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기판상에 복수의 나노 로드를 성장시키는 공정;
성장된 상기 복수의 나노 로드를 상기 기판으로부터 분리시키고 상기 나노 로드의 길이 방향으로 정렬시키는 공정; 및
정렬된 상기 복수의 나노 로드를 길이 방향으로 접합시키는 공정을 포함하는, 나노 구조체의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,
상기 복수의 나노 로드를 길이 방향으로 접합시키는 공정은,
상기 복수의 나노 로드에 용매 및 열을 가하는 공정; 및
상기 복수의 나노 로드에 열을 가하여 상기 복수의 나노 로드를 길이 방향으로 접합시키는 공정을 포함하는, 나노 구조체의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,
상기 복수의 나노 로드는 접합 부분에서 만입부 (indent) 를 형성하는, 나노 구조체의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,
상기 복수의 나노 로드를 상기 기판으로부터 분리시키고 상기 나노 로드의 길이 방향으로 정렬시키는 공정은,
상기 기판과 평행하도록 상기 복수의 나노 로드 상부에 평판을 배치하는 공정; 및
상기 평판에 압력을 가하여 상기 복수의 나노 로드를 상기 기판으로부터 분리시키고 길이 방향으로 정렬시키는 공정을 포함하는, 나노 구조체의 제조 방법
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길이 방향으로 접합된 복수의 나노 로드를 포함하고,
상기 복수의 나노 로드의 접합 부분은 만입부 (indent) 를 형성하는, 나노 구조체
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제 7 항에 있어서,
상기 만입부의 두께는 3 nm 이하인, 나노 구조체
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11
복수의 전극이 형성되어 있는 기판; 및
상기 복수의 전극을 연결하는 나노 구조체를 포함하고,
상기 나노 구조체는 복수의 만입부 (indent) 를 포함하는, 센서
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제 11 항에 있어서,
상기 나노 구조체는, 길이 방향으로 접합된 복수의 나노 로드를 포함하고, 상기 만입부는 상기 복수의 나노 로드의 접합 부분에 형성되는, 센서
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제 11 항에 있어서,
상기 만입부의 두께는 3 nm 이하인, 센서
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기판상에 나노 구조체를 배치하는 공정; 및
상기 나노 구조체의 양 단부에 복수의 전극을 형성하는 공정을 포함하고,
상기 나노 구조체는 복수의 만입부 (indent) 를 포함하는, 센서의 제조 방법
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17
제 16 항에 있어서,
상기 나노 구조체는, 길이 방향으로 접합된 복수의 나노 로드를 포함하고, 상기 만입부는 상기 복수의 나노 로드의 접합 부분에 형성되는, 센서의 제조 방법
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제 16 항에 있어서,
상기 만입부의 두께는 3 nm 이하인, 센서의 제조 방법
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