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나노 패턴 구조물의 제조 장치

  • 기술번호 : KST2015134679
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 나노 패턴 구조물의 제조 장치는 공정 공간을 제공하는 챔버, 상기 공정 공간 내부에 배치되며, 제1 패턴을 갖는 스탬프 및 상기 스탬프를 이용하여 수지층이 형성된 베이스 기판을 지지하는 기판 지지 유닛 및 상기 수지층에 마이크로파를 조사하여, 상기 베이스 기판에 경화된 수지층 패턴을 형성할 수 있도록 구비된 마이크로파 공급 유닛을 포함한다.
Int. CL G03F 7/00 (2006.01.01) B29C 59/02 (2006.01.01) B82B 3/00 (2017.01.01) B29C 59/02 (2006.01.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020120092485 (2012.08.23)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1373362-0000 (2014.03.05)
공개번호/일자 10-2014-0026814 (2014.03.06) 문서열기
공고번호/일자 (20140314) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.08.23)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이헌 대한민국 서울 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이동건 대한민국 서울특별시 강남구 논현로***길 *, *층 ***호 (논현동)(차암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주) 휴넷플러스 충청남도 천안시 서북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.08.23 수리 (Accepted) 1-1-2012-0679137-99
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.04.01 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.05.09 수리 (Accepted) 9-1-2013-0036294-88
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.10.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0680193-41
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-1081748-29
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.11.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1081743-02
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
8 등록결정서
Decision to grant		 2014.03.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0160168-92
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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공정 공간을 제공하는 챔버;상기 공정 공간 내부에 배치되며, 제1 패턴을 갖는 스탬프 및 상기 스탬프를 이용하여 수지층이 형성된 베이스 기판을 지지하는 기판 지지 유닛; 및상기 수지층에 마이크로파를 조사하여, 상기 베이스 기판에 경화된 수지층 패턴을 형성할 수 있도록 구비된 마이크로파 공급 유닛을 포함하고, 상기 챔버는 그 상단부에 윈도우를 포함하고, 상기 마이크로파 공급 유닛은,상기 챔버 외부에 배치된 마아크로파 발생부; 및상기 챔버 외부에 상기 윈도우 상에 배치되며, 상기 마이크로파 발생부로부터 발생한 마이크로파를 상기 윈도우로 유도하는 안테나부를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 패턴 구조물의 제조 장치
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공정 공간을 제공하는 챔버;상기 공정 공간 내부에 배치되며, 제1 패턴을 갖는 스탬프 및 상기 스탬프를 이용하여 수지층이 형성된 베이스 기판을 지지하는 기판 지지 유닛;상기 수지층에 마이크로파를 조사하여, 상기 베이스 기판에 경화된 수지층 패턴을 형성할 수 있도록 구비된 마이크로파 공급 유닛; 및상기 공정 챔버 내부에 유체를 공급하여 상기 스탬프 및 상기 베이스 기판을 가압하는 유체 가압부를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 패턴 구조물의 제조 장치
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제7항 및 제8항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 기판 지지 유닛의 내부에 형성된 공간을 진공화 시키는 진공 형성부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 패턴 구조물의 제조 장치
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공정 공간을 제공하는 챔버;상기 공정 공간 내부에 배치되며, 제1 패턴을 갖는 스탬프 및 상기 스탬프를 이용하여 수지층이 형성된 베이스 기판을 지지하는 기판 지지 유닛; 및상기 수지층에 마이크로파를 조사하여, 상기 베이스 기판에 경화된 수지층 패턴을 형성할 수 있도록 구비된 마이크로파 공급 유닛을 포함하고, 상기 기판 지지 유닛은,상호 마주보며 이격되도록 구비되며, 중공 내부에 수용된 상기 스탬프 및 상기 베이스 기판에 컨택할 수 있도록 구비된 플레이트들; 및상기 플레이트들의 양 단부들을 각각 클램핑하는 클램퍼들을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 패턴 구조물의 제조 장치
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제7항, 제8항 및 제10항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 스탬프는 PDMS 폴리머로 이루어진 것을 특징으로 하는 나노 패턴 구조물의 제조 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.