을 하부 기판과 결합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노구조물의 제작 방법
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제 1항에 있어서,상기 상부 기판은 함몰 영역을 포함하며, 상기 상부 기판과 상기 하부 기판 사이의 상기 함몰 영역에 의해 나노플루이딕 장치가 정의되는 것을 특징으로 하는 나노구조물의 제작 방법
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제 1항에 있어서,상기 작용기는 하이드록시기와 결합 가능한 물질인 것을 특징으로 하는 나노구조물의 제작 방법
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제 3항에 있어서,상기 결합층은, PEG-에폭사이드, PEG-니트로페닐 카보네이트 및 PEG-이소시아네이트 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노구조물의 제작 방법
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제 1항에 있어서,상기 결합층을 형성하는 단계 전에, 상기 상부 기판의 표면상에 하이드록시기를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노구조물의 제작 방법
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제 5항에 있어서,상기 상기 상부 기판의 표면상에 하이드록시기를 형성하는 단계는, 상기 상부 기판을 산소 플라즈마, 자외선, 또는 하이드록시기를 포함하는 용매 중 하나 이상에 노출시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노구조물의 제작 방법
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제 1항에 있어서,상기 상부 기판을 하부 기판과 결합하는 단계는, 상기 하부 기판의 표면상에 하이드록시기를 형성하는 단계; 및상기 작용기를 상기 하부 기판의 표면상의 하이드록시기와 결합시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노구조물의 제작 방법
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제 7항에 있어서,상기 작용기를 상기 하부 기판의 표면상의 하이드록시기와 결합시키는 단계는, 산소 원자와 하이드록시기 사이의 수소 결합 및 하이드록시기 분자들 사이의 공유 결합 중 하나 이상을 이용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 나노구조물의 제작 방법
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제 1항에 있어서,상기 상부 기판은 NOA(Norland Optical Adhesive)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노구조물의 제작 방법
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제 1항에 있어서,상기 하부 기판은 유리로 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노구조물의 제작 방법
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폴리머 물질로 이루어지는 상부 기판; 상기 상부 기판과 대향하는 하부 기판; 및 상기 상부 기판과 상기 하부 기판 사이에 위치하며, 작용기와 결합된 폴리에틸렌 글라이콜(poly(ethylene glycol); PEG)로 이루어지는 결합층을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 구조물
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제 11항에 있어서,상기 기판은 함몰 영역을 포함하며, 상기 상부 기판과 상기 하부 기판 사이의 상기 함몰 영역에 의해 나노채널이 정의되는 것을 특징으로 하는 기판 구조물
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제 12항에 있어서,상기 나노채널의 표면에 상기 결합층이 위치하는 것을 특징으로 하는 기판 구조물
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제 11항에 있어서,상기 작용기는 하이드록시기와 결합 가능한 물질인 것을 특징으로 하는 기판 구조물
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제 14항에 있어서,상기 결합층은, PEG-에폭사이드, PEG-니트로페닐 카보네이트 및 PEG-이소시아네이트 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 구조물
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제 11항에 있어서,상기 상부 기판은 NOA(Norland Optical Adhesive)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 구조물
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제 11항에 있어서,상기 하부 기판은 유리로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 구조물
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