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편평한 기판 상에 서로 같은 방향의 고정 방향을 갖도록 R1,R3 저항 성분으로 예정된 부위에 제 1스핀밸브 박막을 형성하는 단계와; 상기 R1,R3 저항 성분의 제 1스핀밸브 박막을 마스크 패턴 및 건식식각하여 제 1미소 패터닝을 형성하는 단계와; 상기 제 1스핀밸브 박막의 고정 방향과 180도 정반대 고정방향으로 R2,R4 저항 성분으로 예정된 부위에 제 2스핀밸브 박막을 형성하는 단계와; 상기 R2,R4 저항 성분의 제 2스핀밸브 박막을 마스크 패턴 및 건식식각하여 제 2미소 패터닝을 형성하는 단계와; 상기 R1,R2,R3,R4 저항 성분의 브리지 회로 연결을 위한 컨택 배선을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 교환 바이어스형 스핀밸브를 이용한 자기센서 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 제 1스핀밸브 박막의 고정 방향 및 상기 제 2스핀밸브 박막의 180도 정반대 고정 방향은 각각의 박막 증착 중 인가한 자기장 방향과 평행한 방향으로 결정되는 것을 특징으로 하는 교환 바이어스형 스핀밸브를 이용한 자기센서 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 스핀밸브 박막은 기판/버퍼층/제 1강자성층/비자성층/제 2강자성층/반강자성층/보호층의 탑형 적층구조로 이루어진 것을 특징으로 교환 바이어스형 스핀밸브를 이용한 자기센서 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 스핀밸브 박막은 기판/버퍼층/반강자성층/제 1강자성층/비자성층/제 2강자성층/보호층의 버텀형 적층구조로 이루어진 것을 특징으로 교환 바이어스형 스핀밸브를 이용한 자기센서 제조방법
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청구항 3 또는 청구항 4에 있어서, 상기 반강자성은 IrMn, PtMn, NiMn 중에 선택된 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 교환 바이어스형 스핀밸브를 이용한 자기센서 제조방법
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청구항 3 또는 청구항 4에 있어서, 상기 미소 패터닝된 제 1 및 제 2스핀밸브 박막의 형상은 폭이 0
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청구항 3 또는 청구항 4에 있어서, 상기 반강자성층과 강자성층 사이에서 형성되는 교환이방성 방향은 스트라이프의 폭이 좁은 방향으로 고정되고, 길이 방향으로는 자유층의 형상비방성에 의하여 자화 용이축을 형성하는 것을 특징으로 하는 교환 바이어스형 스핀밸브를 이용한 자기센서 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 컨택 배선은 알루미늄(Al), 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu) 중에 선택된 어느 하나 혹은 전극과 배선금속과의 접착력을 향상시키기 위하여 Cr 혹은 Ti 등을 먼저 증착 한후 상기의 배선용 금속을 증착하는 것을 특징으로 교환 바이어스형 스핀밸브를 이용한 자기센서 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 컨택 배선은 알루미늄(Al), 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu) 중에 선택된 어느 하나 혹은 전극과 배선금속과의 접착력을 향상시키기 위하여 Cr 혹은 Ti 등을 먼저 증착 한후 상기의 배선용 금속을 증착하는 것을 특징으로 교환 바이어스형 스핀밸브를 이용한 자기센서 제조방법
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