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나노선 박막, 그 제조 방법, 그 제조장치 및 이를 포함하는전자소자
- 기술번호 : KST2015131471
- 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
- 전화번호 : 02-2155-3662
| 요약 | 나노선 박막, 그 제조 방법, 그 제조장치 및 이를 포함하는 전자소자가 제공된다. 본 발명에 따른 나노선 박막 제조방법은 오목부 및 볼록부를 포함하는 스탬프 상에 나노선 분산 용액을 도포시키는 단계; 상기 스탬프 상의 나노선 용액에 기체를 블로잉하여, 상기 나노선을 정렬시키는 단계; 및 상기 스탬프를 기판에 접촉시켜 상기 스탬프의 볼록부 상에 정렬된 나노선을 상기 기판에 프린팅하는 단계를 포함하며, 본 발명에 따른 나노선 박막의 제조방법은 나노선의 배향구조, 나노선의 길이 등을 간단한 설계변경에 따라 달성할 수 있으며, 종래의 기술이 가지는 공정 의 한계를 극복할 수 있다. 또한, 본 발명에 따라 제조된 나노선 박막, 소오스 및 드레인 전극을 포함하는 전자 소자는 전기적 특성이 안정적이다는 장점이 있다 |
|---|---|
| Int. CL | B82B 3/00 (2011.01) B82Y 25/00 (2011.01) |
| CPC | H01L 21/02603(2013.01) H01L 21/02603(2013.01) H01L 21/02603(2013.01) H01L 21/02603(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020080010389 (2008.01.31) |
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-0975036-0000 (2010.08.04) |
| 공개번호/일자 | 10-2009-0084304 (2009.08.05) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20100811) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2008.01.31) |
| 심사청구항수 | 7 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 고려대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 하정숙 | 대한민국 | 서울 노원구 |
| 2 | 김용관 | 대한민국 | 서울 성북구 |
| 3 | 김대일 | 대한민국 | 서울 성북구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 특허법인충현 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 동산로 **, *층(양재동, 베델회관) |
| 2 | 현종철 | 대한민국 | 서울특별시 중구 다산로 **, *층 특허법인충현 (신당동, 두지빌딩) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 고려대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.01.31 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0083850-39 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2008.03.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2008-5034712-96 |
| 3 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2009.06.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5111177-32 |
| 4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2009.11.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0477295-65 |
| 5 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2010.01.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0036348-98 |
| 6 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2010.02.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0104669-67 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2010.03.18 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0173841-10 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2010.03.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0173743-44 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2010.03.18 | 무효 (Invalidation) | 1-1-2010-0173742-09 |
| 10 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative) |
2010.03.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0173667-72 |
| 11 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2010.03.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0173843-12 |
| 12 | 보정요구서 Request for Amendment |
2010.03.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2010-0027573-36 |
| 13 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative) |
2010.03.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0203393-16 |
| 14 | 무효처분통지서 Notice for Disposition of Invalidation |
2010.04.22 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2010-0036425-09 |
| 15 | 등록결정서 Decision to grant |
2010.07.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0321065-26 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2010.08.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5149278-93 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.02.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5018243-16 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.04.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5049934-62 |
| 19 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.10.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5210941-09 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 오목부 및 볼록부를 포함하는 스탬프 상에 나노선 분산 용액을 도포시키는 단계; 상기 스탬프 상의 오목부 및 볼록부 패턴방향과 평행한 방향으로 나노선 용액에 기체를 8 내지 12psig의 압력으로 블로잉하여, 상기 볼록부 상의 분산용액 중 일부를 제거하고 상기 볼록부 패턴방향에 대하여 수직 방향의 배향성을 가진 나노선이 외부로 노출되도록 상기 나노선을 정렬시키는 단계; 및 상기 스탬프를 기판에 접촉시켜 상기 스탬프의 볼록부 상에 정렬된 나노선을 상기 기판에 프린팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노선 박막 제조 방법 |
| 2 |
2 제 1항에 있어서, 상기 나노선 용액은 졸-겔 합성법에 의하여 수득하는 것을 특징으로 하는 나노선 박막 제조방법 |
| 3 |
3 제 1항에 있어서, 상기 나노선 분산 용액을 상기 스탬프 상에 도포하기 전에 상기 나노선 분산 용액이 상기 스탬프 상에 도포될 수 있도록 상기 스탬프를 전처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노선 박막 제조방법 |
| 4 |
4 제 3항에 있어서, 상기 전처리 단계는 산소-플라즈마 또는 자외선-오존 처리에 의하여 진행되는 것을 특징으로 하는 나노선 박막 제조방법 |
| 5 |
5 제 1항에 있어서, 상기 스탬프는 폴리디메틸실록산(PDMS, polydimethylsiloxane)을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노선 박막 제조방법 |
| 6 |
6 제 1항에 있어서, 상기 나노선은 오산화이바나늄(V2O5)인 것을 특징으로 하는 나노선 박막 제조방법 |
| 7 |
7 삭제 |
| 8 |
8 제 1항에 있어서, 상기 기판은 상기 스탬프와 접촉하기 전에 3-아미노프로필-트리메톡시실란(APS)에 의하여 전처리하는 것을 특징으로 하는 나노선 박막 제조방법 |
| 9 |
9 삭제 |
| 10 |
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| 11 |
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| 12 |
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| 13 |
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| 14 |
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| 15 |
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| 16 |
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| 17 |
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| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 과학기술부 | 고려대학교 산학협력단 | 국가지정연구실사업(NRL) | SiP(System in Package)소자 응용을 위한상향식(bottom-up)다층 패터닝 공정 |
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-0975036-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20080131 출원 번호 : 1020080010389 공고 연월일 : 20100811 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20100727 청구범위의 항수 : 7 유별 : B82B 1/00 발명의 명칭 : 나노선 박막, 그 제조 방법, 그 제조장치 및 이를 포함하는전자소자 존속기간(예정)만료일 : 20180805 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 고려대학교 산학협력단 서울특별시 성북구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 159,000 원 | 2010년 08월 05일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 194,000 원 | 2013년 06월 21일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 135,800 원 | 2014년 06월 30일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 148,020 원 | 2015년 11월 03일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 366,000 원 | 2016년 06월 15일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 256,200 원 | 2017년 07월 07일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.01.31 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0083850-39 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2008.03.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2008-5034712-96 |
| 3 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2009.06.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5111177-32 |
| 4 | 의견제출통지서 | 2009.11.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0477295-65 |
| 5 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2010.01.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0036348-98 |
| 6 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2010.02.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0104669-67 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 | 2010.03.18 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0173841-10 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2010.03.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0173743-44 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 | 2010.03.18 | 무효 (Invalidation) | 1-1-2010-0173742-09 |
| 10 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2010.03.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0173667-72 |
| 11 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2010.03.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0173843-12 |
| 12 | 보정요구서 | 2010.03.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2010-0027573-36 |
| 13 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2010.03.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0203393-16 |
| 14 | 무효처분통지서 | 2010.04.22 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2010-0036425-09 |
| 15 | 등록결정서 | 2010.07.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0321065-26 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2010.08.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5149278-93 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.02.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5018243-16 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.04.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5049934-62 |
| 19 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.10.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5210941-09 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1345127529 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2007-0056879 |
| 연구과제명 | SiP (System in Package) 소자 응용을 위한 상향식 (bottom-up) 다층 패터닝 공정 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 고려대학교 산학협력단 |
| 성과제출연도 | 2010 |
| 연구기간 | 200707~201206 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1345072262 |
|---|---|
| 세부과제번호 | R0A-2007-000-20102-0 |
| 연구과제명 | SiP(SysteminPackage)소자응용을위한상향식(bottom-up)다층패터닝공정 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
| 연구주관기관명 | 고려대학교 |
| 성과제출연도 | 2008 |
| 연구기간 | 200707~201206 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
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