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제1 기판;상기 제1 기판의 일면에 형성되며, 상호 이격되며 2차원 물질로 이루어진 나노 박막 스페이서들; 및상기 나노 박막 스페이서들이 구비된 제1 기판 상에 형성되며, 상기 나노 박막 스페이서들 및 상기 제1 기판과 함께 채널을 정의하는 제2 기판을 포함하고,상기 채널은 1 nm 이하의 높이를 갖고, 1 이상의 종횡비(aspect ratio)를 갖는 것을 특징으로 하는 원자 또는 이온을 선택적으로 투과시키는 필터용 나노 채널 구조물
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제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 기판들의 단부들을 상호 클램핑하는 클램핑부를 더 포함하는 원자 또는 이온을 선택적으로 투과시키는 필터용 나노 채널 구조물
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제1항에 있어서, 상기 나노 박막 스페이서들은 그래핀, 그래핀 옥사이드, 환원된 그래핀 옥사이드, borophene, silicene, stanene, phosphorene, graphane, germanane, transition Metal Di-chacogenides (TMSCs)- WSe2, WS, MoSex, MoTex, MoSx, h-BN 또는 transition metal carbides 를 포함하는 것을 특징으로 하는 원자 또는 이온을 선택적으로 투과시키는 필터용 나노 채널 구조물
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제1항에 있어서, 상기 나노 박막 스페이서들은 수직으로 적층된 그래핀 단일층 및 그래핀 옥사이드 단일층을 포함하는 것을 특징으로 하는 원자 또는 이온을 선택적으로 투과시키는 필터용 나노 채널 구조물
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제1항에 있어서, 상기 나노 박막 스페이서들 각각은 아민기 및 수산화기가 이루는 기능기 군에서 선택된 적어도 하나의 기능기를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 채널 구조물
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제1항에 있어서, 상기 나노 박막 스페이서들 각각은 질소 또는 보론가 도펀트로서 도핑된 것을 특징으로 하는 원자 또는 이온을 선택적으로 투과시키는 필터용 나노 채널 구조물
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제1 기판의 일면에 상호 이격되며 2차원 물질로 이루어진 나노 박막 스페이서들을 형성하는 단계; 및상기 나노 박막 스페이서들이 구비된 제1 기판을 제2 기판으로 커버함으로써, 상기 나노 박막 스페이서들 및 상기 제1 기판과 함께 채널을 정의하는 단계를 포함하고,상기 채널은 1 nm 이하의 높이를 갖고, 1 이상의 종횡비(aspect ratio)를 갖는 것을 특징으로 하는 원자 또는 이온을 선택적으로 투과시키는 필터용 나노 채널 구조물의 제조 방법
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제9항에 있어서, 상기 나노 박막 스페이서들을 형성하는 단계는 광 리소그래피 공정, 레이저 공정 또는 나노 임프린팅 공정을 통하여 상기 채널의 폭을 조절하는 것을 특징으로 하는 원자 또는 이온을 선택적으로 투과시키는 필터용 나노 채널 구조물의 제조 방법
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제9항에 있어서, 상기 채널을 정의하는 단계는 상기 제1 및 제2 기판들은 애노딕 본딩 공정으로 통하여 상호 접합시키는 것을 특징으로 원자 또는 이온을 선택적으로 투과시키는 필터용 나노 채널 구조물의 제조 방법
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제9항에 있어서, 상기 채널을 정의하기 전, 상기 나노 박막 스페이서들 각각은 플라즈마 또는 자외선, 자기 조립 단분자막을 이용하여 표면처리 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 원자 또는 이온을 선택적으로 투과시키는 필터용 나노 채널 구조물의 제조 방법
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