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산출 리소그래피를 위한 E-Beam 클러스터 구성 방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2021010308
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 산출 리소그래피를 위한 E-Beam 클러스터 구성 방법 및 장치가 제시된다. 일 실시예에 따른 산출 리소그래피(computation lithography)를 위한 E-Beam 클러스터 구성 방법은, N 개의 분산 노드(node)를 갖는 E-beam 클러스터를 이산사건 시스템 명세(Discrete Event System Specification, DEVS) 모델로 모델링하는 단계; 및 모델링된 상기 이산사건 시스템 명세(DEVS) 모델을 활용하여, 로드밸런싱(load balancing) 방법인 FIFO(First In First Out) 환경에서의 소요시간(Turn Around Time, TAT)을 만족시키는 분산 노드 수를 산출하고, E-Beam 작업의 특성과 산출 노드 수의 특성에 따른 소요시간(TAT)을 바탕으로 개선된 로드밸런싱을 이산사건 시스템 명세(DEVS) 모델로 모델링하여 적정 노드 수를 산출하는 단계를 포함하여 이루어질 수 있다.
Int. CL G03F 7/20 (2006.01.01) G06F 30/20 (2020.01.01) H01J 37/317 (2006.01.01)
CPC G03F 7/705(2013.01) G03F 7/70433(2013.01) G06F 30/20(2013.01) H01J 37/3174(2013.01) H01J 2237/31762(2013.01)
출원번호/일자 1020200025775 (2020.03.02)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0110925 (2021.09.10) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.03.02)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 한영신 인천광역시 연수구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 양성보 대한민국 서울특별시 강남구 선릉로***길 ** (논현동) 삼성빌딩 *층(피앤티특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2020-0218443-97
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2021.07.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0574216-71
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2021.08.03 수리 (Accepted) 1-1-2021-0894927-95
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2021.08.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-0894928-30
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번호 청구항
1 1
산출 리소그래피(computation lithography)를 위한 E-Beam 클러스터 구성 방법에 있어서, N 개의 분산 노드(node)를 갖는 E-beam 클러스터를 이산사건 시스템 명세(Discrete Event System Specification, DEVS) 모델로 모델링하는 단계; 및 모델링된 상기 이산사건 시스템 명세(DEVS) 모델을 활용하여, 로드밸런싱(load balancing) 방법인 FIFO(First In First Out) 환경에서의 소요시간(Turn Around Time, TAT)을 만족시키는 분산 노드 수를 산출하고, E-Beam 작업의 특성과 산출 노드 수의 특성에 따른 소요시간(TAT)을 바탕으로 개선된 로드밸런싱을 이산사건 시스템 명세(DEVS) 모델로 모델링하여 적정 노드 수를 산출하는 단계를 포함하는, 산출 리소그래피를 위한 E-Beam 클러스터 구성 방법
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제1항에 있어서,상기 적정 노드 수를 산출하는 단계는, 산출 노드 수에 따른 E-Beam 작업의 포화 코어점(saturation core point)을 분석하여 코어 모델(core model)을 설계함에 따라 상기 개선된 로드밸런싱을 이산사건 시스템 명세(DEVS) 모델로 모델링하고, 상기 코어 모델을 통해 E-Beam 작업에 포화 코어점(saturation core point)을 바탕으로 적절한 산출 노드 수를 계산하고 할당하는 것을 특징으로 하는, 산출 리소그래피를 위한 E-Beam 클러스터 구성 방법
3 3
제1항에 있어서,상기 적정 노드 수를 산출하는 단계는, 밀도(density)와 독립적으로 특정 산출 노드 수 이상부터 할당 수가 증가하더라도 소요시간(TAT)이 특정 크기 이상으로 변하지 않는 포화 코어점(saturation core point)을 찾는 단계; 상기 산출 리소그래피를 위한 E-Beam 클러스터를 구성할 경우, 포화 코어점(saturation core point)보다 규모가 적은 클러스터에서는 FIFO 형태의 로드밸런싱을 사용하여 동작하는 단계; 및 상기 포화 코어점(saturation core point)보다 규모가 큰 클러스터에서는 포화 코어(saturation core)를 바탕으로 모델링된 로드밸런서 형태의 로드밸런싱을 사용하여 동작하는 단계를 포함하는, 산출 리소그래피를 위한 E-Beam 클러스터 구성 방법
4 4
산출 리소그래피(computation lithography)를 위한 E-Beam 클러스터 구성 장치에 있어서, N 개의 분산 노드(node)를 갖는 E-beam 클러스터를 이산사건 시스템 명세(Discrete Event System Specification, DEVS) 모델로 모델링하는 DEVS 모델링부; 및 모델링된 상기 이산사건 시스템 명세(DEVS) 모델을 활용하여, 로드밸런싱(load balancing) 방법인 FIFO(First In First Out) 환경에서의 소요시간(Turn Around Time, TAT)을 만족시키는 분산 노드 수를 산출하고, E-Beam 작업의 특성과 산출 노드 수의 특성에 따른 소요시간(TAT)을 바탕으로 개선된 로드밸런싱을 이산사건 시스템 명세(DEVS) 모델로 모델링하여 적정 노드 수를 산출하는 적정 노드 수 산출부를 포함하는, 산출 리소그래피를 위한 E-Beam 클러스터 구성 장치
5 5
제4항에 있어서,상기 적정 노드 수 산출부는, 상기 산출 리소그래피를 위한 E-Beam 클러스터를 구성할 경우, 포화 코어점(saturation core point)보다 규모가 적은 클러스터에서는 FIFO 형태의 로드밸런싱을 사용하여 동작하고, 상기 포화 코어점(saturation core point)보다 규모가 큰 클러스터에서는 포화 코어(saturation core)를 바탕으로 모델링된 로드밸런서 형태의 로드밸런싱을 사용하여 동작하는 것을 특징으로 하는, 산출 리소그래피를 위한 E-Beam 클러스터 구성 장치
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제4항에 있어서, 상기 이산사건 시스템 명세(DEVS) 모델은, 상기 E-Beam 클러스터에서 작업이 생성되는 분포에 맞춰서 E-Beam 작업을 생성하는 생성부; 작업을 큐잉(queueing)하며 유휴 서버의 상태를 관측하고, 큐잉(queueing)된 작업을 적정 서버에 할당하는 로드밸런서(Load Balancer); 들어온 작업에 대해 실제 프로세싱(processing) 작업을 수행하는 서버; 및 종료된 작업을 수집하고, 상기 작업이 전체 할당 서버에서 작업이 종료된 경우 소요시간(TAT)을 포함하는 통계 정보를 수집하는 리포트부를 포함하는, 산출 리소그래피를 위한 E-Beam 클러스터 구성 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 인하대학교 산학협력단 개인기초연구(교육부)(R＆D) 이산사건시뮬레이션을 기반으로 한 차세대 EUV 노광 기술을 위한 최적화 스케줄링 로드밸런스 솔루션 개발