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신축성 기판을 포함하는 박막형 신축성 전자소자 및 그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2022003419
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 신축성 기판을 포함하는 박막형 신축성 전자소자 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 신축성 기판의 표면처리에 의해 표면처리된 기판과 인접하는 층간의 접합힘(Work of adhesion, Wa, mJ/㎡)과 표면 거칠기를 최적화하여, 인장 변형상태 조건에서도 각 소자 구성층과 상호작용하여 층간 접합력을 향상시켜 소자 구성층이 손상되지 않도록 높은 기계적 신축성을 구현한 박막형 신축성 전자소자를 제공하고, 상기 박막형 신축성 전자소자는 웨어러블 전자장치 적용에 유용하다.
Int. CL H01L 31/0392 (2006.01.01) H01L 31/18 (2006.01.01) C08L 9/06 (2006.01.01) C08L 53/02 (2006.01.01)
CPC H01L 31/03926(2013.01) H01L 31/18(2013.01) C08L 9/06(2013.01) C08L 53/02(2013.01)
출원번호/일자 1020210147803 (2021.11.01)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-2379648-0000 (2022.03.23)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20220329) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.11.01)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이정용 대전광역시 유성구
2 전연지 대전광역시 유성구
3 이승복 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이오 대한민국 서울시 서초구 서운로 **, *층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2021.11.01 수리 (Accepted) 1-1-2021-1253601-38
2 [우선심사신청]심사청구서·우선심사신청서
2021.11.08 수리 (Accepted) 1-1-2021-1283517-48
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0934093-96
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2022.02.03 수리 (Accepted) 1-1-2022-0121319-61
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2022.02.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2022-0121320-18
6 등록결정서
Decision to grant
2022.03.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0199225-75
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
신축성 기판을 포함한 박막형 신축성 전자소자에 있어서, 상기 신축성 기판의 표면처리에 의해 표면처리된 기판의 분산성분(γsd)과 극성성분(γsp)간의 표면에너지가 하기 식 1에 따라 산출되고, 하기 식 1에 따라 산출되는 표면처리된 기판의 표면에너지와 인접하는 층의 표면에너지가 하기 식 2에 따른, 표면처리된 기판과 인접하는 층간의 접합힘(Work of adhesion, Wa)이 100 내지 150 mJ/㎡로 제어된 박막형 신축성 전자소자:식 1상기 θ는 표면처리된 기판의 DM(Diiodomethane) 용액 및 물에서의 접촉각 측정값이고,상기 γL는 액상의 표면에너지로서 γL는 γLd + γLp이고, 상기 γLd는 분산성분으로 DM 용액의 표면에너지이고, γLp는 극성성분으로 물의 표면에너지에 대한 문헌값이고, 식 2상기 γsd 및 γsp는 표면처리된 기판의 DM 용액 및 물에서의 표면에너지이고, 상기 γSLd 및 γSLp는 인접하는 층의 DM 용액 및 물에서의 표면에너지이다
2 2
제1항에 있어서, 상기 표면처리된 기판의 거칠기가 5㎚이하인 것을 특징으로 하는 박막형 신축성 전자소자
3 3
제1항에 있어서, 상기 신축성 기판이 열가소성 폴리우레탄(TPU), 열가소성 또는 열경화성 공중합체, 폴리디메틸실록산(PDMS), 아크릴 폼 테이프(AFT), 실리콘 엘라스토머, 폴리이미드, 폴리에틸렌이소프탈레이트(Polyethylene Isopthalate), 폴리에틸렌 나프탈레이트(Polyethylene Naphthalate), 폴리에틸렌테레프탈레이트(Polyethylene Terephthalate), 셀룰로오스, 형상기억 고분자 및 하이드로젤로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막형 신축성 전자소자
4 4
제3항에 있어서, 상기 열가소성 공중합체가 스티렌-부타디엔 공중합체(styrene-butadiene copolymer, SB), 스티렌-부타디엔-스티렌 공중합체(styrene-butadiene-styrene copolymer, SBS), 스티렌-이소프렌-스티렌 공중합체(styrene-isoprene-styrene copolymer, SIS), 스티렌-에틸렌-부틸렌-스티렌 공중합체(styrene-ethylene-butylene-styrene copolymer, SEBS) 및 스티렌-부타디엔 고무(styrene-butadiene rubber, SBR)으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상인 것을 특징으로 하는 박막형 신축성 전자소자
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신축성 기판을 포함하는 박막형 신축성 전자소자의 제조방법에 있어서, 상기 신축성 기판을 표면처리하되, 제1항에서 산출된 상기 표면처리된 기판과 인접하는 층간의 접합힘(Work of adhesion, Wa, mJ/㎡)이 100 내지 150 mJ/㎡ 충족되도록 표면처리한 후, 상기 표면처리된 기판상에 복수개 층을 적층하는 박막형 신축성 전자소자의 제조방법
6 6
제5항에 있어서, 상기 표면처리가 기판의 거칠기가 5㎚이하가 되도록 수행된 것을 특징으로 하는 박막형 신축성 전자소자의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 표면처리가 산소 플라즈마처리, 자외선오존처리 또는 RIE(reactive ion etching) 표면처리에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 박막형 신축성 전자소자의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 산소 플라즈마처리가 플라즈마 세기 40 내지 90W 및 조사시간 5 내지 10분이내로 수행된 것을 특징으로 하는 박막형 신축성 전자소자의 제조방법
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제1항 내지 제4항 중 어느 한 항의 신축성 기판을 포함한 박막형 신축성 전자소자를 포함한 웨어러블 전자장치
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제9항에 있어서, 상기 신축성 기판을 포함한 박막형 신축성 전자소자가 센서, 전자스킨, 플렉시블 디스플레이 및 스트레쳐블 디스플레이로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나에 적용된 웨어러블 전자장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
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