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노광 방법

  • 기술번호 : KST2019022764
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 노광 형태를 나타내는 제1 이미지를 설계하는 단계; 상기 제1 이미지를 이진화(Binarization)하여 노광 영역과 비노광 영역을 포함하는 제2 이미지를 얻는 단계; 상기 제2 이미지에서 상기 노광 영역을 따라 외곽선을 검출하는 단계; 상기 제2 이미지의 상기 외곽선의 내측에서 상기 외곽선에 접하는 상기 노광 영역을 상기 비노광 영역으로 변환한 노광 이미지를 얻는 단계; DMD(Digital Micromirror Device)를 이용하여 상기 노광 이미지에 따라 노광 대상물에 노광을 수행하는 제1 노광을 수행하는 단계; 갈바노 스캐너에 의해 상기 외곽선의 내측을 따라 노광을 수행하는 제2 노광을 수행하는 단계를 포함하는 노광 방법을 제공한다.본 발명은, 본 발명은, DMD(Digital Micromirror Device)와 갈바노 스캐너(Galvano Scanner)를 복합적으로 사용하여 패턴의 노광에 필요한 시간을 감소시키고, 외곽선 노광의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
Int. CL G03F 7/20 (2006.01.01) G03F 1/76 (2012.01.01)
CPC G03F 7/70116(2013.01) G03F 7/70116(2013.01) G03F 7/70116(2013.01) G03F 7/70116(2013.01) G03F 7/70116(2013.01)
출원번호/일자 1020170011056 (2017.01.24)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1862506-0000 (2018.05.23)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180529) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.01.24)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조명우 대한민국 서울특별시 양천구
2 하석재 대한민국 인천광역시 연수구
3 조용규 대한민국 인천광역시 서구
4 김기범 대한민국 경기도 성남시 수정구
5 송기혁 대한민국 서울특별시 구로구
6 김병찬 대한민국 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태백 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** 이노플렉스 *차 ***호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.01.24 수리 (Accepted) 1-1-2017-0084110-51
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.06.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.08.09 수리 (Accepted) 9-1-2017-0027192-67
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0605195-99
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2017-1071325-90
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.10.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1071326-35
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
8 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination		 2018.03.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0032008-09
9 등록결정서
Decision to grant		 2018.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0337866-97
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
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번호 청구항
1 1
노광 형태를 나타내는 제1 이미지를 설계하는 단계;상기 제1 이미지를 이진화(Binarization)하여 노광 영역인 제1 단위 영역과 비노광 영역인 제2 단위 영역을 포함하는 제2 이미지를 얻는 단계;상기 제2 이미지에서 상기 노광 영역을 따라 외곽선을 검출하는 단계;상기 제2 이미지의 상기 외곽선의 내측에서 상기 외곽선에 접하는 상기 노광 영역을 상기 비노광 영역으로 변환한 노광 이미지를 얻는 단계;DMD(Digital Micromirror Device)를 이용하여 상기 노광 이미지에 따라 노광 대상물에 노광을 수행하는 제1 노광을 수행하는 단계; 갈바노 스캐너에 의해 상기 외곽선의 내측을 따라 노광을 수행하는 제2 노광을 수행하는 단계를 포함하고,상기 외곽선을 검출하는 단계는,상기 노광 영역이 경사지게 배치되는 부분에서는 상기 노광 영역에서 상기 비노광 영역으로 돌출된 부분의 모서리와 상기 비노광 영역에서 상기 노광 영역으로 돌출된 부분의 모서리의 중간 부분을 연결하는 선을 외곽선으로 검출하는 노광 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 외곽선의 내측에서 상기 제1 노광과 상기 제2 노광에 의해 노광되지 않은 비노광부를 검출하는 단계와상기 비노광부가 검출되면 상기 제2 노광을 수행하는 단계의 노광 경로 내측으로 오프셋 노광을 수행하는 단계를 더 포함하는 노광 방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 오프셋 노광을 수행하는 단계는,상기 비노광부를 검출하는 단계 이전의 노광 경로 내측을 따라 노광을 수행하는 제1 재노광을 수행하는 단계와, 상기 재노광을 수행하는 단계의 상기 노광 경로 내측의 비노광부를 재검출하는 단계와, 상기 비노광부가 재검출되면, 상기 비노광부 재검출 단계 이전의 상기 노광 경로 내측을 따라 제2 재노광을 수행한 후 상기 비노광부를 재검출하는 단계를 다시 수행하는 단계를 포함하는 노광 방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 노광 경로의 노광폭은,상기 갈바노 스캐너의 스폿(spot) 사이즈에 의해 설정되는 노광 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
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