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하부 투명전극; 상기 하부 투명전극 상에 형성된 절연막 층; 상기 절연막 층 상에 형성된 금속산화물 나노구조체; 및 상기 금속산화물 나노구조체의 상단면에 형성된 전극을 포함하며,상기 하부 투명전극을 하부 전극으로 하고 상기 금속산화물 나노구조체의 상단면에 형성된 전극을 상부 전극으로 하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서
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제1항에 있어서,상기 하부 전극은 ITO, CNT, SnO2, ZnO, IZO, 그래핀(graphene) 또는 FTO 중 어느 하나의 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 금속 산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서
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3 |
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제1항에 있어서, 상기 절연막 층은 투명한 비정질의 금속산화물인 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서
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제3항에 있어서, 상기 금속산화물은 산화마그네슘(MgO)인 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서
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제1항에 있어서,상기 금속산화물 나노구조체는 산화아연(ZnO) 나노선, 나노월 또는 박막 중 어느 하나를 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서
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하부 투명전극;상기 하부 투명전극 상에 형성된 산화마그네슘(MgO) 절연막 층; 상기 산화마그네슘(MgO) 절연막 층 위에 형성된 산화아연(ZnO)나노구조체; 상기 산화아연(ZnO) 나노구조체 상단면에 형성된 전극; 및상기 하부 투명전극을 하부 전극으로 하고, 산화아연(ZnO) 나노구조체의 상단면에 형성된 투명한 전극층을 상부 전극으로 하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서
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7
제6항에 있어서,상기 하부 전극은 상기 산화마그네슘(MgO) 절연막 층 일부를 제거하여 접속되는 것을 특징으로하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서
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8
제6항에 있어서,상기 산화아연(ZnO) 나노구조체는 나노선, 나노월 또는 박막 중 어느 하나를 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서
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9
제8항에 있어서,상기 하부 전극은 ITO, CNT, SnO2, ZnO, IZO, 그래핀(graphene) 또는 FTO 중 어느 하나의 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서
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10
제8항에 있어서, 상기 산화마그네슘(MgO) 절연막 층의 두께가 6 내지 24 nm인 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서
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제6항에 있어서, 산화아연(ZnO) 나노구조체의 상단면에 형성되는 전극은 산화아연(ZnO) 나노구조체의 상단면의 일부면 또는 전면에 형성되는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서
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제8항에 있어서,상기 전극 중 하부 전극은 양(positive)극으로 하고, 산화아연(ZnO) 나노구조체의 상단면에 위치한 상부 전극은 음(negative)극으로 하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선센서
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제8항에 있어서,상기 산화아연(ZnO) 나노구조체는 산화마그네슘(MgO) 절연막 층 상에 수직되는 방위로 성장되어 형성되는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서
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제8항에 있어서,상기 산화아연(ZnO) 나노구조체는 우르짜이트(wurtzite) 결정 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서
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제6항에 있어서,상기 하부 투명전극 하부에 내열성 글라스를 부착된 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서
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제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 따른 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선센서를 포함하는 화염감지센서부;상기 자외선센서가 자외선을 감지하면, 상기 화염감지센서부로부터 신호를 받아 경보를 하는 화재경보부; 및상기 화염감지센서부와 화재경보부에 전력을 공급하는 전력공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 화재경보장치
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제16항에 있어서,상기 전력공급부는 내장 배터리인 것을 특징으로 하는 화재경보장치
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