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각각 독립적으로 구동되는 복수 개의 서브 픽셀을 포함하는 디스플레이 장치의 마이크로 광원 어레이에 있어서, 기판에 상기 서브 픽셀에 대응하여 구비되고, 트렌치에 의해 서로 이격되어 배열된 실리콘 서브 마운트;상기 실리콘 서브 마운트에 결합된 발광 소자 칩; 및상기 실리콘 서브 마운트에 구비된 구동 회로;를 포함하는 마이크로 광원 어레이
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제1항에 있어서,상기 구동 회로가 CMOS 또는 NMOS를 포함하는 광원 어레이
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제1항에 있어서,상기 실리콘 서브 마운트와 전기적으로 연결되는 배선을 더 포함하는 마이크로 광원 어레이
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제1항에 있어서,상기 발광 소자 칩이 상기 실리콘 서브 마운트에 플립칩 본딩된 광원 어레이
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제1항에 있어서,상기 이웃하는 실리콘 서브 마운트들이 가로 방향과 세로 방향에 대해 각각 상기 서브 픽셀의 피치 간격으로 이격되어 배치된 마이크로 광원 어레이
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제1항에 있어서,상기 발광 소자 칩은 마이크로 LED를 포함하는 마이크로 광원 어레이
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제1항에 있어서,상기 발광 소자 칩은 청색 광을 발광하는 마이크로 광원 어레이
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각각 독립적으로 구동되는 복수 개의 서브 픽셀을 포함하는 디스플레이 장치에 있어서, 기판;상기 기판에 상기 서브 픽셀에 대응하여 구비되고, 트렌치에 의해 서로 이격되어 배열된 실리콘 서브 마운트;상기 실리콘 서브 마운트에 결합된 발광 소자 칩;상기 실리콘 서브 마운트에 구비된 구동 회로; 및상기 발광 소자 칩 상에 구비되어 상기 발광 소자 칩으로부터 출사된 광의 칼라를 변환하는 칼라 변환 소자;를 포함하는 디스플레이 장치
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제8항에 있어서,상기 구동 회로가 CMOS 또는 NMOS를 포함하는 디스플레이 장치
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제8항에 있어서,상기 발광 소자 칩이 상기 실리콘 서브 마운트에 플립칩 본딩된 디스플레이 장치
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제8항에 있어서,상기 이웃하는 실리콘 서브 마운트들이 가로 방향과 세로 방향에 대해 각각 상기 서브 픽셀의 피치 간격으로 이격되어 배치된 디스플레이 장치
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제8항에 있어서,상기 발광 소자 칩은 마이크로 LED를 포함하는 디스플레이 장치
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제8항에 있어서,상기 발광 소자 칩은 청색 광을 발광하는 디스플레이 장치
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실리콘 기판에 구동 회로를 형성하는 단계;상기 실리콘 기판에 트렌치를 형성하는 단계;상기 실리콘 기판에 발광 소자 어레이를 본딩하는 단계; 및상기 실리콘 기판을 후면에서 상기 트렌치가 관통되도록 연마하여 서로 이격된 실리콘 서브 마운트를 형성하는 단계;를 포함하는 디스플레이 제조 방법
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제14항에 있어서,상기 서로 이격된 실리콘 서브 마운트를 타켓 기판에 전사하는 단계를 더 포함하는 디스플레이 제조 방법
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제14항에 있어서,상기 서로 이격된 실리콘 서브 마운트 사이의 가로 방향과 세로 방향 중 어느 한 방향으로 이동 소자를 삽입하고, 실리콘 서브 마운트 사이를 벌려 정렬하는 단계를 포함하는 디스플레이 제조 방법
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제16항에 있어서,상기 실리콘 서브 마운트의 세로 방향과 가로 방향 중 다른 한 방향으로 이동 소자를 삽입하고, 실리콘 서브 마운트 사이를 벌려 정렬하는 단계를 포함하는 디스플레이 제조 방법
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제14항에 있어서,상기 서로 이격된 실리콘 서브 마운트 사이의 제1 방향으로 이동 소자를 삽입하여 분리하는 단계를 포함하는 디스플레이 제조 방법
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제18항에 있어서,상기 제1 방향으로 분리된 실리콘 서브 마운트들의 제2 방향으로 이동 소자를 삽입하고, 그루브를 포함하는 채널을 따라 상기 실리콘 서브 마운트를 이동시키는 단계를 포함하는 디스플레이 제조 방법
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제19항에 있어서,상기 채널이 상기 그루브의 간격이 점점 커지는 영역을 포함하는 디스플레이 제조 방법
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제14항에 있어서,상기 이동 소자가 쐐기형 블레이드를 포함하고, 상기 서로 이격된 실리콘 마운트 사이로 쐐기형 블레이드를 삽입하고 이동시켜 실리콘 서브 마운트 사이를 벌리는 단계를 포함하는 디스플레이 제조 방법
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제21항에 있어서,상기 쐐기형 블레이드가 상기 서로 이격된 실리콘 서브 마운트 사이로 진입하는 제1부분과, 상기 실리콘 서브 마운트 사이의 간격을 조절하는 제2부분을 포함하고, 상기 제2부분의 폭에 따라 실리콘 서브 마운트 사이의 피치 간격이 결정되는 디스플레이 제조 방법
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